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金属镍微型静电马达的初步研制 被引量：2
1
作者 王添平 王效东 +2 位作者 解健芳 谭淞生 王渭源 《传感技术学报》 CAS CSCD 1995年第2期69-73,共5页
设计了一种材料为金属镍的摆动式(WObble)微型静电马达,马达转子直径140μm,厚度8μm,外观总体尺寸1 mm×1 mm.此马达首先是在硅衬底上利用准LIGA技术电镀形成,然后利用RIE释放.文中给出了微型摆动式静电马达的设计思想和制作工艺,... 设计了一种材料为金属镍的摆动式(WObble)微型静电马达,马达转子直径140μm,厚度8μm,外观总体尺寸1 mm×1 mm.此马达首先是在硅衬底上利用准LIGA技术电镀形成,然后利用RIE释放.文中给出了微型摆动式静电马达的设计思想和制作工艺,并对工艺及马达驱动中出现的一些问题进行讨论. 展开更多
关键词 静电马达 反应离子刻蚀 镍 微型 马达
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