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Controllable growth of wafer-scale PdS and PdS_(2) nanofilms via chemical vapor deposition combined with an electron beam evaporation technique
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作者 Hui Gao Hongyi Zhou +6 位作者 Yulong Hao Guoliang Zhou Huan Zhou Fenglin Gao Jinbiao Xiao Pinghua Tang Guolin Hao 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2023年第12期64-71,共8页
Palladium(Pd)-based sulfides have triggered extensive interest due to their unique properties and potential applications in the fields of electronics and optoelectronics.However,the synthesis of large-scale uniform Pd... Palladium(Pd)-based sulfides have triggered extensive interest due to their unique properties and potential applications in the fields of electronics and optoelectronics.However,the synthesis of large-scale uniform PdS and PdS_(2)nanofilms(NFs)remains an enormous challenge.In this work,2-inch wafer-scale PdS and PdS_(2) NFs with excellent stability can be controllably prepared via chemical vapor deposition combined with electron beam evaporation technique.The thickness of the pre-deposited Pd film and the sulfurization temperature are critical for the precise synthesis of PdS and PdS_(2) NFs.A corresponding growth mechanism has been proposed based on our experimental results and Gibbs free energy calculations.The electrical transport properties of PdS and PdS_(2) NFs were explored by conductive atomic force microscopy.Our findings have achieved the controllable growth of PdS and PdS_(2) NFs,which may provide a pathway to facilitate PdS and PdS_(2) based applications for next-generation high performance optoelectronic devices. 展开更多
关键词 PDS PdS_(2) NANOFILMS controllable growth chemical vapor deposition electron beam evaporation
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Preparation and mechanical properties of NiCoCrAlY/NiCr laminates by electron beam physical vapor deposition
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作者 韩杰才 李垚 +3 位作者 赫晓东 孟松鹤 曾岗 陈宏平 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2005年第S3期53-56,共4页
Laminates with alternating layers of NiCoCrAlY and NiCr were fabricated by using electron beam physical vapor deposition (EB-PVD) method. The influence of the substrate temperature on morphology of the laminates was i... Laminates with alternating layers of NiCoCrAlY and NiCr were fabricated by using electron beam physical vapor deposition (EB-PVD) method. The influence of the substrate temperature on morphology of the laminates was investigated. The results show that in order to produce NiCoCrAlY/NiCr laminates with lower porosity, higher substrate temperature is required. The mechanical properties of the as-deposited samples and heat-treated samples were examined using tensile tests. The stress-strain curve of the as-deposited laminate shows a typical characteristic of multilayered materials and the fracture behavior is improved by annealing the samples at high temperatures. The tensile strength of the samples annealed at 760℃ is 658.4MPa, and the elongation reaches 6.2%. 展开更多
