硬质合金ELID镜面磨削的试验研究

硬质合金具有硬度高、强度好、耐腐蚀和耐磨损的特点,采用传统方法难以满足精密及超精密加工的技术要求,而且工序多、效率低、成本高。本文采用在线电解修整(ELID)技术对硬质合金进行精密镜面加工。通过试验,分析了磨削深度、电极间隙、占空比、电解电压对硬质合金表面粗糙度的影响规律,并得到了优化的ELID磨削工艺参数。使用优化后的ELID磨削工艺参数加工硬质合金材料可获得较低的表面粗糙度。

ELID精密镜面外圆磨削技术的应用

在线电解修整 (ELID)精密镜面磨削有效地实现了许多难加工材料的平面精密加工和高效加工。本文介绍了ELID磨削技术在精密镜面外圆磨削上的应用。通过采用金属基超硬磨料砂轮在线电解修整对硬质合金、碳化硅陶瓷进行精密镜面外圆磨削 ,得到了表面粗糙度Ra=0 .0 2 5～ 0 .0 2 8μm的加工表面。

硅片的在线电解修整超精密磨削

用铸铁短纤维结合剂金刚石砂轮与脉冲电解修整相配合，对硅片进行了在线电解修整（ELID）超精密磨削。研究了磨削工艺多数对硅片的加工质量及磨削效率的影响，采用原子力显微镜（AFM）与扫描电子隧道显微镜（STM）对硅片磨削表面进行了形貌分析，探讨其微观磨削机理。结果表明，砂轮中金刚石磨粒对硅片表面进行间歇式破碎，微观磨痕为Z字型；硅片表面粗糙度可达纳米级，R_a=4．0nm、R_z=7．8nm；整个硅片（3＃）厚度变差为1．5μm；磨削硅片的变质层主要为原子面扭曲展及过渡层；磨削效率达1．07×10~3mm^3／min。

在线电解修整磨削液研究现状及其展望

在线电解修整(electrolytic in-process dressing,ELID)镜面磨削过程中,磨削液的成份及配比对砂轮表面氧化膜的生成速度、致密性、黏附性以及绝缘性等都有着很大的影响,磨削液的配比及优化成为ELID磨削过程中的关键技术之一。主要介绍了ELID磨削液的成分配比、磨削液对氧化膜的影响以及ELID磨削液改进这几个方面的研究进展,并对ELID磨削液下一步的研究重点进行了展望。

在线电解修整磨削与化学机械抛光相结合的蓝宝石基片组合加工技术

通过分析ELID磨削和CMP抛光两种加工技术的原理和特点,充分结合两种技术的优点,对蓝宝石基片进行超光滑纳米级精度的组合加工。从理论上分析和计算了蓝宝石的临界切削深度,以及在不同粒度砂轮下的脆性和延性磨削方式;采用不同粒度的砂轮对蓝宝石基片进行超精密ELID磨削实验,快速地获得高质量的加工表面,同时采用磁流变斑点法对加工面的亚表面损伤进行测量;利用CMP抛光技术对磨削加工后的表面进行光整,以减少磨削时产生的加工缺陷,使工件的表面质量得到进一步改善与提高,最终获得亚纳米级的表面粗糙度。

陶瓷喷涂层精密镜面磨削技术的实验研究

在工件表面用喷涂方法形成陶瓷涂层 ,可以显著改善其性能。但是由于陶瓷喷涂层的硬脆特性 ,难以进行精密加工。本文引入金属基超硬磨料砂轮在线电解修整 (ELID)技术 ,对陶瓷喷涂层进行精密镜面磨削的实验研究。结果表明 ,该技术加工精度高、表面质量好 。

HR-1抗氢不锈钢精密镜面磨削的实验研究

为了探索不锈钢材料精密加工的新途径,采用在线电解修整精密镜面磨削技术,对HR-1抗氢不锈钢 进行了精密磨削实验,并对不锈钢的磨削机理进行了分析．

钢结硬质合金的精密镜面磨削

引入一种新型的在线电解连续修整砂轮磨削方法──ＥＬＩＤ磨削，对钢结硬质合金进行精密镜面磨削，得到了Ｒｚ＝０．０９１μｍ的良好镜面表面，一次磨削成形，效率高，可取代目前的多级研磨工艺。

陶瓷喷涂层精密镜面磨削技术的实验研究

引入金属基超硬磨料砂轮在线电解修整(ELID)技术，对陶瓷喷涂层进行精密镜面磨削的实验研究。结果表明，该技术加工精度高、表面质量好，极具应用前景。