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Contribution of surface plasmon polaritons to extraordinary optical transmission through metallic nanoslit 被引量:1
1
作者 LIU Juan WANG Yong-tian XU Li-wei XIE Jing-hui 《中国光学与应用光学》 2010年第1期33-37,共5页
A single metallic nanoslit is employed for investigating the contribution of Surface Plasmon Polaritons(SPPs) to Extraordinary Optical Transmission(EOT) based on rigorous electromagnetic theory and the Spectrum Analys... A single metallic nanoslit is employed for investigating the contribution of Surface Plasmon Polaritons(SPPs) to Extraordinary Optical Transmission(EOT) based on rigorous electromagnetic theory and the Spectrum Analysis Method(SAM). Numerical results shows that the SPP is the main factor responsible for the EOT, and a phase singularity is observed. 展开更多
关键词 等离子 电磁理论 氧化层 频谱分析法
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Enhanced optical transmission by V-shaped nanoslit in metal film
2
作者 贺梦冬 马旺国 王新军 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第11期287-292,共6页
In this paper, we reveal that the enhanced transmission through a perforated metal film can be further boosted up by a V-shaped nanoslit, which consists of two connected oblique slits. The maximum transmission at reso... In this paper, we reveal that the enhanced transmission through a perforated metal film can be further boosted up by a V-shaped nanoslit, which consists of two connected oblique slits. The maximum transmission at resonance can be enhanced significantly by 71.5% in comparison with the corresponding vertical slit with the same exit width. The value and position of transmission resonance peak strongly depend on the apex angle of the V-shaped slit. The optimum apex angle, at which the transmission is maximal, is sensitive to the slit width. Such phenomena can be well explained by a concrete picture in which the incident wave drives free