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多场耦合下RF组件的焊点信号完整性
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作者 田文超 孔凯正 +1 位作者 周理明 肖宝童 《电子与封装》 2024年第3期34-44,共11页
随着集成电路和5G技术的迅猛发展,射频(RF)组件作为关键设备被广泛使用。RF组件需要在复杂多变的工作环境下服役,而焊点作为RF组件封装中相对脆弱的部分,其稳定性和可靠性尤为重要。介绍了焊点在多场耦合下的性能表现。RF组件焊点需要... 随着集成电路和5G技术的迅猛发展,射频(RF)组件作为关键设备被广泛使用。RF组件需要在复杂多变的工作环境下服役,而焊点作为RF组件封装中相对脆弱的部分,其稳定性和可靠性尤为重要。介绍了焊点在多场耦合下的性能表现。RF组件焊点需要有效传输高频信号,从电气性能和信号完整性两方面对其进行概述,对多场耦合下的焊点信号完整性进行了总结,探讨了在高频条件下对焊点的机械性能和信号完整性进行综合研究和优化的必要性。 展开更多
关键词 焊点 射频组件封装 多场耦合 信号完整性 机械性能
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RF electric field penetration and power deposition into nonequilibrium planar-type inductively coupled plasmas
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作者 毛明 王帅 +1 位作者 戴忠玲 王友年 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第7期2044-2050,共7页
The RF electric field penetration and the power deposition into planar-type inductively coupled plasmas in low-pressure discharges have been studied by means of a self-consistent model which consists of Maxwell equati... The RF electric field penetration and the power deposition into planar-type inductively coupled plasmas in low-pressure discharges have been studied by means of a self-consistent model which consists of Maxwell equations combined with the kinetic equation of electrons. The Maxwell equations are solved based on the expansion of the Fourier-Bessel series for determining the RF electric field. Numerical results show the influence of a non-Maxwellian electron energy distribution on the RF electric field penetration and the power deposition for different coil currents. Moreover, the two-dimensional spatial profiles of RF electric field and power density are also shown for different numbers of RF coil turns. 展开更多
关键词 inductively coupled plasma7 rf field penetration kinetic theory
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Dynamics of nuclear spin-1/2 system in a strong bichromatic RF-field
3
作者 LU Hongliang SHI Chunhua QIU Xijun 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2009年第1期56-59,共4页
Based on calculating the influence of RF-field with various physical parameters on the dynamics of the spin 1/2 system,it was found that the spin state could be changed up and down by choosing appropriate RF pulses, a... Based on calculating the influence of RF-field with various physical parameters on the dynamics of the spin 1/2 system,it was found that the spin state could be changed up and down by choosing appropriate RF pulses, and the coherent control of the RF pulses could substantially modify the behavior of spin dynamics:quicker change of two states could be produced even for small pulse duration.In addition,the oscillatory structures around the resonant frequency and the propagation features of the pulses depend on the relative phase of the bichromatic RF pulses. 展开更多
