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Comparative Analysis for Different Mathematical Models in Electron Optics
1
作者 Valentin Ivanov 《Journal of Chemistry and Chemical Engineering》 2014年第10期990-995,共6页
The comparative analysis of modem mathematical models for 3D problems in electron optics is presented. The new approach to solve the electron optics problems in three dimensions is presented. It is based on the princi... The comparative analysis of modem mathematical models for 3D problems in electron optics is presented. The new approach to solve the electron optics problems in three dimensions is presented. It is based on the principal ray method suggested by G. Grinberg in 1948. That perspective approach was not realized before for full three-dimensional electron optic systems, probably because of the complexity of its mathematical apparatus. We describe the analytical technique of the BEM (boundary element method) for the field evaluation, and 3rd order aberration expansion for the trajectory analysis. The first version of such computer code "OPTICS-3" and some results of numerical simulations with this code were presented. 展开更多
关键词 electron optics aberration theory analytical technique boundary element method.
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A Theory of Relativistic Asymptotic Aberrations of a Combined Focusing-Deflection System
2
作者 李钰 《Science China Mathematics》 SCIE 1993年第8期957-968,共12页
In this paper, a general theory of the relativistic asymptotic third order geometrical and first order chromatic aberrations of a combined electrostatic-magnetostatic focuslng-deflection system have been presented. Al... In this paper, a general theory of the relativistic asymptotic third order geometrical and first order chromatic aberrations of a combined electrostatic-magnetostatic focuslng-deflection system have been presented. All their aberration coefficients contain no derivative higher than the second order. The divergence in Hawkes’ theory of asymptotic aberrations has been thoroughly voided in the present paper. 展开更多
关键词 electron optics focusing-deflection SYSTEM RELATIVISTIC asymptotic aberrations.
原文传递
基于渐近解的成像电子光学近轴横向像差理论及其验证 被引量:5
3
作者 周立伟 公慧 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期619-625,共7页