electrons on the slit walls. Moreover, we also simply analyze the splitting of the transmission peak in the symmetry broken V-shaped slit, originating from the resonances of different parts of the V-shaped slit. We expect that our findings will be used to design the nanoscale light sources based on the metal nanoslit structures. 展开更多
关键词 V-shaped nanoslit in metal film enhanced optical transmission surface plasmon polaritons
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金属光栅覆盖分布式布拉格反射镜结构的透射增强效应
3
作者 关建飞 俞潇 +2 位作者 丁冠天 陈陶 陆云清 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期288-296,共9页
为了采用易于直接激发的塔姆等离激元(Tamm plasmon polaritons,TPPs)实现透射增强现象,本文提出了一种由一维金属光栅覆盖分布式布拉格反射镜(distributed Bragg reflector,DBR)构成的层状结构.采用有限元法分析了入射光波在DBR-金属... 为了采用易于直接激发的塔姆等离激元(Tamm plasmon polaritons,TPPs)实现透射增强现象,本文提出了一种由一维金属光栅覆盖分布式布拉格反射镜(distributed Bragg reflector,DBR)构成的层状结构.采用有限元法分析了入射光波在DBR-金属交界面上激发TPPs并产生能量高度局域的物理过程.研究表明入射TM光波在金属-DBR交界面上激发的TPPs可以有效地激发金属狭缝内的SPPs模式,当SPPs模式在狭缝内满足类FP谐振的条件就可以使入射光波在该结构中的产生透射增强.在此基础上,分析了狭缝宽度及其占空比对透射谱峰的定量影响.结果显示:周期确定时随着狭缝宽度的增大,峰值透射率则呈现先增大后减小的变化趋势;宽度确定时随着占空比的增大,峰值透射率会呈现单调降低的变化趋势,而透射峰中心波长呈现近似线性蓝移趋势,这为灵活调节异常透射的中心波长提供了一种有效手段. 展开更多
关键词 光学异常透射 金属光栅 塔姆等离激元 类法布里-珀罗共振
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金纳米圆孔阵列异常光学透射模拟研究
4
作者 陈琳 韩雪 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期221-227,共7页
利用COMSOL Multiphysics对金纳米圆孔阵列的物理场进行模拟,分析不同金属膜厚度、孔径、周期下阵列的光谱和电场分布,探究异常光学透射(extraordinary optical transmission,EOT)的成因.通过分析发现透射峰主要有3个成因:一是材料本身... 利用COMSOL Multiphysics对金纳米圆孔阵列的物理场进行模拟,分析不同金属膜厚度、孔径、周期下阵列的光谱和电场分布,探究异常光学透射(extraordinary optical transmission,EOT)的成因.通过分析发现透射峰主要有3个成因:一是材料本身的带间跃迁特性会导致透射峰;二是金属阵列产生的表面波会激发金属膜背侧的局域表面等离激元,通过散射形成透射峰;三是耦合的表面等离激元转化成波导模式,沿着圆孔传输造成透射峰,该透射峰的频率低于表面等离激元的频率. 展开更多
关键词 异常光学透射(EOT) 表面波 局域表面等离激元 波导
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二维金属亚波长孔阵列的强透射特性研究进展 被引量:5
5
作者 肖功利 姚翔 +3 位作者 纪新明 周嘉 包宗明 黄宜平 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期161-167,共7页
