片上互连电感提取的快速多极方法

提出一个有效提取片上互连线频变电感参数的方法。该方法不需要把导体段进行细丝化离散,而是通过积分方程的离散,将求解三维准静态磁矢位的问题转化为多体问题,进而应用快速多极方法(fast multipole method,FMM)来提取片上互连电感参数。该方法能够更加准确的反映导体电流的不均匀分布,快速准确的计算出结构复杂的互连线电感参数。计算结果与基于电路模型法的Fasthenry进行比较,结果证明本文提出的FMM方法在整个频率范围内均可以得到很高的精度,且在可控的精度下,计算速度随着互连线数量的增多有显著提高。