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题名微波组件细间距金丝键合工艺的可靠性分析
被引量:2
- 1
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作者
井津域
刘德喜
史磊
景翠
尹蒙蒙
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机构
北京遥测技术研究所
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出处
《电子工艺技术》
2021年第4期198-202,206,243,共7页
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基金
装备发展预研项目(2009ZYHW0019)。
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文摘
细间距小尺寸的焊盘键合工艺是微波组件自动键合工艺面临的关键技术瓶颈。针对具体产品,分析了细间距小尺寸焊盘的球焊键合的工艺控制要点,提出了改进劈刀结构、改进焊线模式、优化工艺参数等方面的工艺优化手段,采用该优化方法后,焊接的可靠性和稳定性得到了很大的提高,达到了提升自动球焊键合质量和提高金丝键合工艺精度的目的。
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关键词
金丝键合
细间距小尺寸
键合劈刀
键合参数
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Keywords
fi ne pitch
microsize bonding
bonding capillary
bonding parameters
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名高密度金丝键合中的劈刀系列化实验
被引量:2
- 2
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作者
李颖凡
王安瑞
张齐燕
蔡运红
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机构
中国电子科技集团公司第十研究所
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出处
《电子工艺技术》
2020年第5期283-287,共5页
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文摘
针对高密度细间距金丝键合中劈刀选型困难的问题,筛选出11种劈刀作为试验对象,研究它们在不同材质上的匹配性与键合能力,以及在高密度细间距、深腔/近壁特殊应用状态下的工艺特性。通过焊点形态、拉力测试及显微镜拍照对比方式,得出劈刀可靠性变化曲线以及使用寿命。最后通过归纳分析,梳理出11种劈刀适用范围,供实际生产选型。
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关键词
高密度金丝键合
劈刀选型
键合能力
细间距
深腔
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Keywords
high density gold wire bonding
wedge selection
bonding ability
fi ne pitch
deep cavity
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分类号
TN454
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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