电子束曝光机子系统光柱控制器设计

为了提高电子束曝光机光柱控制器稳定性和控制精度,通过多年研究提出了一套功能较为完备的新型光柱控制的硬件设计方案,通过对电子束聚焦、对中、偏转、扫描曝光等参数精准控制,将图形发生器产生各项数字信号变换成对应的模拟量,稳定地控制电子束对承放在激光工作台上的掩模基片进行扫描曝光,从而达到高质量生产。

国际微电子专用关键设备的现状和发展趋势（考察报告）

讲述了参观Ｓｅｍｉｃｏｎ／ｗｅｓｔ９４′展览会及考察美国和西德的５个公司、１所大学所了解到的投影光刻技术、电子束曝光技术、透镜面形测试技术的发展。

电子束曝光机束斑的自动测控系统

根据亚微米电子束曝光机束斑直径、束流大小与各磁透镜电流之间的关系以及刀口法测试束斑的原理，设计了一套总线式的束斑自动测控系统。该系统以ＩＢＭ—ＰＣ／ＡＴ作为主控机，系统包括用于总线扩展的总线驱动板、电子束扫描控制板和束流信号数据采集板。

电子束曝光机特殊图形辅助发生器

介绍电子束曝光机的图形发生器系统中用以解决硬件化高速扫描特殊图形和硬件过于复杂的特殊图形辅助发生器。叙述了它的工作原理、硬件配置和软件设计及特殊图形的描述参数和计算公式。

SDS-2型电子束曝光机偏放系统的抗干扰改造

对SDS－2型电子束曝光机偏放系统进行了电磁场、电源、数字信号等三方面的抗干扰改造，因而扫描系统的干扰得到了较好的抑制，使用改造后的偏放系统扫出的版，图形质量和线条分辨率都得到了提高。

电子束偏放电路的计算机辅助设计

本文介绍了应用现行的ＰＳＰＩＣＥＶ５．０软件和ＣＡＤ优化技术，对亚微米电子束曝光机高速偏放电路的ＶＭＯＳＦＥＴ参数进行处理。针对电路中的关键参数：导通电阻、开关速度、温度影响、灵敏度及噪声干扰进行分析、设计。

锁相技术在电子束曝光机工件台稳速控制中的应用

采用销相技术，对电子束曝光机工件台运动实现速度环的全数字控制。设计了数字差频积分回路和数字差频比例控制器，能有效消除速度的静态误差和改善系统的动态特性。

电子束曝光机束径和束流最佳配合研究

文中介绍了电子束曝光机束斑直径和束流大小的测量方法,提出调整束斑直径的基本原理,设计了一种实现束径和束流最佳配合的自动测量和调整系统。

电子束曝光机束闸电路

介绍了一个输出电压为 1 0 4V ,开关时间为 34ns的电子束曝光机束闸电路。

Ee－BES－40A全自动电子束曝光机

Ｅｅ－ＢＥＳ－４０光栅扫描电子束曝光机全部实现自动控制，为用户操作带来极大方便。本文简要论述该机的构成及调试中遇到的问题。重点论述真空自动化，送片机构的自动化，以及电子光柱调整的自动化。

一种高精度测量束斑电流的新方法

提出了一种高精度测量电子束曝光机束流的新方法。并给出测量电路，该电路在未加屏蔽的情况下，可达９０ｄＢ的共模抑制比。

电子束曝光机复合调整式30kV电源

介绍了复合调整式高压电源的总体设计方案，提出实现高压电源高稳定度的关键技术措施。

DY－5型亚微米电子束曝光机电子光学柱的一些问题

本文概要地比较了扫描电镜和电子束曝光机二者电子光学柱的异同。介绍了把一台ＡＭＲＡＹ系列电镜的电子光柱改造成ＤＹ－５型电子束曝光机电子光学柱所做的工作。最后给出了一组试验结果。

束流测量中的工频陷波器

提出一种应用于电子束曝光机束流测量中的自动跟踪工频陷波器 ,给出电路结构 ,基于对其工作原理的分析 。

亚微米电子束曝光机自动输片控制系统研制

概略地介绍了在电子束曝光机上使用的自动输片系统的要求及其组成；较详细地叙述了自动输片控制系统的硬件组成及软件设计；最后给出了运行和检测结果。

DY－5型亚微米电子束曝光机偏转系统

本文将重点介绍ＤＹ－５型电子束曝光机的偏转系统的构成、特点及结果。

DY－5型亚微米电子束曝光机多座标系重合的调校技术

在电子束曝光机中，工件传动台、电磁偏转场及标记三者相对应的座标轴是否重合，是影响图形拼接精度的重要因素之一。本文概要地介绍了调校三座标系相互重合的方法，并给出了ＤＹ－５型亚微米电子束曝光机调校结果。

电子束曝光机图形处理系统

本文针对现有电子束曝光机在图形处理过程中存在的一些问题，提出了以辅配微机来增强原机处理能力的方法。对曝光机的图形处理过程及异机通讯等问题作了较详细的介绍。

DB—5型光栅扫描电子束曝光机真空系统

本文介绍了我国自行研制的第一台生产实用型光栅扫描电子束曝光机的真空系统,包括系统设计、分子泵与离子泵的应用、全系统泵阀的可编程自动控制,以及为改善系统性能采取的一些措施。

DY－5型亚微米电子束曝光机

本文介绍了ＤＹ－５型亚微米电子束曝光机的主要技术性能：最细特征线宽０．４μｍ；图形位置精度及拼接精度优于±０．１５μｍ；扫描场尺寸１×１ｍｍ２和２×２ｍｍ２；最高扫描速度１ＭＨｚ；可加工１００×１００ｍｍ２掩模版或Φ７５硅圆片。给出了部分曝光试验结果。