关键词 原子能 核四极矩共振 探测原理 试验
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Optimization of ambipolar current and analog/RF performance for T-shaped tunnel field-effect transistor with gate dielectric spacer
4
作者 Ru Han Hai-Chao Zhang +1 位作者 Dang-Hui Wang Cui Li 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第1期656-662,共7页
A new T-shaped tunnel field-effect transistor(TTFET) with gate dielectric spacer(GDS) structure is proposed in this paper. To further studied the effects of GDS structure on the TTFET, detailed device characteristics ... A new T-shaped tunnel field-effect transistor(TTFET) with gate dielectric spacer(GDS) structure is proposed in this paper. To further studied the effects of GDS structure on the TTFET, detailed device characteristics such as current-voltage relationships, energy band diagrams, band-to-band tunneling(BTBT) rate and the magnitude of the electric field are investigated by using TCAD simulation. It is found that compared with conventional TTFET and TTFET with gate-drain overlap(GDO) structure, GDS-TTFET not only has the minimum ambipolar current but also can suppress the ambipolar current under a more extensive bias range. Furthermore, the analog/RF performances of GDS-TTFET are also investigated in terms of transconductance, gate-source capacitance, gate-drain capacitance, cutoff frequency, and gain bandwidth production. By inserting a low-κ spacer layer between the gate electrode and the gate dielectric, the GDS structure can effectively reduce parasitic capacitances between the gate and the source/drain, which leads to better performance in term of cutoff frequency and gain bandwidth production. Finally, the thickness of the gate dielectric spacer is optimized for better ambipolar current suppression and improved analog/RF performance. 展开更多
关键词 tunneling field effect TRANSISTOR T-SHAPED TUNNEL field-EFFECT TRANSISTOR gate dielectric SPACER ambipolar current analog/rf performance
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中国散裂中子源RFQ的研制 被引量:9
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作者 肖永川 欧阳华甫 +4 位作者 薛康佳 刘盛进 曹秀霞 吕永佳 黄涛 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第12期1-7,共7页
中国散裂中子源研发了一台射频四极RFQ(Radio Frequency Quadrupole)强流质子加速器。为保证RFQ顺利出束,对加工焊接阶段、RF调谐调场、高功率RF(Radio Frequency)老练过程中出现的问题进行了分析,给出了解决办法,并进行了调束实验。三... 中国散裂中子源研发了一台射频四极RFQ(Radio Frequency Quadrupole)强流质子加速器。为保证RFQ顺利出束,对加工焊接阶段、RF调谐调场、高功率RF(Radio Frequency)老练过程中出现的问题进行了分析,给出了解决办法,并进行了调束实验。三坐标测量测得RFQ精加工后的加工公差约在20μm,RFQ腔体无载品质因子Q0大于7 679,约为理论无载Q0值的80%。RFQ腔内RF电场分布的平整度好于2.5%,RFQ高功率RF老练入腔功率达到450 k W,是理论腔耗390 k W的1.15倍,且保持连续12 h不打火。在RFQ调束实验中,RFQ出口得到3 Me V、28 m A的负氢束流,满足中国散裂中子源的要求。 展开更多
关键词 射频四极加速器 高功率rf老练 rf电场分布平整度 中国散裂中子源
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光阴极RF腔注入器束流发射度研究
