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Preparation and shaping of solid acid SO_4^(2-)/TiO_2 and its application for esterification of propylene glycol monomethyl ether and acetic acid 被引量:8
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作者 Zhixian Huang Yixiong Lin +2 位作者 Ling Li Changshen Ye Ting Qiu 《Chinese Journal of Chemical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第9期1207-1216,共10页
The solid acid SO_4^(2-)/TiO_2 was prepared by immersion method and applied for synthesis of propylene glycol methyl ether acetate(PMA) through esterification reaction of propylene glycol monomethyl ether(PM)and aceti... The solid acid SO_4^(2-)/TiO_2 was prepared by immersion method and applied for synthesis of propylene glycol methyl ether acetate(PMA) through esterification reaction of propylene glycol monomethyl ether(PM)and acetic acid(HAc). The optimal catalyst preparation condition was determined by orthogonal analysis of parameters in a five-factor and four-level test. The obtained solid acid catalysts were characterized in detail by means of X-ray powder diffraction, thermogravimetry, pyridine adsorbed IR analysis, scanning electron microscopy, and BET surface area method. Synthesis of PMA was studied in this paper through experimental investigation of reaction conditions such as temperature, molar ratio of reactants, catalyst dosage and agitation speed. Based on its possible reaction mechanism, a pseudo-homogeneous kinetic model was established and its activation energies E_a^+ and E_a^-,65.68 × 10~3J·mol^(-1) and 57.78 × 10~3J·mol^(-1), were estimated. To prepare shaped solid acid catalyst SO_4^(2-)/TiO_2, the shaping method of impregnation–shaping–impregnation was applied. The optimal molding formulation of solid acid catalyst, obtained from the orthogonal test, was found to be binder 7 wt%, reinforcing agent 20 wt%, pore forming material 2.5 wt%, and lubricant 4 wt%.The results of performance test of catalyst demonstrated that the shaped solid acid catalyst exhibited high activity and stability. 展开更多