光通过二维金属亚波长孔(孔的直径不超过入射光波长的一半)阵列(TDMSHA)时,由于入射光与金属表面自由电子的电荷密度波发生共振耦合作用,会在特定的波长内表现出窄带透射增强。TDMSHA对光具有的透射增强与滤波特性在纳米光学、光电子、... 光通过二维金属亚波长孔(孔的直径不超过入射光波长的一半)阵列(TDMSHA)时,由于入射光与金属表面自由电子的电荷密度波发生共振耦合作用,会在特定的波长内表现出窄带透射增强。TDMSHA对光具有的透射增强与滤波特性在纳米光学、光电子、化学传感和生物物理上都有着十分重要的潜在应用。文中回顾了该特性的研究历史,详细地阐述了其发生的物理机理,对近十年来该特性在机理、材料、结构等方面的研究进展作了总结,对其前沿研究热点和应用前景分别进行了分析与展望。 展开更多
关键词 表面光学 强透射 滤波 金属亚波长孔阵列 表面等离子体
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基于TPPs-SPPs混合模式的激发以增强单纳米缝异常透射 被引量:4
6
作者 陆云清 成心怡 +2 位作者 许敏 许吉 王瑾 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第20期113-122,共10页
单纳米金属缝结构,由于其结构紧凑、易于集成、耦合效率高,常常在基于表面等离子体激元(surface plasmon polaritons,SPPs)的纳米结构器件中用于构建光源.但是,单纳米缝的低透射率一直是该结构向实际应用转化中的问题;实际上,如何有效... 单纳米金属缝结构,由于其结构紧凑、易于集成、耦合效率高,常常在基于表面等离子体激元(surface plasmon polaritons,SPPs)的纳米结构器件中用于构建光源.但是,单纳米缝的低透射率一直是该结构向实际应用转化中的问题;实际上,如何有效地增强其透射率一直是研究的重点.本文提出了一种有效增强单纳米缝异常透射的方法和结构,该结构由分布式布拉格反射镜(distributed bragg reflector,DBR)和金属银薄膜纳米缝构成.当TM偏振光由DBR侧入射至DBR-银纳米缝结构时,DBR-银膜界面上的塔姆激元(Tamm plasmon polaritons,TPPs)和纳米缝中的SPPs能够同时被有效激发,并相互耦合形成TPPs-SPPs混合模式,当TPPs与SPPs满足波矢匹配条件时,利用TPPs的局域场增强效应可显著提高SPPs的激发效率,结合纳米缝中的类法布里-珀罗腔共振效应,最终可实现对单纳米缝异常透射率的有效增强.本文利用传输矩阵法和有限元算法分析了DBR-银纳米缝结构上单纳米缝的透射特性.经过参数优化,在银膜厚度为100 nm、纳米缝宽为11 nm时,DBR-银纳米缝结构的最大透射率为0.166,相对于TiO_2银纳米缝结构(无DBR)的透射率(0.01),提高了16倍.该研究从基本物理机理出发,实现了对单纳米缝异常透射的增强,研究结果在纳米光子学、近场光学成像与探测、极化激元激光器等相关领域具有潜在的应用价值. 展开更多
关键词 异常透射 塔姆激元 表面等离子体激元 类法布里-珀罗腔共振
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纳米狭缝耦合金属圆-矩形复合孔阵列结构增强光透射 被引量:1
7
作者 岳宏卫 邓进丽 +5 位作者 朱智勇 杨宏艳 王宏庆 郑龙 刘新英 肖功利 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2016年第8期7-12,共6页
采用时域有限差分方法研究了纳米狭缝的宽度,圆孔半径、矩形的长和宽对纳米狭缝耦合金属圆-矩形复合孔阵列结构增强光透射特性的影响。研究发现该结构与圆孔阵列、圆-矩形复合孔阵列两种结构相比较,光的透射率得到了显著的增加,这表明... 采用时域有限差分方法研究了纳米狭缝的宽度,圆孔半径、矩形的长和宽对纳米狭缝耦合金属圆-矩形复合孔阵列结构增强光透射特性的影响。研究发现该结构与圆孔阵列、圆-矩形复合孔阵列两种结构相比较,光的透射率得到了显著的增加,这表明本文提出的纳米狭缝耦合金属圆-矩形复合孔阵列结构中的表面等离激元和局域表面等离激元两种模式相互耦合起了关键作用。纳米狭缝宽度是影响光透射的主要因素,纳米狭缝宽度为55 nm时,透射率达到89%,半宽度达129 nm;圆孔半径、矩形孔的长和宽、周围环境介电常数等参数也影响透射率与共振峰位置:随着圆孔半径、矩形孔宽度的增大,透射率明显增强,同时共振峰蓝移;随着矩形孔长度和周围环境介电常数的增加,共振峰有规律的红移。 展开更多
