电子级磷酸的制备工艺及研究进展

电子级磷酸是晶圆、薄膜液晶显示器生产不可或缺的关键清洗和蚀刻材料,随着芯片产业高端化发展,对电子级磷酸的要求越来越高。介绍了电子级磷酸的应用领域、质量标准和检测方法,综述了电子级磷酸的制备工艺及研究进展,阐述了相关方法的原理及优缺点,对我国电子级磷酸的研究与开发提出了建议。

氧化法制备电子级高纯黄磷的实验研究

随着电子工业的发展,对电子级高纯黄磷的需求也日益增加。本文采用氧化法制备电子级高纯黄磷,考察了碘酸和双氧水两种氧化剂,分析了不同的双氧水比例、水洗次数对提纯效果的影响。结果表明,与双氧水对比,碘酸引入了Cu、Ag等金属杂质;经过2倍双氧水和2次水洗后Fe、Ca、Co、Mg等21种杂质均达到电子级高纯水平,且去除了77.9%的As杂质。该研究对电子级高纯黄磷的制备具有重要意义。

电子级超纯水制备的现存问题及解决思路

电子行业的蓬勃发展催生电子级超纯水市场的广阔空间,其纯度直接影响到电子元器件的产品质量及生产成品率,因此电子级超纯水制备是电子行业发展的重要一环。然而,我国在电子级超纯水制备领域面临三大关键难题:一是国内电子级超纯水市场自主调节能力不足;二是设备部件过度依赖进口;三是制水工艺仍有待优化,设备运营成本高。为此,提出三条对应解决思路:一是优化制水工艺流程,提高自主生产能力;二是加快核心设备研发,推动市场应用进程;三是提高智能化水平,精准控制电子级超纯水的品质。

煤焦油深加工技术分离提取高值化学品研究进展

基于煤焦油深加工生产高附加值化学品成为当前煤化工企业实现升级转型的重要路径之一,以煤焦油为原料制取α/β-甲基萘、喹啉、吲哚、苊、氧芴、芴等化学品并已将其广泛应用于光刻胶、封装材料、电子发光材料等领域,采用煤焦油深加工技术提取高值化学品目前成为先进能源与电子材料行业亟需开发的关键技术之一,有必要对目前我国煤焦油深加工技术研发与应用现状进行归纳总结,以期为煤焦油深加工技术的发展和相关技术落地提供支撑。综述煤焦油提取高附加值化学品的现状,梳理煤基高值化学品市场应用情况和相关研究进展,总结制取煤基高值化学品的关键技术路线,通过分析煤焦油深加工技术及市场现状提出煤焦油洗油馏分制取研究的重要性和必要性,并提炼煤焦油洗油馏分制取高值化学品的研究意义和发展前景。综述研究表明:煤焦油深加工提取高值化学品是目前煤焦油加工利用的重要途径,而目前我国煤焦油深加工技术积累薄弱,无核心专利产品,分离精制设备低端,难以生产高附加值化学品,主要以技术含量较低的中间体和单体粗品为主,产品作为高端产品的工业原料出口至国外厂商进行下游深加工;开发煤焦油洗油馏分制取电子级化学品并将其作为光刻胶、LED/OLED显示器发光材料、密封胶固化剂、柔性显示器基底材料等衍生物中间体的原料,可突破我国在煤基电子级化学品方面的核心难题;开展洗油馏分深加工制取高附加值化学品研究是提高煤焦油附加值的重要技术路线之一,可满足在煤焦油洗油馏分中提取的芴、β-甲基萘等产品的市场需求;以国内现有的洗油深加工技术为基础进行创新升级,开展洗油馏分制取高附加值化学品技术的研究开发,可得到低成本、低能耗、高附加值的煤基电子级化学品并实现产业化、规模化,具有广阔的发展前景。

G4电子级硫酸装置洁净仪表选型及应用

由于电子、光伏、航天、面板、锂电行业的飞速发展,电子化学品成为不可缺少的关键性基础化工材料。本文对G4电子级硫酸的应用、G4电子级硫酸制备技术、高纯电子化学品微量分析技术、G4电子级硫酸装置洁净仪表选型及应用、高纯净材料等进行综述,以期为相关领域的研究提供一定的借鉴。

高纯电子化学品技术研发现状及必须解决的基本问题

目前电子产业对高纯电子化学品的质量要求非常高,其生产技术由国外发达国家垄断,国内使用的高纯电子化学品几乎全部依赖进口。因此,必须依靠自己的科研力量进行技术开发。在技术研发过程中必须解决一些最基本问题,比如没有高投入高精密试验和分析设施,不可能开展高纯电子化学品的试验研究。