关键词 propylene glycol methyl ether acetate Solid acid SHAPING Kinetic modeling
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丙二醇甲醚乙酸酯的合成研究 被引量:12
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作者 金照生 张卫东 +1 位作者 张磊 陈永福 《精细化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第7期376-378,共3页
采用固体酸催化剂合成丙二醇甲醚乙酸酯。测定了化学平衡常数Kp,在 36 3、373K反应温度下分别为 0 8749、0 9118。在n(HAc)∶n(丙二醇甲醚 ) =3∶1,液体空速 4~ 10h-1,反应温度36 3~ 383K工艺条件下 ,丙二醇甲醚转化率可以大于 70 ... 采用固体酸催化剂合成丙二醇甲醚乙酸酯。测定了化学平衡常数Kp,在 36 3、373K反应温度下分别为 0 8749、0 9118。在n(HAc)∶n(丙二醇甲醚 ) =3∶1,液体空速 4~ 10h-1,反应温度36 3~ 383K工艺条件下 ,丙二醇甲醚转化率可以大于 70 % ,丙二醇甲醚乙酸酯的选择性大于96 % ,6 2 0h寿命实验表明催化剂没有明显的失活现象。 展开更多
关键词 丙二醇甲醚乙酸酯 酯化 丙二醇甲醚 合成 固体酸催化剂
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碱性离子液体官能化SiO_2的制备及其催化性能 被引量:6
3
作者 张雪红 张云霄 +5 位作者 李平 韩卫荣 崔文广 杨晓辉 王力 武戈 《天然气化工—C1化学与化工》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期27-30,共4页
应用超声波技术在温和条件下制得了碱性离子液体官能化SiO2材料。对所制备的样品应用Hammett指示剂法、29SiNMR和低温N2吸脱附实验进行了表征,结果表明离子液体基团已经以共价键嫁接到了SiO2上;不同结构的嫁接型离子液体的碱强度不同;... 应用超声波技术在温和条件下制得了碱性离子液体官能化SiO2材料。对所制备的样品应用Hammett指示剂法、29SiNMR和低温N2吸脱附实验进行了表征,结果表明离子液体基团已经以共价键嫁接到了SiO2上;不同结构的嫁接型离子液体的碱强度不同;离子液体嫁接前后对载体的结构影响不大。在甲醇和环氧丙烷合成丙二醇醚的反应中对样品的催化性能做了测试,结果表明,样品在此反应中反应物转化率均大于91%,样品表现出很好的重复使用性能。 展开更多
关键词 碱性离子液体 嫁接SiO2 超声波技术 甲醇 环氧丙烷 丙二醇醚
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固体碱碱性质对丙二醇甲醚合成反应的影响 被引量:5
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作者 王浩水 刘维国 +1 位作者 张文郁 魏伟 《石油化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期561-565,共5页
以M gO、CaO及M g-A l复合氧化物为催化剂,考察了固体碱碱性质对环氧丙烷法合成丙二醇甲醚的影响。利用CO2程序升温脱附法对M gO、CaO及M g-A l复合氧化物的表面碱性质进行了表征,结果表明,M gO、CaO及M g-A l复合氧化物分别具有中强碱... 以M gO、CaO及M g-A l复合氧化物为催化剂,考察了固体碱碱性质对环氧丙烷法合成丙二醇甲醚的影响。利用CO2程序升温脱附法对M gO、CaO及M g-A l复合氧化物的表面碱性质进行了表征,结果表明,M gO、CaO及M g-A l复合氧化物分别具有中强碱位、强碱位和弱碱位;催化活性测试结果表明,具有中强碱位的M gO的催化活性较佳,环氧丙烷转化率达到71.07%;而具有强碱或弱碱位的CaO及M g-A l复合氧化物的催化效果不佳,环氧丙烷转化率分别为37.26%和35.08%。用L iOH或A l2O3改性M gO,调变M gO表面的中强碱位数量,得到M gO表面中强碱位的变化规律,将催化活性与中强碱位数量进行关联,二者表现出较好的线性关系,表明中强碱位为该反应的催化活性中心。 展开更多
关键词 丙二醇甲醚 环氧丙烷 固体碱 氧化镁 氧化钙 镁-铝复合氧化物 催化剂
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嫁接有机胺的SiO2的制备及其催化性能 被引量:4
5