关键词 物理光学 表面等离激元 增强光透射 纳米狭缝 纳米孔阵列 时域有限差分
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表面等离激元研究新进展 被引量:85
8
作者 王振林 《物理学进展》 CSCD 北大核心 2009年第3期287-324,共38页
随着理论研究的深入和现代微加工技术的进步,对支持表面等离激元的金属微纳结构体系的研究已形成了一门新兴学科方向,即表面等离激元光子学。由于表面等离激元具有独特的光学特性,在数据存储、超分辨成像、光准直、太阳能电池、生物传... 随着理论研究的深入和现代微加工技术的进步,对支持表面等离激元的金属微纳结构体系的研究已形成了一门新兴学科方向,即表面等离激元光子学。由于表面等离激元具有独特的光学特性,在数据存储、超分辨成像、光准直、太阳能电池、生物传感器以及负折射材料等方面有着重要的应用前景,成为当前广受国内外学者重视的热点研究领域之一。本文对表面等离激元的特点、基本现象,以及其带来的新颖效应及其应用研究前景的最新发展进行了介绍。 展开更多
关键词 表面等离极化激元 局域表面等离激元共振 增强光透射 传感 超构材料 金属开口环 电偶极子共振 磁共振 负折射 超透镜 隐身 亚波长光波导 量子效应 波粒二象性
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表面等离子共振传感器的原理与进展 被引量:6
9
作者 吴世康 《影像科学与光化学》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期15-25,共11页
表面等离子共振光谱(Surface Plasmon Resonance,SPR)是近年来得到快速发展的一门技术。它是一种无标记的、可用于实时定量检测某些固定于传感芯片上的组分与被结合物种间的绑定亲合度(binding affinity)、且可用于对相对小量物质进行... 表面等离子共振光谱(Surface Plasmon Resonance,SPR)是近年来得到快速发展的一门技术。它是一种无标记的、可用于实时定量检测某些固定于传感芯片上的组分与被结合物种间的绑定亲合度(binding affinity)、且可用于对相对小量物质进行检测的重要手段。由于它可方便地研究不同生物或化学物种的有关反应与动力学问题,因此具有重要的实用意义,受到广泛关注和重视。本文对有关等离子共振现象的形成及其作为敏感检测手段的机制、原理和改进等问题作了简要的介绍。 展开更多
关键词 表面等离子共振 传感器 纳米球刻蚀法 贵金属纳米颗粒 超常光学传输
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内嵌矩形腔楔形金属狭缝阵列的宽频异常透射(英文) 被引量:1
10
作者 祁云平 张雪伟 +2 位作者 胡月 胡兵兵 王向贤 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第S1期221-226,共6页
为了实现宽频透射,设计了内嵌矩形腔的楔形金属狭缝结构,并用有限元方法研究了其透射特性。结果表明,内嵌矩形腔的楔形金属狭缝阵列在红外范围内可以实现宽带、广角度的增强传输,并且与直缝结构对比光是强烈局域在狭缝出口处。用传输线... 为了实现宽频透射,设计了内嵌矩形腔的楔形金属狭缝结构,并用有限元方法研究了其透射特性。结果表明,内嵌矩形腔的楔形金属狭缝阵列在红外范围内可以实现宽带、广角度的增强传输,并且与直缝结构对比光是强烈局域在狭缝出口处。用传输线理论来描述这种现象。此外,还讨论了入射极化角度、狭缝入口宽度、楔形狭缝的中心偏置等因素对透射的影响。这些结果对光信号传输、宽带传输和近场光采集装置的设计具有一定的指导意义。 展开更多
关键词 光学异常透射 表面等离激元 楔形金属狭缝 有限元法
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内嵌矩形腔楔形金属狭缝阵列的宽频异常透射 被引量:1
11
