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探针电流调制法在射频低压等离子体诊断中的应用
1
作者
朱南强
陈跃山
朱文浩
《清华大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989年第5期79-86,共8页
应用探针电流调制法设计的三探针用于诊断无内电极放电的射频低压等离子体中的电子能量分布函数。测量了氮气等离子体在压强为0.13~13Pa时的电子能量分布函数。由此得到的电子平均能量,与由探针V-I特性计算得到的电子平均...
应用探针电流调制法设计的三探针用于诊断无内电极放电的射频低压等离子体中的电子能量分布函数。测量了氮气等离子体在压强为0.13~13Pa时的电子能量分布函数。由此得到的电子平均能量,与由探针V-I特性计算得到的电子平均能量相差不超过5%,证明了本测量系统的可靠性。
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关键词
探针电流
调制
诊断
等离子体
原文传递
题名
探针电流调制法在射频低压等离子体诊断中的应用
1
作者
朱南强
陈跃山
朱文浩
机构
工程力学系
出处
《清华大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989年第5期79-86,共8页
文摘
应用探针电流调制法设计的三探针用于诊断无内电极放电的射频低压等离子体中的电子能量分布函数。测量了氮气等离子体在压强为0.13~13Pa时的电子能量分布函数。由此得到的电子平均能量,与由探针V-I特性计算得到的电子平均能量相差不超过5%,证明了本测量系统的可靠性。
关键词
探针电流
调制
诊断
等离子体
Keywords
electron
energy
distribution
function
(
eedf
),
single-probe method
,
triple-probe method
,
tile probe sheath
,
the v-i characteristics of the probe
,
plasma
分类号
O53 [理学—等离子体物理]
原文传递
题名
作者
出处
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1
探针电流调制法在射频低压等离子体诊断中的应用
朱南强
陈跃山
朱文浩
《清华大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989
0
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