作者 张雪红 高岩磊 +2 位作者 张云宵 陈丁龙 徐彬 《天然气化工—C1化学与化工》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期37-39,46,共4页
应用超声波技术在温和条件下制得了胺基功能化SiO2。系统地考察了有机硅烷的用量对胺丙基嫁接量的影响。对所制备的样品进行了元素分析、Hammett指示剂法和29Si NMR表征,结果表明有机胺基团已经嫁接到载体二氧化硅上。在甲醇和环氧丙烷... 应用超声波技术在温和条件下制得了胺基功能化SiO2。系统地考察了有机硅烷的用量对胺丙基嫁接量的影响。对所制备的样品进行了元素分析、Hammett指示剂法和29Si NMR表征,结果表明有机胺基团已经嫁接到载体二氧化硅上。在甲醇和环氧丙烷合成丙二醇醚的反应中对样品的催化性能做了测试,结果表明,样品在此反应中反应物转化率均大于85%,样品表现出很好的重复使用性能。 展开更多
关键词 二氧化硅 超声波技术 有机胺嫁接 甲醇 环氧丙烷 丙二醇醚
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高选择性合成1-甲氧基-2-丙醇固体催化剂的筛选和催化作用 被引量:4
6
作者 张文郁 赵宁 +1 位作者 魏伟 孙予罕 《精细化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期26-28,48,共4页
对碱土金属氧化物和两性氧化物等10种氧化物作为合成1 甲氧基 2 丙醇固体催化剂进行了催化性能筛选。发现在碱土金属氧化物MgO、CaO和BaO中,中强碱MgO具有较高的环氧丙烷(PO)转化率(71 07%)和1 甲氧基 2 丙醇(PPM)选择性(92 53%)。在两... 对碱土金属氧化物和两性氧化物等10种氧化物作为合成1 甲氧基 2 丙醇固体催化剂进行了催化性能筛选。发现在碱土金属氧化物MgO、CaO和BaO中,中强碱MgO具有较高的环氧丙烷(PO)转化率(71 07%)和1 甲氧基 2 丙醇(PPM)选择性(92 53%)。在两性氧化物中,ZnO具有较高的PO转化率(55 26%)和PPM选择性(92 37%)。系统考察了反应温度、催化剂用量、反应时间和原料摩尔配比对MgO、ZnO的催化作用特点的影响,发现MgO在催化性能和1 甲氧基 2 丙醇选择性方面表现出的综合性能优于其他催化剂。 展开更多
关键词 碱性氧化物 两性氧化物 环氧丙烷 甲醇 丙二醇甲醚 1-甲氧基-2-丙醇
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Ag/ZrO_2催化剂上的1,2-丙二醇选择性气相氧化反应 被引量:4
7
作者 沈江 杜俊明 +4 位作者 黄静静 杨新艳 沈伟 徐华龙 范康年 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第5期403-408,共6页
采用浸渍法制备了一系列Ag/ZrO2催化剂,考察了Ag/ZrO2催化剂对1,2-丙二醇选择性氧化合成丙酮醛反应的催化性能.实验结果表明:在原料气配比为V(N2)∶V(O2)=300∶19,n(O2)/n(alcohol)=1.2,反应物液时空速为3.2g/(g·h),反应温度为673K... 采用浸渍法制备了一系列Ag/ZrO2催化剂,考察了Ag/ZrO2催化剂对1,2-丙二醇选择性氧化合成丙酮醛反应的催化性能.实验结果表明:在原料气配比为V(N2)∶V(O2)=300∶19,n(O2)/n(alcohol)=1.2,反应物液时空速为3.2g/(g·h),反应温度为673K时,1,2-丙二醇选择性氧化合成丙酮醛反应的转化率为95.7%,选择性为55.3%,高于传统电解银催化剂.UV-Vis DRS和XPS的研究结果表明:在Ag/ZrO2催化剂上存在大量的Ag+和Agδn+有利于促进催化活性的提高. 展开更多
关键词 1 2.丙二醇 丙酮醛 α-羟基丙酮 氧化锆 电子态 紫外可见漫反射
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负载型固体碱催化合成丙二醇甲醚 被引量:4
8
作者 苏秋芳 陈小平 +1 位作者 刘宝生 李春海 《化学试剂》 CAS CSCD 北大核心 2006年第9期557-558,共2页
将KF、KNO3、K2CO3负载在-γAl2O3、MgO、ZrO2、ZnO及镁铝复合氧化物(LDO)上制备的负载型固体碱作为催化剂,应用于甲醇与环氧丙烷合成丙二醇甲醚的实验表明,所制备的固体碱催化活性高,选择性好。
关键词 固体碱 丙二醇甲醚 环氧丙烷 甲醇
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嫁接型咪唑类碱性离子液体催化合成丙二醇醚 被引量:2
9