关键词 NiCoCrAlY/NiCr LAMINATE electron beam physical vapor deposition (eb-pvd) TENSILE test SUBSTRATE temperature
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Preparation of Ti-Al alloy sheet by electron beam physical vapor deposition
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作者 马李 赫晓东 孙跃 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2007年第A01期477-481,共5页
Ti-Al thin sheet with dimension of 450 mm×450 mm×0.2 mm was prepared by electron beam physical vapor deposition(EB-PVD) technology. The surface and cross-section pattern of as-deposited sample were studied b... Ti-Al thin sheet with dimension of 450 mm×450 mm×0.2 mm was prepared by electron beam physical vapor deposition(EB-PVD) technology. The surface and cross-section pattern of as-deposited sample were studied by SEM and AFM,and then the composition and phase were analysed by XRD and EPMA. Finally,the effect on deposit by re-evaporation of Al was explored by calculating the ratio of re-evaporating capacity with depositing capacity of Al on the substrate. The results indicate that the evaporation process with Nb addition into the molten pool makes it earlier to reach the steady-state. The existing equiaxed crystal and columnar crystal along the cross-sectional may be caused by the transformation latent heat released during the transition course of atoms from gaseous state to solid state. The effect on deposit by re-evaporation of Al can be neglected because the re-evaporating capacity of Al is far below that of the depositing capacity. 展开更多
关键词 电子束 物理性能
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Numerical simulation of mechanics of electron beam physical vapour deposition Ni/Ni_3Al microlaminates
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作者 李垚 张小朋 赵奕杰 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2005年第S3期221-226,共6页
The rupture behavior of electron beam physical vapour deposition(EBPVD) Ni/Ni3Al microlaminates composites subjected to tensile load were studied through the numerical method of finite element. 2D model and 3D model... The rupture behavior of electron beam physical vapour deposition(EBPVD) Ni/Ni3Al microlaminates composites subjected to tensile load were studied through the numerical method of finite element. 2D model and 3D model of EBPVD Ni/Ni3Al microlaminates with a centre crack were built respectively. A new scheme for building 3D crack point models was proposed and different types of elements were used. And stress intensity factors around the tip of the crack were obtained correspondingly. The results indicate that the key of the stress intensity factor for 2D model is presumably the average of the keys for 3D model in thickness and the key at the interface is the biggest, which suggests the propagation of the crack greatly likely happen at the interface. 展开更多
关键词 microlaminates FINITE element method stress INTENSITY factor electron beam physical VAPOUR deposition
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Fabrication, microstructure and properties of electron beam-physical vapor deposited TiAl sheet and TiAl/Nb laminated composites
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作者 韩杰才 章德铭 +2 位作者 陈贵清 孟松鹤 张幸红 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2006年第B02期449-452,共4页
