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题名4000TPI光刻伺服盘伺服录写设备的研究
被引量:1
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作者
胡学骏
张江陵
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机构
华中理工大学计算机科学与工程系
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出处
《华中理工大学学报》
CSCD
北大核心
1994年第6期88-91,共4页
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基金
国家自然科学基金
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文摘
分析了光刻伺服盘的光刻图形、伺服码型及伺服录写特征,并设计了4000TPI光刻面伺服系统的伺服录写设备.分析研究表明,光刻伺服系统能提高磁盘道密度。
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关键词
光刻伺服盘
伺服录写
录写设备
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Keywords
etched servo disk
servo code
etched pattern
servo writing
writer device
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分类号
TP333.4
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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题名用于光刻伺服盘电路调试的信号仿真器的设计
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作者
胡学骏
张江陵
万志坤
肖正文
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机构
华中理工大学计算机系
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出处
《数据采集与处理》
CSCD
1995年第2期136-140,共5页
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基金
国家自然科学重点基金
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文摘
为满足光刻伺服磁盘驱动器电路调试的需要,本文设计了一种信号仿真器,由任意波形发生器和磁盘信号源库在相关软件的辅助下来仿真较为复杂的各类磁盘驱动器信号。同传统的函数发生器或用硬件来实现的信号仿真手段相比,其更具有适应性和灵活性。文中详细分析了仿真器的硬件结构和软件构造,并介绍了它在光刻伺服磁盘驱动器电路调试中的实际应用。
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关键词
仿真器
磁盘驱动器
光刻伺服盘
信号仿真器
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Keywords
simulator
waveform generator
disk driver
etch servo disk
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分类号
TP337
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
TP333.35
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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题名光刻伺服盘磁头读出信噪比分析
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作者
罗敢
张彪
华诚
张江陵
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机构
华中理工大学
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出处
《微电子学与计算机》
CSCD
北大核心
1996年第4期21-23,共3页
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基金
国家自然科学基金
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文摘
本文叙述了光刻伺服盘采用分离磁道刻写方法对信噪比的影响,该方法在磁盘记录区采用导磁材料,非记录区采用非导磁材料。这样一种非连续的记录磁介质,有利于道密度的提高,增大了磁盘信息存储容量,减少了道间串扰,提高了磁头读出的信噪比[以S/N表示]。
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关键词
光刻伺服盘
磁头
信噪比
磁盘
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Keywords
/N
Track interference
etched servo disk
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分类号
TP333.35
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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题名4000TPI光刻面伺服系统的高速寻道机理
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作者
胡学骏
张江陵
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机构
佛山大学电子系
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出处
《微电子学与计算机》
CSCD
北大核心
1996年第2期31-34,共4页
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基金
国家自然科学重点基金
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文摘
光刻伺服盘是一种新的磁头伺服定位技术[1],通过对4000TPI光刻面伺服系统的光刻伺服图形结构的分析,本文提出了一种简单可靠的磁头过道脉冲检测方式,可显著提高磁头寻道速度,保证磁头在高道密度下高速寻道。
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关键词
磁盘
光刻伺服系统
磁头寻道
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Keywords
etched servo disk,servo positioning,High speed seek track
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分类号
TP333.35
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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题名利用高频溅射刻蚀光刻伺服盘工艺参数的确定
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作者
胡学骏
赵永龙
张江陵
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机构
华中理工大学计算机系
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出处
《微细加工技术》
1993年第3期52-57,共6页
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基金
国家自然科学重点基金
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文摘
光刻伺服盘是一种新的磁头伺服定位技术。本文分析了利用高频溅射法刻蚀光刻伺服盘的刻蚀机理,并对主要的刻蚀参数如溅射电压、气体压力等对刻蚀精度的影响作了比较详细的讨论。
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关键词
光刻伺服盘
高频溅射
刻蚀
工艺参数
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Keywords
lithography servo disk
HF sputtering
plasma etching
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名光刻伺服磁盘两级定位系统位置传感器设计
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作者
袁智敏
张江陵
李从信
陈莉
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机构
华中理工大学
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出处
《大庆石油学院学报》
EI
CAS
北大核心
1995年第2期67-70,共4页
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基金
国家自然科学基金重点资助
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文摘
从理论上对圆光栅的特性进行了分析及精确计算,设计出了光刻伺服磁盘两级定位系统位置传感器的执行机构及检测电路。该传感器既可以应用于实际的磁盘定位系统,也可以做进一步的改进,成为磁盘定位系统的专用性能测试装置。
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关键词
光刻伺服
定位系统
位置传感器
传感器
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Keywords
circular grating,moire fringe, etched-servo disk,position fixing sys-tem,position sensor
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分类号
TP212.03
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名光刻伺服盘检测
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作者
罗敢
朱永红
张江陵
赫连娜
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机构
华中理工大学
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出处
《武汉工业大学学报》
CSCD
1996年第1期77-79,共3页
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基金
国家自然科学基金重点项目资助
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文摘
光刻伺服盘系统作为新一代的磁盘伺服定位技术研究成功,通过检测实验,其质量已达到设计要求.
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关键词
光刻伺服盘
伺服定位
质量检测
磁盘
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Keywords
etched servo disk
servo posistion
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分类号
TQ587.2
[化学工程—精细化工]
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题名光刻伺服盘媒体微细加工技术
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作者
罗敢
郑朝晖
张江陵
赫连娜
胡学骏
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机构
华中理工大学
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出处
《武汉工业大学学报》
CSCD
1996年第3期76-78,共3页
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基金
国家自然科学基金重点项目
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文摘
阐述了光刻伺服盘媒体微细加工实验过程,分析了刻蚀工艺中影响磁盘光刻图形的不利因素,实践证明利用半导体微细加工技术光刻伺服盘,能大幅度提高磁道密度,增加磁盘驱动器的容量。
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关键词
光刻伺服盘
刻蚀
微细加工
磁盘存储器
媒体
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Keywords
etched servo
disk etching technique
track density
microfabrication
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分类号
TQ587.2
[化学工程—精细化工]
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