N-乙烯基咔唑的合成及表征

以咔唑和甲基丁炔醇为原料,反应生成N-乙烯基咔唑,反应液经过进一步处理得到纯品N-乙烯基咔唑。考察了反应用溶剂、反应温度及反应时间对N-乙烯基咔唑收率的影响。结果表明:合成产物的最佳溶剂是DMSO,最佳反应温度为140℃,最佳反应时间为12 h。产物经FTIR、^(1)HNMR、^(13)CNMR进行结构表征。N-乙烯基咔唑的液相色谱纯度>99.5%,气相色谱纯度>99.5%,熔点64℃,总产率85%,合成产物可作为电子级化学品使用。

微电子工业对超净高纯化学品的质量要求

我国为微电子工业配套使用的高规格超净高纯化学品一直依赖进口,此类化学品研发中的核心技术为德国、日本、美国等国家所垄断,其关键技术的国内外文献报道甚少。为便于国内相关研发单位开展研究工作,围绕微电子工业对超净高纯化学品的质量要求,搜集、整理并分析了近二十年来的相关文献,研究了不同规模集成电路对这类化学品纯度、洁净度的质量规格要求,建议:制定有全球竞争力的超净高纯化学品国家标准;建立相关产品生产管理制度和实施细则;建立能与国际资深实验室进行测试技能交流的有世界公信力的分析检测平台。

电子级磷酸工业化战略及其配套技术

为了适应半导体芯片、液晶制造业向中国转移,半导体芯片和集成电路微细加工、薄膜—液晶制造工艺需要的电子级磷酸包括MOS级、BV级万吨规模工业化装置正在各地建设。提出了发展我国电子级磷酸的工业化战略,并提出了与电子级磷酸制备工艺相关的配套技术开发意见和建议。

电子洁净室气态化学污染环境控制规范分析

针对气态化学污染控制,回顾了电子洁净室环境控制规范的发展历史和主要内容。从污染物分类、洁净等级划分等方面对比了不同国家及不同组织规范的异同,对现行规范进行了对比总结,分析了电子洁净室环境控制规范的特点、发展趋势及存在的不足。对比了电子洁净室环境控制规范与住宅空气质量规范及大气环境规范,总结了洁净室环境控制的特殊性,并对中国洁净室环境控制规范的修订提出了建议。

基于PolySim电子级多晶硅还原炉三维数值模拟

利用Poly Sim软件建立了国内电子级多晶硅9对棒现役还原炉的三维模型,对还原炉内部的流动、传热进行了数值模拟,得到还原炉内部流场、温场以及硅棒表面温度的分布情况,指出硅棒桥接附近气体流速较小、气体温度及硅棒表面温度过高是该区域沉积不均匀的主要原因。和实际生产结果对比表明,模拟计算数据的误差不超过5%。

精馏技术在电子化学品制备中的应用进展

综述了连续精馏、间歇精馏、亚沸精馏、加减压精馏、共沸精馏、萃取精馏、反应精馏、低温精馏等多种精馏技术在电子化学品制备中的应用现状,并对精馏技术在电子化学品制备过程的应用前景做出了展望。

超纯异丙醇的制备方法研究

进行了通过前处理后在精密分馏的制备C12标准的异丙醇的方法研究,得到了合格的产品,为工业化生产打下了基础。

离子色谱法同时测定高纯试剂中痕量甲胺、二甲胺、三甲胺和6种阳离子

建立离子色谱法同时测定高纯试剂和有机溶剂中甲胺、二甲胺、三甲胺和6种阳离子的方法。对样品处理、色谱柱类型、淋洗液梯度等条件进行优化,实现了过氧化氢、乙醇、丙酮和异丙醇样品的直接进样分析。选用Metrosep C Supp 1阳离子交换柱进行梯度分离,采用微填充床阳离子抑制电导检测器检测。9种待测物质的质量浓度在5~200μg/L范围内与色谱峰面积具有良好的线性关系,相关系数均大于0.999,方法检出限为0.007~0.082μg/L。样品加标回收率为80.0%~110.5%,测定结果的相对标准偏差为0.58%~3.86%(n=5)。该方法满足高纯试剂中痕量有机胺杂质和阳离子的测定要求。

电子级多晶硅化学清洗表面氢氧终端性能研究

电子级多晶硅后处理工序的核心工艺是硅料化学清洗,目的是去除电子级多晶硅表面金属杂质,其清洗效果主要通过表金属检测来判定。此外,电子级多晶硅清洗后的表面形态检测也是评估清洗效果的常用方法。本文主要从电子级多晶硅清洗后表面呈现的氢终端与氧终端进行研究,测试了两种终端对其表面形态的影响,结果表明:以氢终端为主的电子级多晶硅表面粗糙度较大,而氧终端为主的电子级多晶硅表面吸附有机碳含量低于氢终端。

电子级磷酸在电子工业中的应用及发展

本文介绍了电子级磷酸的性质、主要应用领域、主流的四种生产工艺路线、质量标准。阐述了电子级磷酸行业具有的特点:技术门槛高、产品更新换代快、功能性强、附加值高、市场占有率较高。介绍了电子级磷酸在电子工业中两种最主要的应用场景,对电子级磷酸的发展现状及趋势作了简要分析,着重对我国电子级磷酸的发展前景做了展望。