在成像电子光学系统的横向像差中,近轴像差是整个像面普遍存在、且影响图像中心像质的主要像差,并决定了系统的极限分辨率.本文由电子光学近轴方程的渐近解推导了近轴横向像差的普遍表示式,并通过一两电极静电同心球系统,推导了近轴轨... 在成像电子光学系统的横向像差中,近轴像差是整个像面普遍存在、且影响图像中心像质的主要像差,并决定了系统的极限分辨率.本文由电子光学近轴方程的渐近解推导了近轴横向像差的普遍表示式,并通过一两电极静电同心球系统,推导了近轴轨迹特解的渐近解和精确解的解析表示,给出了二级和三级近轴色球差以及三级近轴放大率色差的表达式,证明了基于渐近解求解成像电子光学系统的近轴横向像差的途径是可行的和足够精确的.文中给出的近轴横向像差的简明形式对于成像电子光学系统的像差研究和像管设计具有实际意义. 展开更多
关键词 电子光学成像系统 静电阴极透镜 电子光学的像差理论 近轴横向像差 近轴放大率色差
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宽束大物面电磁聚焦系统的弯曲轴电子光学像差理论 被引量:2
4
作者 艾克聪 西门纪业 +1 位作者 周立伟 金伟其 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第3期1-8,共8页
本文研究了宽束大物面电磁聚焦系统弯曲轴电子光学象差理论。我们引进了旋转的曲线正交坐标系,导出了主轨迹方程、一级近似的弯曲轴近轴轨迹方程,讨论了理想成象性质。本文定义了象差积分函数,导出了形式简洁的全部二级象差函数。
关键词 电子光学 电子透镜 象差 电磁聚焦
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关于Tau变分法研究电子光学成像系统的时间像差理论 被引量:2
5
作者 周立伟 M A Monastyrski. +2 位作者 M Ya Schelev 张智铨 李元 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期193-197,共5页
本文采用新的时间像差定义,考察了“Tau变分法”研究电子光学成像系统的时间像差理论.本文表明,“Tau变分法”所给出的以微分方程形式表示的几何时间像差系数,亦可获得积分形式的表示式,证明了“直接积分法”与“Tau变分法”这两条途径... 本文采用新的时间像差定义,考察了“Tau变分法”研究电子光学成像系统的时间像差理论.本文表明,“Tau变分法”所给出的以微分方程形式表示的几何时间像差系数,亦可获得积分形式的表示式,证明了“直接积分法”与“Tau变分法”这两条途径殊途同归. 展开更多
关键词 电子光学成像系统 阴极透镜 动态电子光学 时间像差理论 时间渡越弥散
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复合静电-磁浸没透镜的宽束曲轴聚焦性质及像差理论 被引量:1
6
作者 程敏 唐天同 姚振华 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期5-9,共5页
研究了新型的复合静电 磁浸没透镜的曲光轴高斯电子光学性质及像差特性。应用宽束曲轴理论 ,导出了三维局部正交坐标系中的电子运动的中心轨迹方程和曲光轴的近轴轨迹方程 ;利用数学软件Mathematica推导出了复合静电 磁浸没透镜全部曲... 研究了新型的复合静电 磁浸没透镜的曲光轴高斯电子光学性质及像差特性。应用宽束曲轴理论 ,导出了三维局部正交坐标系中的电子运动的中心轨迹方程和曲光轴的近轴轨迹方程 ;利用数学软件Mathematica推导出了复合静电 磁浸没透镜全部曲轴二级像差系数。作为实例 ,文中针对轴上磁场和电场具有某种解析表达式的旋转对称的静电 磁浸没透镜系数 ,计算了它的曲轴高斯聚焦特性和二级像差 。 展开更多
关键词 静电-磁浸没透镜 曲光轴 像差 轨迹 聚焦性质 微电子技术 带电粒子光学
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磁浸没透镜的宽束曲轴像差理论 被引量:2
7
作者 程敏 唐天同 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期811-813,共3页
本文采用宽束曲轴电子光学理论 ,研究了磁浸没透镜的电子光学特性 ,得出了主轨迹方程和曲近轴轨迹方程 ,并利用数学软件Mathematica推导出了其全部二级像差系数 .针对轴上磁场分布具有解析表达式的磁浸没透镜 ,文中还计算了它的曲轴二... 本文采用宽束曲轴电子光学理论 ,研究了磁浸没透镜的电子光学特性 ,得出了主轨迹方程和曲近轴轨迹方程 ,并利用数学软件Mathematica推导出了其全部二级像差系数 .针对轴上磁场分布具有解析表达式的磁浸没透镜 ,文中还计算了它的曲轴二级像差 ,并给出了其孔径像差的弥散图形情况 。 展开更多
关键词 曲轴 磁浸没透镜 电子光学 像差
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电磁复合场三级几何像差方程的一种数值解法 被引量:1
8
作者 杨立才 张涛 裘培勇 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第3期69-74,101,共7页
本文提出了利用函数逼近的数值迭代方法精确求解电磁复合场中电子成像系统三级几何像差方程式的概念,避免了传统电子光学近似计算造成的附加误差,提高了像差计算的精度,为高精度电子光学设计提供了可信的依据。
关键词 像差 电子束曝光 CAD 光电子学
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电磁复合场三级几何像差方程的修正与像差系数 被引量:3
9
作者 杨立才 张玉林 陈振生 《微细加工技术》 1996年第1期7-16,共10页