The TiAl-based alloys sheet with 150 mm×100 mm×0.4 mm and the TiAl/Nb laminated composites with 150 mm×100 mm×0.2 mm were fabricated by using electron beam-physical vapor deposition(EB-PVD) method,... The TiAl-based alloys sheet with 150 mm×100 mm×0.4 mm and the TiAl/Nb laminated composites with 150 mm×100 mm×0.2 mm were fabricated by using electron beam-physical vapor deposition(EB-PVD) method, respectively. The microstructure and properties of the sheet were investigated by AFM, SEM and EDS. The results show that the TiAl based alloys sheet has a good surface quality, and its microstructure is columnar crystal. The component of the alloys indicates a regular and periodical gradient change which leads to the spontaneous delamination along the normal direction of substrate. In the TiAl/Nb laminated composites alternating overlaid by TiAl of 24 layers and Nb of 23 layers, the interface of each layer evenly distributed throughout the cross-section is transparent, and the interlayer spacing is about 8μm. The component of TiAl layers also changes regularly along the normal direction of substrate, but no delamination phenomenon is found. The TiAl/Nb laminated composites have better ductility than the TiAl-based alloys sheet. 展开更多
关键词 电子束汽相淀积 钛铝基合金板 TiAl/Nb层压复合材料 制备 性质 显微结构
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Numerical modeling for electron-beam evaporated process of magnetic alloy Fe-6.5%Si
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作者 李晓 赫晓东 李垚 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2005年第S3期295-298,共4页
Based on Langmuir equation and thermodynamic properties of iron-silicon binary alloy, a mathematical model about the process of electron-beam evaporated binary alloy Fe-6.5%Si was established. Variation of the composi... Based on Langmuir equation and thermodynamic properties of iron-silicon binary alloy, a mathematical model about the process of electron-beam evaporated binary alloy Fe-6.5%Si was established. Variation of the composition of molten pool, vapor and deposit with time, length of transient time and the composition of molten pool, deposit under the steady condition were presented according to the numerical model. The experimental results on the composition of deposit were compared to the data calculated through the model. The results show that the model is applicable, after evaporating for about 50min, the compositions of the deposit are equal to those of the ingot. 展开更多
关键词 Fe-6.5%Si ALLOY electron beam physical vapor deposition numerical modeling
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Thickness and component distributions of yttrium-titanium alloy films in electron-beam physical vapor deposition 被引量:3
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作者 LI ShuaiHui SHU YongHua FAN Jing 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2008年第9期1470-1482,共13页