作者 张雪红 张云霄 +4 位作者 刘树彬 郧海丽 杨晓辉 胡瑞省 陈汝芬 《河北师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2013年第4期382-386,共5页
应用超声波技术在温和条件下制得了嫁接型咪唑类碱性离子液体.应用Hammett指示剂、29 SiNMR和元素分析方法对所制备的样品进行了表征.结果表明,离子液体基团以共价键嫁接到载体二氧化硅上,阴离子不同嫁接型离子液体的碱强度不同.在甲醇... 应用超声波技术在温和条件下制得了嫁接型咪唑类碱性离子液体.应用Hammett指示剂、29 SiNMR和元素分析方法对所制备的样品进行了表征.结果表明,离子液体基团以共价键嫁接到载体二氧化硅上,阴离子不同嫁接型离子液体的碱强度不同.在甲醇和环氧丙烷合成丙二醇醚的反应中对样品的催化性能做了测试.结果表明,样品在此反应中反应物转化率均大于88%,样品表现出较好的重复使用性能. 展开更多
关键词 碱性离子液体 嫁接 超声波技术 甲醇 环氧丙烷 丙二醇醚
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固体超强酸催化反应合成丙二醇甲醚乙酸酯 被引量:5
10
作者 顾静芳 施云海 《华东理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期417-420,共4页
开发了以固体超强酸硫酸钛为催化剂精馏反应合成丙二醇甲醚乙酸酯的新工艺,考察了原料醇与酸的摩尔比、催化剂用量、带水剂用量、反应时间等因素对反应转化率的影响,得到了原料醇完全转化的适宜反应条件原料乙酸与醇的摩尔比1.60,带水... 开发了以固体超强酸硫酸钛为催化剂精馏反应合成丙二醇甲醚乙酸酯的新工艺,考察了原料醇与酸的摩尔比、催化剂用量、带水剂用量、反应时间等因素对反应转化率的影响,得到了原料醇完全转化的适宜反应条件原料乙酸与醇的摩尔比1.60,带水剂环己烷与醇的摩尔比5.16,催化剂用量为反应物总质量的3.5%,反应时间3.5h。 展开更多
关键词 丙二醇甲醚 丙二醇甲醚乙酸酯 酯化反应 固体超强酸 合成
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疏水改性硅溶胶的制备及应用 被引量:3
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作者 刘见祥 曾舒 +2 位作者 王聚恒 黄晓枭 曾化雨 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期291-294,共4页
在60°C水浴下用甲基三甲氧基硅烷及甲基乙氧基硅油改性甲醇硅溶胶,然后用丙二醇甲醚醋酸酯置换甲醇得到疏水改性硅溶胶。评价了其在环己烷、甲苯、乙酸乙酯这3种不同极性的有机溶剂中的相容性。研究了加入疏水改性硅溶胶对丙烯酸... 在60°C水浴下用甲基三甲氧基硅烷及甲基乙氧基硅油改性甲醇硅溶胶,然后用丙二醇甲醚醋酸酯置换甲醇得到疏水改性硅溶胶。评价了其在环己烷、甲苯、乙酸乙酯这3种不同极性的有机溶剂中的相容性。研究了加入疏水改性硅溶胶对丙烯酸涂层力学性能的影响。结果表明,当甲基乙氧基硅油用量为2%,甲基三甲氧基硅烷用量为15%时,改性硅溶胶的疏水性最好。改性硅溶胶加入量为10%时所得丙烯酸涂层的力学性能最好,附着力达到3.96 MPa,铅笔硬度为3H。 展开更多
关键词 硅溶胶 改性 甲基三甲氧基硅烷 甲基乙氧基硅油 丙二醇甲醚醋酸酯 疏水性 丙烯酸涂料 力学
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合成丙二醇甲醚丙酸酯用固体超强酸催化剂的研究 被引量:1
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作者 朱新宝 朱凯 +1 位作者 郭登峰 陈桂桂 《化学反应工程与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期422-426,共5页
研究了合成丙二醇甲醚丙酸酯(PMP)用固体超强酸催化剂SO4 2-/TiO2的制备工艺,得到了催化剂制备的适宜工艺。并对制得催化剂进行了催化性能测试,结果表明PMP醇化产率可达75%。催化剂经X荧光光谱分析和X射线衍射物相分析表明,其主要结... 研究了合成丙二醇甲醚丙酸酯(PMP)用固体超强酸催化剂SO4 2-/TiO2的制备工艺,得到了催化剂制备的适宜工艺。并对制得催化剂进行了催化性能测试,结果表明PMP醇化产率可达75%。催化剂经X荧光光谱分析和X射线衍射物相分析表明,其主要结构单元为SO3和TiO2,催化剂晶相为锐钛型。制备所得催化剂贮存1个月后发现其催化活性下降约10%。 展开更多
关键词 丙二醇甲醚 丙酸 丙二醇甲醚丙酸醋 固体超强酸 催化剂