作者 祁云平 张雪伟 +2 位作者 胡月 胡兵兵 王向贤 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第A01期213-218,共6页
为了实现宽频透射,设计了内嵌矩形腔的楔形金属狭缝结构,并用有限元方法研究了其透射特性。结果表明,内嵌矩形腔的楔形金属狭缝阵列在红外范围内可以实现宽带、广角度的增强传输。并且与直缝结构对比光是强烈局域在狭缝出口处。用传... 为了实现宽频透射,设计了内嵌矩形腔的楔形金属狭缝结构,并用有限元方法研究了其透射特性。结果表明,内嵌矩形腔的楔形金属狭缝阵列在红外范围内可以实现宽带、广角度的增强传输。并且与直缝结构对比光是强烈局域在狭缝出口处。用传输线理论来描述这种现象。此外,还讨论了入射极化角度、狭缝入口宽度、楔形狭缝的中心偏置等因素对透射的影响。这些结果对光信号传输、宽带传输和近场光采集装置的设计具有一定的指导意义。 展开更多
关键词 光学异常透射 表面等离激元 楔形金属狭缝 有限元法
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在课堂演示实验中引入光学异常透射现象 被引量:3
12
作者 裴延波 姚凤凤 +1 位作者 张宇 赵远 《大学物理》 2020年第2期34-38,共5页
本文讨论了如何在大学物理单缝的夫琅禾费衍射课堂演示实验中引入当前光学领域研究前沿的一个重要物理现象-亚波长金属缝异常光学透射现象.基于数值模拟,比较了在夫琅禾费衍射实验条件下,纳米尺寸单缝的异常光学透射和微米尺度单缝衍射... 本文讨论了如何在大学物理单缝的夫琅禾费衍射课堂演示实验中引入当前光学领域研究前沿的一个重要物理现象-亚波长金属缝异常光学透射现象.基于数值模拟,比较了在夫琅禾费衍射实验条件下,纳米尺寸单缝的异常光学透射和微米尺度单缝衍射的特点,讨论并指出纳米单缝的异常透射特征是纳米尺度光与物质强相互作用的反映,而这种强相互作用在微米尺度单缝的夫琅禾费衍射中是不显著的.最后对用于课堂演示的衍射实验装置的设计进行了讨论. 展开更多
关键词 单缝衍射 光学异常透射 表面等离激元 光漏斗效应 法布里-珀罗共振腔
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H型金属孔阵列结构强透射折射率传感特性研究
13
作者 肖功利 刘小刚 +7 位作者 杨宏艳 蒋行国 韦清臣 徐俊林 刘利 李海鸥 陈永和 李琦 《半导体光电》 CAS 北大核心 2018年第1期71-76,共6页
提出了一种H型金属孔阵列结构,利用该结构形成的法布里-珀罗腔加强表面等离激元耦合作用,以期获得较好的强透射现象。采用有限时域差分法(FDTD)对该结构进行数值仿真,并详细研究了H型金属孔阵列中水平方向矩形孔和竖直方向的两相同对称... 提出了一种H型金属孔阵列结构,利用该结构形成的法布里-珀罗腔加强表面等离激元耦合作用,以期获得较好的强透射现象。采用有限时域差分法(FDTD)对该结构进行数值仿真,并详细研究了H型金属孔阵列中水平方向矩形孔和竖直方向的两相同对称矩形孔的长和宽等参数对强透射特性的影响;同时研究了基于该现象的折射率传感特性。结果表明:当水平方向矩形孔的长和宽分别为300和120nm、竖直方向的两相同对称矩形孔的长和宽分别为60和10nm时,强透射现象较好,并在此基础上获得了389RIU/nm的折射率灵敏度。这些研究结果有望为高性能微纳等离子体传感器的设计提供理论参考。 展开更多
关键词 H型金属孔阵列 强透射现象 法布里-珀罗腔 表面等离子激元 传感特性
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光学异常透射研究进展 被引量:8
14
作者 张鑫 刘海涛 《物理学进展》 CSCD 北大核心 2016年第4期118-127,共10页
光学异常透射(extraordinary optical transmission,EOT)现象于1998年首次报道,表现为当光通过亚波长金属孔阵列时,得到的透射率在特定波长位置会比经典的小孔透射理论预言的数值高若干个数量级。该现象首次显示了金属亚波长结构中表面... 光学异常透射(extraordinary optical transmission,EOT)现象于1998年首次报道,表现为当光通过亚波长金属孔阵列时,得到的透射率在特定波长位置会比经典的小孔透射理论预言的数值高若干个数量级。该现象首次显示了金属亚波长结构中表面波引起的异常光学效应,是表面等离激元光学(plasmonics)进入活跃发展期的一个标志性事件。本文将从产生机理和相关器件应用两方面,对EOT的研究进展进行简要阐述。首先介绍EOT产生机理的宏观Bloch模式解释和微观表面波解释,以及这两种解释的最终统一;然后介绍EOT在传感、纳米偏光器、滤波、光开关和分子光谱增强等领域的应用;最后是对EOT相关研究的展望。 展开更多