Thickness and component distributions of large-area thin films are an issue of in-ternational concern in the field of material processing. The present work employs experiments and direct simulation Monte Carlo (DSMC) ... Thickness and component distributions of large-area thin films are an issue of in-ternational concern in the field of material processing. The present work employs experiments and direct simulation Monte Carlo (DSMC) method to investigate three-dimensional low-density, non-equilibrium jets of yttrium and titanium vapor atoms in an electron-beams physical vapor deposition (EBPVD) system furnished with two or three electron-beams, and obtains their deposition thickness and component distributions onto 4-inch and 6-inch mono-crystal silicon wafers. The DSMC results are found in excellent agreement with our measurements, such as evaporation rates of yttrium and titanium measured in-situ by quartz crystal reso-nators, deposited film thickness distribution measured by Rutherford backscat-tering spectrometer (RBS) and surface profilometer and deposited film molar ratio distribution measured by RBS and inductively coupled plasma atomic emission spectrometer (ICP-AES). This can be taken as an indication that a combination of DSMC method with elaborate measurements may be satisfactory for predicting and designing accurately the transport process of EBPVD at the atomic level. 展开更多
关键词 electron beam physical vapor deposition thin film thickness and species DISTRIBUTIONS vapor ATOM NON-EQUILIBRIUM transport
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EB-PVD热障涂层高温氧化过程中的显微结构和相分析 被引量:10
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作者 李美姮 孙晓峰 +4 位作者 宫声凯 张重远 管恒荣 胡望宇 胡壮麒 《中国腐蚀与防护学报》 CAS CSCD 2002年第2期105-110,共6页
采用磁控溅射方法在镍基单晶高温合金基体上沉积NiCrAlY粘结层 ,电子束物理气相沉积方法 (EB -PVD)沉积陶瓷层 (7mass%Y2 O3 -ZrO2 ) .用X -射线衍射 (XRD)、扫描电镜 (SEM )等研究了EB -PVD热障涂层热循环过程中的相变 ,同时观察了样... 采用磁控溅射方法在镍基单晶高温合金基体上沉积NiCrAlY粘结层 ,电子束物理气相沉积方法 (EB -PVD)沉积陶瓷层 (7mass%Y2 O3 -ZrO2 ) .用X -射线衍射 (XRD)、扫描电镜 (SEM )等研究了EB -PVD热障涂层热循环过程中的相变 ,同时观察了样品的形貌变化 .结果表明 ,EB -PVD方法沉积的陶瓷层 ,其柱状晶粒簇拥成团 ,表面比较致密 ,然而晶粒簇间存在间隙 ,允许柱状晶横向伸缩 ,使基体能在相对大的范围内自由膨胀 .经高温氧化后 ,陶瓷层表面变得疏松 ,柱状晶粒簇间距增大 ,随着热循环的继续进行 ,相邻较大的间隙互相连接而形成微裂纹 ,并逐渐横向及纵向扩展 .循环氧化比恒温氧化更易于产生显微裂纹 .10 5 0℃热循环过程中 ,ZrO2 正方相的c/a轴比值逐渐增加 ,Y2 O3 含量逐渐减少 ,非平衡正方相逐渐分解成平衡正方相和立方相 .循环 30 0次后 ,观察到少量从平衡正方相转变而来的单斜相 . 展开更多
关键词 高温氧化 电子束物理气相沉积 热障涂层 显微裂纹 相变
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EB-PVD热障涂层的热循环失效机理 被引量:10
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作者 李美姮 张重远 +4 位作者 孙晓峰 宫声凯 胡望宇 管恒荣 胡壮麒 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第8期20-23,共4页
采用电子束物理气相沉积方法 (EB- PVD)在 Ni Cr Al Y粘结层上沉积 Y2 O3部分稳定的 Zr O2 陶瓷层。对样品进行了 10 5 0℃的热循环实验。结果表明 ,沉积态陶瓷层表面比较致密 ,其柱状晶粒簇拥成团 ,晶粒簇间存在间隙。随着热循环不断进... 采用电子束物理气相沉积方法 (EB- PVD)在 Ni Cr Al Y粘结层上沉积 Y2 O3部分稳定的 Zr O2 陶瓷层。对样品进行了 10 5 0℃的热循环实验。结果表明 ,沉积态陶瓷层表面比较致密 ,其柱状晶粒簇拥成团 ,晶粒簇间存在间隙。随着热循环不断进行 ,陶瓷层表面变得疏松 ,晶粒簇间距增大 ,相邻较大的间隙互相连接成微裂纹 ,并逐渐横向及纵向扩展。 10 5 0℃循环 2 0 0次 ,粘结层氧化物是均匀连续的一薄层 ,主要由 Al2 O3组成 ;循环 30 0次后 ,出现了 Ni O、尖晶石等氧化物。根据显微结构观察和 EDS、 XRD分析结果 ,提出了 EB- PVD热障涂层热循环的失效机理。 展开更多
关键词 电子束物理气相沉积 热障涂层 热循环 失效机理
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EB-PVD热障涂层对高温合金基体断裂特征影响的研究 被引量:10
10
作者 张东博 郭洪波 +1 位作者 宫声凯 徐惠彬 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2001年第3期273-276,共4页
