对于e型电子枪扫描极值位置的设定研究

通过对e型电子枪扫描极值位置的设定,来调整e型电子枪的光斑的均匀性及聚焦性,以便获得良好的靶材的蒸镀情况和膜层的形成及膜层的表面情况。