关键词 光学异常透射 金属亚波长结构阵列 表面等离激元 准柱面波 复合波 表面Bloch 模式 传感 纳米偏光器 滤波 光开关 光谱增强
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非对称领结型纳米孔阵列的光透射特性(英文) 被引量:1
15
作者 孙鑫 冯敏 +2 位作者 王斌 曹学伟 王玉芳 《光散射学报》 北大核心 2016年第3期285-292,共8页
本文利用数值模拟的方法研究了两种不同的非对称领结型纳米孔结构的光学特性。对于偏置间隙的领结型纳米孔,其基模共振与孔的周长呈线性关系。并且,不同的间隙尺寸对间隙偏置的敏感度不同。对于间隙的一边的结构发生变化的领结型纳米孔... 本文利用数值模拟的方法研究了两种不同的非对称领结型纳米孔结构的光学特性。对于偏置间隙的领结型纳米孔,其基模共振与孔的周长呈线性关系。并且,不同的间隙尺寸对间隙偏置的敏感度不同。对于间隙的一边的结构发生变化的领结型纳米孔,基模共振可以通过改变单个几何参量(剩余部分的高度h2)进行线性调制。另外,研究中还观察到了类Fabry-Perot共振的共振峰分裂。我们在这项工作中提出的这两种打破领结型纳米孔的对称性的方法可以灵活地对领结型纳米孔结构的共振进行操控。 展开更多
关键词 领结型纳米孔 异常光透射 表面等离子体基元 光学共振
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周期性亚波长金属孔阵列的单元结构对称性对其增强光透射特性的影响
16
作者 袁志 刘辉 +3 位作者 陈志勇 朱卫华 郭玮 王新林 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期62-70,共9页
采用三维时域有限差分方法,对比研究了石英基底上周期性亚波长圆形、纽扣形、半圆形和太极形四种具有不同对称性的孔阵列微结构金属膜的增强光透射特性,并分别探讨了阵列周期、小孔尺寸对这四种阵列结构透射特性的影响.结果表明增强光... 采用三维时域有限差分方法,对比研究了石英基底上周期性亚波长圆形、纽扣形、半圆形和太极形四种具有不同对称性的孔阵列微结构金属膜的增强光透射特性,并分别探讨了阵列周期、小孔尺寸对这四种阵列结构透射特性的影响.结果表明增强光透射特性对单元结构对称性具有很强的依赖性:在超短高斯光脉冲激励下,随着单元结构对称性的降低,归一化透过率逐渐增大,红外波段的透射峰发生大量红移,且其与可见光波段的透射峰之间的距离逐渐增大,在对称性破缺的太极形孔阵列中两峰间距最大,可达1 300nm左右.表面等离激元模式与局域表面等离子体共振模式在增强光透射现象中起着重要的作用.在可见光波段,表面等离激元模式是这四种阵列结构的光透射增强的主导性因素;在红外波段,局域表面等离子体共振模式对单元结构对称性较差孔阵列结构的增强光透射特性有着显著影响. 展开更多
关键词 亚波长金属孔阵列 增强光透射 时域有限差分 单元结构对称性 表面等离激元
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金属/水界面振动光谱的等离基元场增强
17
作者 刘志华 徐倩 刘韡韬 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 2016年第1期87-90,I0002,共5页
电化学反应在许多学科中扮演着很重要的角色.对于化学分析来说,振动光谱是一门很好的原位测量技术,然而由于红外光在电极和电解质中强烈的衰减使得它在电化学反应中的应用受到了很大的限制.本文中论证了在金属电极上结合适当的亚波... 电化学反应在许多学科中扮演着很重要的角色.对于化学分析来说,振动光谱是一门很好的原位测量技术,然而由于红外光在电极和电解质中强烈的衰减使得它在电化学反应中的应用受到了很大的限制.本文中论证了在金属电极上结合适当的亚波长等离子体结构,在OH伸缩振动频段内,通过激发表面等离激元能够大大增强金属与液态水电化学界面的红外场强.这对于原位振动光谱的研究,特别是当用到表面灵敏的光学混频技术时可产生很大的促进作用. 展开更多