采用EB -PVD方法在K3合金上 (包括铸态和经标准热处理两种状态 )沉积了由NiCoCrAlY金属粘结层和YSZ涂层顶层组成的双层结构的热障涂层 .对未涂层和涂层试样的拉伸性能进行了评估 ,并分析了涂层的制备和中间处理过程中基体的微观结构的变... 采用EB -PVD方法在K3合金上 (包括铸态和经标准热处理两种状态 )沉积了由NiCoCrAlY金属粘结层和YSZ涂层顶层组成的双层结构的热障涂层 .对未涂层和涂层试样的拉伸性能进行了评估 ,并分析了涂层的制备和中间处理过程中基体的微观结构的变化 .结果表明 ,在热障涂层的沉积以及中间处理过程中 (真空前处理及后处理 ) ,基体的铸态组织得到改善 ,产生了析出强化 ,使得在铸态K3合金基体上沉积热障涂层后基体的拉伸强度由 80 0MPa提高到 10 5 0MPa 。 展开更多
关键词 电子束物理气相沉积 热障涂层 铸态合金 燃气涡轮机 叶片材料 高温合金 断裂特征 力学性能
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电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术研究及应用进展 被引量:7
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作者 刘景顺 曾岗 +2 位作者 李明伟 杨森 郭洪飞 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第F11期246-248,255,共4页
概述了近几年来快速发展的新兴材料加工工艺技术——电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术的研究及应用现状,着重阐述了电子束物理气相沉积(EB-PVD)过程的主要工艺参数和制备高温合金板材显微组织的形成机理。
关键词 电子束物理气相沉积(eb-pvd) 应用 工艺参数 形成机理
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EB-PVD梯度热障涂层的热循环失效机制 被引量:9
12
作者 郭洪波 徐惠彬 +1 位作者 宫声凯 刘福顺 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期151-155,共5页
研究了一种新型梯度结构的EB-PVD(电子束物理气相沉积)热障涂层的热循环性能,并分析了涂层的失效机制结果表明,由于NICoCrAlY粘结层以及在粘结层上形成的 NisAl薄层发生了选择性氧化,从而在粘结层和梯度过渡... 研究了一种新型梯度结构的EB-PVD(电子束物理气相沉积)热障涂层的热循环性能,并分析了涂层的失效机制结果表明,由于NICoCrAlY粘结层以及在粘结层上形成的 NisAl薄层发生了选择性氧化,从而在粘结层和梯度过渡层之间形成了一层Al2O3层、随着热循环时间增长, Al2O3层不断增厚,而且在热循环应力作用下,涂层最终沿Al2O3层内部断裂失效. 展开更多
关键词 eb-pvd 梯度热障涂层 热循环 过渡层 失效机制
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微叠层结构EB-PVD热障涂层 被引量:12
13
作者 牟仁德 贺世美 +1 位作者 何利民 许振华 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期55-60,共6页
采用EB-PVD非连续沉积工艺制备了微叠层结构热障涂层,对涂层结构和晶体形貌进行了SEM观察和分析,采用激光脉冲法测定了涂层的热扩散系数,并采用增重法研究了涂层的氧化动力学特征,分析了氧化后的元素扩散情况。结果表明,非连续EB-PVD沉... 采用EB-PVD非连续沉积工艺制备了微叠层结构热障涂层,对涂层结构和晶体形貌进行了SEM观察和分析,采用激光脉冲法测定了涂层的热扩散系数,并采用增重法研究了涂层的氧化动力学特征,分析了氧化后的元素扩散情况。结果表明,非连续EB-PVD沉积工艺制备的涂层具有明显的层状特征,常规EB-PVD热障涂层的柱状晶结构被周期性地打破;但在每一层中,柱状晶结构得以保留,且晶粒更加细化。微叠层热障涂层的热扩散系数比常规热障涂层降低20%-30%,涂层热扩散系数的降低主要与层间界面和晶粒的细化减小了声子的平均自由程有关。微叠层结构热障涂层的氧化增重速率明显低于常规试样,遵循典型的抛物线规律,垂直于元素扩散方向的层间界面和细晶更有效地降低或阻止了O、Al、Ni、Cr等元素的扩散,可能是氧化增重速率较低的主要原因。 展开更多
关键词 热障涂层 微叠层 电子束物理气相沉积 热扩散系数 激光脉冲
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垂直裂纹对EB-PVD热障涂层热循环失效模式的影响 被引量:10
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作者 陈立强 宫声凯 徐惠彬 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期979-984,共6页
对电子束物理气相沉积(EB-PVD)双层结构热障涂层在热循环过程中形成的陶瓷层垂直裂纹对涂层失效模式的影响进行了研究.结果表明,陶瓷层表面垂直裂纹出现在热循环初期,但并未造成涂层的早期剥落;随着热循环次数增加,垂直裂纹网格变密.有... 对电子束物理气相沉积(EB-PVD)双层结构热障涂层在热循环过程中形成的陶瓷层垂直裂纹对涂层失效模式的影响进行了研究.结果表明,陶瓷层表面垂直裂纹出现在热循环初期,但并未造成涂层的早期剥落;随着热循环次数增加,垂直裂纹网格变密.有限元计算表明,垂直裂纹的形成在试样中部产生了类似于试样边缘的剪应力集中效应.经过长时间热循环后,当陶瓷层等轴晶区的强度或者热氧化生长层(TGO)的强度小于边缘效应产生的剪应力对,涂层在试样的中部以垂直裂纹网格形状发生剥落失效. 展开更多
关键词 热障涂层 电子束物理气相沉积 热循环 失效模式
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基体温度对TC11钛合金EB-PVD修复层组织及振动疲劳寿命的影响 被引量:4
15
作者 孙刚 陈学明 +2 位作者 马国佳 马江宁 崔向中 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期59-64,共6页
为了研究温度对修复层性能的影响,采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术在TC11平板试样上制备了修复层,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和能谱仪(EDS)研究了不同温度下修复层的成分及组织形貌变化,并通过振动疲劳试... 为了研究温度对修复层性能的影响,采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术在TC11平板试样上制备了修复层,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和能谱仪(EDS)研究了不同温度下修复层的成分及组织形貌变化,并通过振动疲劳试验等方法研究了温度对修复层振动疲劳寿命的影响。结果表明:在600~800℃进行修复时,修复层为柱状晶组织。修复层的致密性随温度升高而变大,这种变化也会影响修复后试片的振动疲劳性能,修复层柱状晶结构间隙处形成的裂纹源会造成试片疲劳性能的下降。 展开更多