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聚丙烯新型外给电子体聚合评价的研究 被引量:2
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作者 马晶 高明智 +1 位作者 孙竹芳 谢伦嘉 《石油化工》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期14-18,共5页
采用液相本体聚合法,以硅醚9-(甲氧甲基)-9-[(三甲基硅基)氧基甲基]芴(DTSF)、甲基环己基二甲氧基硅烷(CHMMS)、二环戊基二甲氧基硅烷(DCPDMS)为外给电子体,以DTSF/CHMMS和DTSF/DCPDMS为复配外给电子体,考察了聚丙烯NG催化剂的丙烯聚合... 采用液相本体聚合法,以硅醚9-(甲氧甲基)-9-[(三甲基硅基)氧基甲基]芴(DTSF)、甲基环己基二甲氧基硅烷(CHMMS)、二环戊基二甲氧基硅烷(DCPDMS)为外给电子体,以DTSF/CHMMS和DTSF/DCPDMS为复配外给电子体,考察了聚丙烯NG催化剂的丙烯聚合性能。实验结果表明,DTSF外给电子体的氢调敏感性较好,但聚合活性和聚丙烯等规度与CHMMS和DCPDMS外给电子相比偏低;DTSF/CHMMS复配外给电子体可明显提高NG催化剂的氢调敏感性、聚丙烯等规度及聚合活性,较适宜的配比为n(CHMMS)∶n(DTSF)=1∶1;将DTSF与DCPDMS外给电子体进行复配无实际意义。 展开更多
关键词 聚丙烯NG催化剂 硅醚9-(甲氧甲基)-9-(三甲基硅基)氧基甲基]芴 甲基环己基二甲氧基硅烷 二环戊基二甲氧基硅烷 外给电子体 聚丙烯
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超强酸对甲苯磺酸催化合成丙二醇甲醚乙酸酯的研究 被引量:3
14
作者 顾静芳 施云海 范林林 《上海应用技术学院学报(自然科学版)》 2006年第4期240-244,共5页
开发了以超强酸对甲苯磺酸为催化剂合成丙二醇甲醚乙酸酯的新工艺,考察了原料醇酸的摩尔比、催化剂用量、带水剂用量、反应时间等因素对转化率的影响,得到原料醇完全转化的适宜反应条件:原料乙酸与醇的摩尔比2.0,带水剂用量8%,催化剂用... 开发了以超强酸对甲苯磺酸为催化剂合成丙二醇甲醚乙酸酯的新工艺,考察了原料醇酸的摩尔比、催化剂用量、带水剂用量、反应时间等因素对转化率的影响,得到原料醇完全转化的适宜反应条件:原料乙酸与醇的摩尔比2.0,带水剂用量8%,催化剂用量5%,反应时间6h。实验得到反应表观动力学的活化能为E=0.1040×106J.mol-1,指前因子为k0=0.789 0×104L.mol-1.h-1,反应服从二级动力学模型。 展开更多
关键词 丙二醇甲醚 丙二醇甲醚乙酸酯 酯化反应 固体超强酸 合成
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丙二醇甲醚醋酸酯的合成研究 被引量:5
15
作者 王恩锋 谭文群 龙在安 《精细化工中间体》 CAS 2003年第4期16-17,45,共3页
采用浓硫酸作催化剂,用丙二醇甲醚和冰醋酸酯化合成丙二醇甲醚醋酸酯,考察了醚和酸的比例、催化剂用量、带水剂用量与种类、反应时间和反应温度等因素对反应的影响。优惠反应条件为:冰醋酸∶丙二醇甲醚=1.3∶1(mol/mol),催化剂用量为反... 采用浓硫酸作催化剂,用丙二醇甲醚和冰醋酸酯化合成丙二醇甲醚醋酸酯,考察了醚和酸的比例、催化剂用量、带水剂用量与种类、反应时间和反应温度等因素对反应的影响。优惠反应条件为:冰醋酸∶丙二醇甲醚=1.3∶1(mol/mol),催化剂用量为反应液质量的1 0%,带水剂A用量为反应液质量的25%,反应温度104~110℃,反应时间3h。丙二醇甲醚醋酸酯的收率达96 5%。 展开更多
关键词 丙二醇甲醚醋酸酯 丙二醇甲醚 酯化反应 合成
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反应精馏合成丙二醇甲醚乙酸酯的研究与模拟优化 被引量:2
16
作者 蔡鑫磊 黄益平 +6 位作者 孙玉玉 岳昌海 黄晶晶 吴丹 夏苗 朱小磊 冯晖 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2022年第7期224-227,共4页
研究了丙二醇甲醚(PM)与乙酸(HAC)酯化合成丙二醇甲醚乙酸酯(PMA)的萃取反应精馏工艺。通过间歇反应筛选出合适的催化剂,通过连续反应精馏确定了合适的带水剂及催化剂装填量;模拟优化得到较优的工艺条件,在该条件下PM转化率为93.12%,PM... 研究了丙二醇甲醚(PM)与乙酸(HAC)酯化合成丙二醇甲醚乙酸酯(PMA)的萃取反应精馏工艺。通过间歇反应筛选出合适的催化剂,通过连续反应精馏确定了合适的带水剂及催化剂装填量;模拟优化得到较优的工艺条件,在该条件下PM转化率为93.12%,PMA选择性为98.46%。实验证明模拟结果可靠。 展开更多