本文基于作者提出的“函数逼近的数值迭代概念”,修正了电磁复合场中电子成像系统的三级几何像差方程式,给出了具有更高精度的像差计算公式和用集中参数形式描述的像差系数表达式,为像差的数值计算和电子光学系统的计算机优化设计提... 本文基于作者提出的“函数逼近的数值迭代概念”,修正了电磁复合场中电子成像系统的三级几何像差方程式,给出了具有更高精度的像差计算公式和用集中参数形式描述的像差系数表达式,为像差的数值计算和电子光学系统的计算机优化设计提供了实用的理论依据。 展开更多
关键词 电子光学 像差 电磁复合场 三级几何像差
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基于渐近解的静电成像电子光学近轴横向像差理论 被引量:1
10
作者 周立伟 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期941-946,共6页
在迄今为止的成像电子光学研究中,备受关注的是二级近轴横向像差(即二级近轴色差)和三级几何横向像差,几乎忽略了三级近轴色差和三级近轴放大率色差的存在,理论上也没有给出近轴横向像差的一般形式.作者基于近轴方程的渐近解研究近轴横... 在迄今为止的成像电子光学研究中,备受关注的是二级近轴横向像差(即二级近轴色差)和三级几何横向像差,几乎忽略了三级近轴色差和三级近轴放大率色差的存在,理论上也没有给出近轴横向像差的一般形式.作者基于近轴方程的渐近解研究近轴横向像差的一般理论,探讨了近轴方程渐近解系数之间的关系式,证明其间是相互关联的.所得结果为研究简明形式的近轴横向像差提供理论基础. 展开更多
关键词 电子光学成像系统 静电阴极透镜 像差理论 近轴横向像差 近轴色差 近轴放大率色差
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关于动态电子光学时间像差理论的研究 被引量:1
11
作者 周立伟 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期377-382,共6页
提出了直接积分法(DIM)研究动态电子光学成像系统时间像差的理论.以阴极面逸出的某一轴向电子初能为εz1(0≤εz1≤ε0max)的近轴电子轨迹为比较基准,给出时间像差的新定义,导出了动态电子光学成像系统时间像差系数的积分表达式.利用静... 提出了直接积分法(DIM)研究动态电子光学成像系统时间像差的理论.以阴极面逸出的某一轴向电子初能为εz1(0≤εz1≤ε0max)的近轴电子轨迹为比较基准,给出时间像差的新定义,导出了动态电子光学成像系统时间像差系数的积分表达式.利用静电聚焦同心球系统理想模型的解析解检验了直接积分法(DIM)与τ变分法求解成像系统时间像差系数的表达式,并证明了两者的正确性与等价性.与τ变分法比较,直接积分法(DIM)给出的二级几何时间像差系数以积分形式表示,计算更简便,更适于成像系统的实际计算与设计.同时还从方法论的角度阐述了研究动态电子光学时间像差理论的体会. 展开更多
关键词 阴极透镜 电子光学成像系统 动态电子光学 时间像差理论
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电磁复合场中电子成像系统的计算机辅助分析 被引量:1
12
作者 杨立才 张涛 裘培勇 《微细加工技术》 1991年第2期20-24,共5页
本文利用数值仿真技术对复合场中电子成像系统的像差理论做了研究。基于一种新的计算方法编写了一套完整的像差计算程序,由此可求得任意初始条件下复合场中电子成像系统的三级几何像差。其计算精度可比传统软件的提高四倍以上,为高精度... 本文利用数值仿真技术对复合场中电子成像系统的像差理论做了研究。基于一种新的计算方法编写了一套完整的像差计算程序,由此可求得任意初始条件下复合场中电子成像系统的三级几何像差。其计算精度可比传统软件的提高四倍以上,为高精度电子光路的设计提供了可靠的理论工具。 展开更多
关键词 电磁场 电子成像系统 CAD 像差
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一种用曲轴轨迹确定轴外点扩散分布的方法
13
作者 金伟其 周立伟 倪国强 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 1991年第4期90-93,共4页
根据曲轴宽电子束聚焦理论,研究了一种用曲轴轨迹确定轴外点扩散分布的方法。这种新方法可在保持与传统方法相同的精度条件下,减小电子光学传递函数的计算量,提高计算速度,对大物面成象系统的计算具有实际意义。
关键词 电子光学 电子聚焦 象差理论 曲轴轨迹 轴外点扩散分布 大物面成象系统 点扩散函数 传递函数
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面对称静电场中曲轴宽电子束聚焦的象差理论
14
作者 金伟其 周立伟 倪国强 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 1990年第S3期34-44,共11页
在宽电子束聚焦普遍理论的基础上,研究了面对称静电场中曲轴宽电子束聚焦的象差理论,讨论了曲轴横向象差的定义,给出了象差方程和象差系数,并将曲轴宽电子束聚焦的象差理论应用于轴对称静电阴极透镜。所得结果适宜于计算机处理。
关键词 电子光学 电子透镜 电子聚焦/阴极透镜 象差理论
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电磁聚焦成象系统中曲轴宽电子束聚焦的象差理论
15
作者 金伟其 周立伟 倪国强 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 1995年第3期271-277,共7页