关键词 电子束物理气相沉积(eb-pvd) 温度 修复层 振动疲劳寿命
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EB-PVD制备NiCrCoAl薄板800℃热处理微观组织研究 被引量:2
16
作者 刘景顺 曾岗 +2 位作者 李明伟 韩杰才 曾松岩 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1234-1236,共3页
对采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术制备Ni基高温合金薄板800℃真空保温过程中微观组织结构与硬度进行了研究。结果表明:制备态NiCrCoAl合金组织为γ-Ni固溶体,组织均匀细化、无沉淀析出相、无位错,存在孪晶,晶粒中出现大量应变条纹... 对采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术制备Ni基高温合金薄板800℃真空保温过程中微观组织结构与硬度进行了研究。结果表明:制备态NiCrCoAl合金组织为γ-Ni固溶体,组织均匀细化、无沉淀析出相、无位错,存在孪晶,晶粒中出现大量应变条纹;在热处理态800℃,5×10-3Pa真空保温过程中,合金组织相结构未发生变化,合金的平面和截面组织呈现层片状结构,存在大量亚结构缺陷——孪晶、少量位错,在800℃保温16h,有少量碳化物沉淀析出物;随着合金保温时间的延长,应变条纹随之消除,沿(220)晶面的晶粒择优取向迅速长大。同时,显微硬度随之降低。 展开更多
关键词 电子束物理气相沉积(eb-pvd) 热处理 微观组织 NiCoCrAl薄板
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EB-PVD制备箔材的厚度均匀性研究 被引量:2
17
作者 韩杰才 李晓海 +1 位作者 陈贵清 孟松鹤 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 2006年第1期25-28,共4页
从真空蒸镀中使用的小平面蒸发源理论出发,针对电子束物理气相沉积中为改善箔材厚度分布所须旋转大基板进行蒸镀的情况,建立了该过程的数学模型;并利用该模型对不同的坩埚位置所沉积的箔材厚度进行了定性分析,从而实现了对坩埚与基板相... 从真空蒸镀中使用的小平面蒸发源理论出发,针对电子束物理气相沉积中为改善箔材厚度分布所须旋转大基板进行蒸镀的情况,建立了该过程的数学模型;并利用该模型对不同的坩埚位置所沉积的箔材厚度进行了定性分析,从而实现了对坩埚与基板相对位置的优化,使基板上沉积的箔材厚度分布可以达到最均匀的状态。最后通过K值的提出使理论和实际箔材厚度的结果趋于一致,即证明所建立的数学模型是合理的。 展开更多
关键词 电子束物理气相沉积 数学模型 箔材厚度分布 均匀性
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EB-PVD制备Ni-20.3Cr-4.6Co-2.1Al薄板微观组织结构研究 被引量:2
18
作者 刘景顺 曾岗 +3 位作者 李明伟 刘向东 郝新 车广东 《铸造技术》 EI CAS 北大核心 2006年第12期1322-1325,共4页
对采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术制备Ni-20.3Cr-4.6Co-2.1Al高温合金薄板的微观组织结构进行了研究。结果表明:制备态合金薄板相组成为-γNi基固溶体,不存在第二相。合金在制备过程中的宏观、微观应力以及晶粒细化作用,导致相同... 对采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术制备Ni-20.3Cr-4.6Co-2.1Al高温合金薄板的微观组织结构进行了研究。结果表明:制备态合金薄板相组成为-γNi基固溶体,不存在第二相。合金在制备过程中的宏观、微观应力以及晶粒细化作用,导致相同位置衍射峰叠加,产生衍射峰宽化现象,具有不对称性。在OM和SEM下观察组织致密均匀、晶粒细化,晶粒间耐蚀程度存在差异;TEM观察其组织结构,存在应变条纹,亚结构缺陷主要为孪晶;AFM三维形貌图反映出晶粒光整、没有棱面,说明合金蒸气在结晶时,发生由气相→液相→固相的转变过程。 展开更多
关键词 电子束物理气相沉积(E&PVD) 制备态 组织结构 Ni-20.3Cr-4.6Co-2.1Al薄板
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固渗+EB-PVD法制备炭/炭复合材料防氧化复合涂层研究 被引量:2
19
作者 李军 罗瑞盈 张仁钦 《炭素技术》 CAS CSCD 2007年第3期1-5,共5页
制备出了SiC/SiC-Al2O3-Y2O3炭/炭复合材料防氧化复合涂层,该复合涂层的内层SiC基涂层采用料浆固渗法制备,SiC-Al2O3-Y2O3外层涂层采用大功率电子束物理气相沉积法。研究表明,电子束物理气相沉积法能达到较好的沉积效果,在制备过程中形... 制备出了SiC/SiC-Al2O3-Y2O3炭/炭复合材料防氧化复合涂层,该复合涂层的内层SiC基涂层采用料浆固渗法制备,SiC-Al2O3-Y2O3外层涂层采用大功率电子束物理气相沉积法。研究表明,电子束物理气相沉积法能达到较好的沉积效果,在制备过程中形成了柱状晶结构的涂层,使得涂层具有更高的应变容限,涂层非常均匀致密。用SEM、XPS和EDS等分析方法分析了涂层的防氧化机理。结果表明:在制备过程和氧化过程中,涂层内会发生复杂的物理和化学变化,生成硅酸盐氧化物,显示出电子束物理气相沉积法在制备炭/炭复合材料防氧化涂层方面独特的优势。 展开更多
关键词 炭/炭复合材料 电子束物理气相沉积 涂层 防氧化
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EB-PVD方法制备热障涂层热循环性能研究 被引量:2
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作者 姚振中 武洪臣 +1 位作者 冯建基 雷新更 《航空制造技术》 2008年第9期78-81,97,共5页
采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术在不同基体预热温度条件下制备NiCoCrAlY粘结层和氧化钇部分稳定的氧化锆面层。对样品进行了热循环试验。观察热循环过程中热障涂层显微结构的变化并分析了连续恒温氧化与热循环氧化间的差异,提出了E... 采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术在不同基体预热温度条件下制备NiCoCrAlY粘结层和氧化钇部分稳定的氧化锆面层。对样品进行了热循环试验。观察热循环过程中热障涂层显微结构的变化并分析了连续恒温氧化与热循环氧化间的差异,提出了EB-PVD热障涂层热循环的失效机理。 展开更多
关键词 电子束物理气相沉积 热障涂层 热循环
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