关键词 金属-水界面 表面等离子体激发 光学异常透射
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基于表面等离激元交叉耦合作用的纳米金属双缝异常透射现象 被引量:3
18
作者 赵波 杨建军 黄振芬 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期31-38,共8页
利用二维时域有限差分方法研究了非对称纳米金属双缝结构在薄隔层情况下对光波的异常透射特性,以及狭缝长度、狭缝数目和入射角度对透射特性的影响.研究发现,该双缝结构中传导的表面等离激元波通过渗透中间隔层材料产生交叉耦合作用,形... 利用二维时域有限差分方法研究了非对称纳米金属双缝结构在薄隔层情况下对光波的异常透射特性,以及狭缝长度、狭缝数目和入射角度对透射特性的影响.研究发现,该双缝结构中传导的表面等离激元波通过渗透中间隔层材料产生交叉耦合作用,形成对称和反对称耦合模式,导致其透射谱在特定波长位置处形成双共振峰传输和一个透射率为零的透射抑制现象;双缝结构中表面等离激元波交叉耦合作用的本质是其横向电场分量渗入中间隔层材料产生的相互干涉作用,而横向电场分量的初始相位差决定双缝结构中形成的表面等离激元波耦合模式的类型.由于双缝结构的透射极值与各狭缝腔内的法布里-珀罗共振效应密切相关,因此狭缝长度决定透射极值的波长位置,而狭缝数目和入射角度只影响透射峰的传输效率.该双缝结构具备光学滤波和空间分光功能,在新型纳米光子器件领域具有潜在的应用价值. 展开更多
关键词 亚波长金属结构 异常光学透射 时域有限差分方法 非对称纳米金属双缝 表面等离激元
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表面等离子体无掩膜干涉光刻系统的数值分析(英文) 被引量:5
19
作者 董启明 郭小伟 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期558-564,共7页
表面等离子体激元具有近场增强效应,可以代替光子作为曝光源形成纳米级特征尺寸的图像.本文数值分析了棱镜辅助表面等离子体干涉系统的参量空间,并给出了计算原理和方法.结果表明,适当地选择高折射率棱镜、低银层厚度、入射波长和光刻... 表面等离子体激元具有近场增强效应,可以代替光子作为曝光源形成纳米级特征尺寸的图像.本文数值分析了棱镜辅助表面等离子体干涉系统的参量空间,并给出了计算原理和方法.结果表明,适当地选择高折射率棱镜、低银层厚度、入射波长和光刻胶折射率,可以获得高曝光度、高对比度的干涉图像.入射波长为431nm时,选择40nm厚的银层,曝光深度可达200nm,条纹周期为110nm.数值分析结果为实验的安排提供了理论支持. 展开更多
关键词 干涉光刻 表面等离子体激元 克莱舒曼结构
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基于金属圆弧孔阵列强透射的折射率传感特性 被引量:7
20
作者 肖功利 刘小刚 +9 位作者 杨宏艳 蒋行国 王宏庆 郑龙 刘利 李海鸥 李琦 张法碧 傅涛 陈永和 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期335-341,共7页
提出了一种由左右、上下对称的一大一小圆弧组成的金属圆弧孔阵列结构。利用该结构形成的法布里-珀罗腔来加强表面等离激元的耦合作用,以获得较好的强透射现象;同时研究了基于该现象的折射率传感特性。采用有限时域差分法研究了该孔阵... 提出了一种由左右、上下对称的一大一小圆弧组成的金属圆弧孔阵列结构。利用该结构形成的法布里-珀罗腔来加强表面等离激元的耦合作用,以获得较好的强透射现象;同时研究了基于该现象的折射率传感特性。采用有限时域差分法研究了该孔阵列结构中大小圆弧孔的半径、两圆弧的圆心距和阵列周期对强透射现象的影响。研究发现,当大圆弧半径为95nm、小圆弧半径为70nm、两圆弧的圆心距为100nm、周期为425nm时,该结构具有较好的强透射现象,其灵敏度为279nm/RIU,为下一代高性能微纳米等离子体传感器的设计提供了理论参考。 展开更多
关键词 表面光学 折射率传感特性 有限时域差分法 金属圆弧孔阵列 强透射 法布里-珀罗腔 表面等离激元
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