有效减小大细长比微结构电铸层残余应力的兆声辅助微电铸方法

在利用微电铸工艺制作微机电系统(MEMS)开关的过程中,针对离心保险锁结构因电铸层残余应力大而出现翘曲、扭转等变形问题,采用兆声辅助微电铸方法减小电铸层残余应力。为探究兆声波对电铸层残余应力的影响,基于等效参考温度(ERT)法,建立兆声作用下离心保险锁微结构电铸层残余应力的仿真模型以优选兆声辅助微电铸的工艺参数——兆声功率密度。仿真结果表明,随着兆声功率密度的增大,离心保险锁的残余应力呈现先减小后增大的趋势,当兆声功率密度为2.54 W/cm^(2)时,离心保险锁的最大残余应力为52.58 MPa,相较于无兆声作用时减小了85.4%。在数值模拟的基础上进行微电铸实验验证研究。实验结果表明:兆声功率密度为2.54 W/cm^(2)时,大细长比微结构的变形量减小了88.6%,实验结果与仿真结果一致。在上述仿真结果和实验研究的基础上,制作出了高800μm、细长比高达1∶70的离心保险锁结构,并完成MEMS开关的制作与装配。

居住建筑基准室温散热器热分配法的计量原理与实测分析

该方法将热量计量与消除建筑物固有特性相结合,消除了同一栋建筑物内用户散热器型号不同、安装使用条件不同、散热器数量与设计值存在较大差别、水力失调及热力失调对计量结果的影响。详细介绍了热量分摊模型。为验证模型的合理性,以哈尔滨市某居民楼为例,对基准室温散热器热分配法、户用热量表法和温度面积法的测算结果进行了比较。结果显示,热量表法计量的每户热量值波动较大,而其他两种方法的每户热费一致性较好,最大差值为4.13%。