硅一体化薄膜微电极电化学传感器件的稳定性研究

研究讨论了硅一体化微机械结构型薄膜微电极电化学传感器件的稳定性及其相关的电化学问题．以电流型ＣＯ２薄膜微电极传感器件为例，通过改进器件构型设计，发展稳定的Ａｇ＋／Ａｇ参比电极取代常规的Ａｇ／ＡｇＣｌ电极，及在硅微机械加工工艺上作相应的变动，使器件中的电化学串音减至最小并得到有效的控制。