在宽电子束聚焦理论基础上,利用非正交旋转曲轴坐标系,研究了电磁聚焦成象系统的曲轴象差理论.采用象差积分函数形式,导出了二级几何象差、主轨迹色球差和曲近轴色球差的象差系数,使结果适宜计算机处理.本文结果已用于实际电磁聚... 在宽电子束聚焦理论基础上,利用非正交旋转曲轴坐标系,研究了电磁聚焦成象系统的曲轴象差理论.采用象差积分函数形式,导出了二级几何象差、主轨迹色球差和曲近轴色球差的象差系数,使结果适宜计算机处理.本文结果已用于实际电磁聚焦成象系统的设计计算. 展开更多
关键词 电子光学 电子束聚焦 象差 成象系统
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渐近解求解静电成像电子光学近轴横向像差的验证
16
作者 周立伟 公慧 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期1035-1040,1057,共7页
通过一两电极静电同心球系统的理想模型的解析解,对以渐近解表示的近轴横向像差进行了验证。推导了两电极静电同心球系统的理想模型的渐近解各系数的表达式,以证明基于渐近解求解电子光学近轴横向像差的途径的可行性和正确性。由渐近解... 通过一两电极静电同心球系统的理想模型的解析解,对以渐近解表示的近轴横向像差进行了验证。推导了两电极静电同心球系统的理想模型的渐近解各系数的表达式,以证明基于渐近解求解电子光学近轴横向像差的途径的可行性和正确性。由渐近解导出的静电电子光学成像系统的二级和三级近轴色差表达式,证明了莱克纳格尔-阿尔齐莫维奇(Recknagel-Artimovich)公式依然成立。给出了以简明形式表示的近轴横向像差的表达式,对于成像电子光学的像差理论和像管设计具有理论和实际意义。 展开更多
关键词 成像电子光学系统 静电阴极透镜 像差理论 近轴横向像差 近轴色差 近轴放大率色差
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旋转对称电子光学系统的五级几何像差分析
17
作者 木崇俊 陈尔纲 +1 位作者 高俊 李川 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第8期67-69,共3页
本文将旋转对称电子光学系统五级几何像差按边界条件分成球差、彗差、亚像散和场曲、亚彗差、像散和场曲、畸变等六类,并分析各类像差在高斯像平面上的图像.
关键词 旋转对称 电子光学系统 几何像差 球差
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钟形磁场的正则色差理论
18
作者 西门纪业 刘志雄 《北京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1998年第2期207-213,共7页
根据正则电子光学理论,本文将光程函数广义积分变换方法应用于钟形磁场,推导出一级和三级色差解析公式,然后进行了数值计算。这项研究成果发展了电子光学Scherzer原理,有助于估计磁透镜的一级和三级色差。
关键词 电子光学 正则理论 几何像差 色差 钟形磁场
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静电偏转器高阶像差的三维微分代数计算
19
作者 康永锋 赵静宜 刘星 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期605-610,共6页
本文研究了静电偏转器高阶像差在三维空间的微分代数计算。利用有限元方法计算了静电偏转器电场的三维分布,通过三维数据拟合方法构造电磁场分布的三维局部解析式,将电场量转化为微分代数扩展数,利用微分代数方法分析计算偏转系统直至... 本文研究了静电偏转器高阶像差在三维空间的微分代数计算。利用有限元方法计算了静电偏转器电场的三维分布,通过三维数据拟合方法构造电磁场分布的三维局部解析式,将电场量转化为微分代数扩展数,利用微分代数方法分析计算偏转系统直至五阶的像差。验证了数据拟合方法的精度和可靠性,结果表明该方法具有非常高的精度,完全可以满足工程设计分析的需要。编写了相关的计算软件,具体分析计算了一个八瓣电极偏转器直至五阶的几何像差。 展开更多
关键词 微分代数方法 3D 高阶电子光学像差 偏转器
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考虑二级近似下静电曲轴宽电子束聚焦系统的计算
20
作者 张良忠 周立伟 金伟其 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第6期19-22,18,共5页
本文对曲线坐标系下的静电宽电子束轨迹方程进一步深入研究,给出了该坐标系下的主轨迹方程以及考虑到二级近似下的曲轴轨迹方程,并将之转换成适合计算的形式,利用同心球系统论证了这种曲轴轨迹计算方法的合理性与可靠性,计算表明同心球... 本文对曲线坐标系下的静电宽电子束轨迹方程进一步深入研究,给出了该坐标系下的主轨迹方程以及考虑到二级近似下的曲轴轨迹方程,并将之转换成适合计算的形式,利用同心球系统论证了这种曲轴轨迹计算方法的合理性与可靠性,计算表明同心球近轴与实际轨迹之间、曲轴一级与二级近似下轨迹之间相差约在第五个数量级;由实际管型计算出的像差约在第四个数量级上,这在一般工程应用中是可以忽略的,但在高精度像管计算中却不能将之忽略。 展开更多
关键词 电子光学 宽电子束聚焦 曲线坐标系 同心球系统
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