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铁电微电容的制作工艺
1
作者
曹广军
吴正元
+3 位作者
于军
周文丽
陈萍丽
谢基凡
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1995年第1期33-35,共3页
研究了铁电电容的制作工艺,摸索了P(L)铁电薄膜及上、下电极材料的微细图形加工工艺条件,总结出切实可行的工艺流程及相应的工艺条件。
关键词
铁电薄膜
铁电电容
铁电材料
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职称材料
题名
铁电微电容的制作工艺
1
作者
曹广军
吴正元
于军
周文丽
陈萍丽
谢基凡
机构
华中理工大学固体电子学系
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1995年第1期33-35,共3页
基金
"八六.三"攻关项目
文摘
研究了铁电电容的制作工艺,摸索了P(L)铁电薄膜及上、下电极材料的微细图形加工工艺条件,总结出切实可行的工艺流程及相应的工艺条件。
关键词
铁电薄膜
铁电电容
铁电材料
Keywords
erroelectric film
,
ferroelectric capacitor
,
microprocess
分类号
TN384.05 [电子电信—物理电子学]
TN534.105 [电子电信]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
铁电微电容的制作工艺
曹广军
吴正元
于军
周文丽
陈萍丽
谢基凡
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1995
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职称材料
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