关键词 反应精馏 丙二醇甲醚醋酸酯 酯化 模拟优化
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丙二醇单甲醚丙酸酯合成体系的气相色谱分析
17
作者 杨桂玲 戴斌 秦金平 《化学工业与工程技术》 CAS 2007年第2期57-59,共3页
自行研制了氰乙基(25%,质量分数)甲基硅橡胶(XE-60)石英毛细管色谱柱。建立了对含游离酸的丙二醇单甲醚丙酸酯的色谱分析方法。该法具有分离效果好,分析速度快的优点。
关键词 丙二醇单甲醚丙酸酯 氰乙基甲基硅橡胶 丙酸 毛细管气相色谱法
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不同金属氧化物在SBA-15表面分散度对其性能的影响 被引量:2
18
作者 刘宁 刘水林 +4 位作者 李爱阳 周唤宇 罗建新 伍素云 王庆 《化学工程》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期12-17,共6页
通过湿浸渍法,制备了一系列介孔KF/M-SBA-15(M=Mg, Al, Zn, Zr, La, Ce)固体碱催化剂。采用XRD,TG,N_2吸附-脱附和TEM等手段对催化剂结构与性能进行了表征。结果表明:所制备的KF/M-SBA-15的介孔有序性与所引入的金属氧化物在其表面的分... 通过湿浸渍法,制备了一系列介孔KF/M-SBA-15(M=Mg, Al, Zn, Zr, La, Ce)固体碱催化剂。采用XRD,TG,N_2吸附-脱附和TEM等手段对催化剂结构与性能进行了表征。结果表明:所制备的KF/M-SBA-15的介孔有序性与所引入的金属氧化物在其表面的分散程度有关。MO_x(M=Mg, Al, Zn或La)在SBA-15表面分散度较高,能够形成"致密"的保护层,且所合成的KF/M-SBA-15具有有序介孔结构和强碱性能。在催化环氧丙烷与甲醇的开环反应中,KF/M-SBA-15显示了优异的催化活性:丙二醇甲醚的收率与1-甲氧基-2-丙醇的选择性均达到了90%以上。 展开更多
关键词 介孔固体碱 SBA-15 分散度 介孔有序性 丙二醇甲醚
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二丙二醇甲丙醚的合成工艺优化
19
作者 崔秀云 邵千飞 汪德林 《哈尔滨师范大学自然科学学报》 CAS 2020年第5期46-52,共7页
以二丙二醇丙醚、氯甲烷和碱为基本原料,四丁基溴化铵为催化剂,讨论了碱的加入量、催化剂的用量、反应温度和反应时间等因素对产品收率的影响,并采用三因素五水平的响应面分析法对工艺条件进行了优化.通过实验确定了最佳反应条件:四丁... 以二丙二醇丙醚、氯甲烷和碱为基本原料,四丁基溴化铵为催化剂,讨论了碱的加入量、催化剂的用量、反应温度和反应时间等因素对产品收率的影响,并采用三因素五水平的响应面分析法对工艺条件进行了优化.通过实验确定了最佳反应条件:四丁基溴化铵为二丙二醇丙醚质量的5%,n(NaOH)∶n(二丙二醇丙醚)=2.6∶1,反应温度是103℃,反应时间7.3 h,二丙二醇甲丙醚的收率达到98.45%,且原料利用率最高,该工艺具有毒性小、副产物少、反应时间短、反应条件不苛刻、收率高的优点. 展开更多
关键词 二丙二醇丙醚 二丙二醇甲丙醚 响应面 优化
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半导体级丙二醇甲醚醋酸酯的制备与检测
20
作者 刘耀鹏 《微纳电子与智能制造》 2022年第1期120-124,共5页
随着芯片技术的快速发展,对光刻胶性能的要求越来越高。正性光刻胶因为具有分辨率等方面的优势,得到越来越多的重视。丙二醇甲醚醋酸酯作为正性光刻胶的溶剂之一,对正性光刻胶的性能有重要影响。研究和开发高性能丙二醇甲醚醋酸酯成为... 随着芯片技术的快速发展,对光刻胶性能的要求越来越高。正性光刻胶因为具有分辨率等方面的优势,得到越来越多的重视。丙二醇甲醚醋酸酯作为正性光刻胶的溶剂之一,对正性光刻胶的性能有重要影响。研究和开发高性能丙二醇甲醚醋酸酯成为产业界的重要课题之一。本文介绍了工业级丙二醇甲醚醋酸酯的合成、半导体级丙二醇甲醚醋酸酯的提纯以及提纯后产品的检测。提纯主要采用精馏,纳滤,离子交换等方法。最终得到的产品经检测后产品的性能优于SEMI G4标准。 展开更多
关键词 丙二醇甲醚醋酸酯 精馏 纳滤 离子交换
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