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作者 肖效光 胡克松 +1 位作者 李正红 黎明 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期297-300,共4页
 分析了光阴极RF腔注入器中的RF场效应和空间电荷效应,给出了电子在加速腔中束流发射度的解析表达式,它说明在加速过程中束流发射度是振荡变化的。利用SUPERFISH和GPT程序模拟计算了光阴极1+1/2腔注入器输出束流发射度与加速场强、注...  分析了光阴极RF腔注入器中的RF场效应和空间电荷效应,给出了电子在加速腔中束流发射度的解析表达式,它说明在加速过程中束流发射度是振荡变化的。利用SUPERFISH和GPT程序模拟计算了光阴极1+1/2腔注入器输出束流发射度与加速场强、注入相位、束团大小和形状、束团电荷的关系。适当选择这些条件,可以获得横向发射度小于2πmm·mrad的输出束流。 展开更多
关键词 光阴极rf腔注入器 束流发射度 rf场效应 空间电荷效应 加速器
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驻波电子直线加速器中的RF相位聚焦 被引量:4
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作者 孙翔 杨越 林郁正 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期205-210,共6页
分析了驻波电子直线加速器中电子受RF场的横向作用与其所处相位的关系,探讨了驻波直线加速器中的RF相位聚焦以及不对称场幅值分布对粒子横向动力学的影响,并给出利用相位聚焦和不对称场幅值分布技术设计的两只加速管实例。
关键词 驻波 rf相位聚焦 电子直线加速器 场型
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RF-PCVD低温沉积无色透明类金刚石保护膜的工艺研究 被引量:3
8
作者 朱霞高 侯惠君 +2 位作者 林松盛 袁镇海 戴达煌 《广东有色金属学报》 2006年第3期188-191,共4页
采用磁约束增强射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法(RF—PCVD)低温沉积出无色透明的类金刚石保护膜(DLC),主要研究了炉压P0、射频功率Pf、自生负偏压U2、磁感应强度B、电极间距d、反应气体、镀膜时间t等工艺参数对成膜的影响... 采用磁约束增强射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法(RF—PCVD)低温沉积出无色透明的类金刚石保护膜(DLC),主要研究了炉压P0、射频功率Pf、自生负偏压U2、磁感应强度B、电极间距d、反应气体、镀膜时间t等工艺参数对成膜的影响.试验结果表明,外加磁场B制约了带电粒子逃逸出电极空间,提高了反应气体的离化率及等离子体浓度和活性,并使非独立变量Pf和Uz成为独立变量,有利于工艺调节.当极间距大时,需适当提高Pf,Uz和C-H流量才可得到无色、较硬的DLC膜.在比功率密度大于0.009W·cm^-2·Pa^-1、C-H浓度即体积分数0.9%~1.4%及膜厚小于90nm的条件下,可沉积出无色透明、硬度较高的DLC膜. 展开更多
关键词 射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积 类金刚石膜 比功率密度 磁感应强度
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电容式RFMEMS开关膜片边缘场效应的表征
9
作者 李君儒 高杨 +2 位作者 何婉婧 蔡洵 黄振华 《太赫兹科学与电子信息学报》 2015年第2期342-346,共5页
计及电容式RF MEMS开关膜片上电场分布的边缘场效应后,很难建立高保真的开关自驱动失效阈值功率解析模型。因此,采用膜片承受射频信号功率的面积(ARF)和膜片与传输线的正对面积(A)的比值构建优值(Fo M),以表征膜片上电场分布的边缘场效... 计及电容式RF MEMS开关膜片上电场分布的边缘场效应后,很难建立高保真的开关自驱动失效阈值功率解析模型。因此,采用膜片承受射频信号功率的面积(ARF)和膜片与传输线的正对面积(A)的比值构建优值(Fo M),以表征膜片上电场分布的边缘场效应强弱。利用HFSS软件建立了开关自驱动失效的三维电磁模型;以一种常见的开关构型为案例,仿真得到了多种射频信号功率(Pin)和开关气隙高度(g0)条件下膜片边缘电场分布,并与优值计算结果进行了对比验证,初步证明了采用优值ARF/A表征膜片上电场分布的边缘场效应强度的可行性。 展开更多
关键词 射频微电子机械系统 电容式开关 射频功率容量 自驱动 边缘场效应
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基于湍流模型的DC-RF混合等离子体流动及传热特性研究
10
作者 陈文波 李自军 +2 位作者 陈伦江 冯军 阳璞琼 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第10期38-46,共9页
直流-射频(Direct Current-Radio Frequency,DC-RF)混合等离子体具有高温、高化学活性等特点,在核用超细粉末材料制备领域有着广阔的应用前景。对这种混合等离子体的特性进行研究,可以为等离子体发生器装置的设计及稳定运行提供参考。... 直流-射频(Direct Current-Radio Frequency,DC-RF)混合等离子体具有高温、高化学活性等特点,在核用超细粉末材料制备领域有着广阔的应用前景。对这种混合等离子体的特性进行研究,可以为等离子体发生器装置的设计及稳定运行提供参考。本文采用k-ε湍流模型,对DC-RF混合等离子体发生器内的热等离子体的温度及流场空间分布进行模拟,并在此基础上分析了各工作参数对混合等离子体流动及传热特性的影响。模拟结果表明:提高DC弧电流、增大反应气及冷却气流量均能减弱混合等离子体发生器入口处的回流效应;提升RF线圈电流则能增加RF线圈附近的等离子体温度及高温弧区面积,但过大的气流量及过高的线圈电流会对发生器装置的正常工作产生不利影响。因此,需要合理调节各种工作参数来改变混合等离子体的流场分布,从而在保证装置稳定运行的前提下满足不同材料处理的需求。 展开更多
关键词 直流-射频混合等离子体 湍流模型 温度 流场 数值模拟
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DC-RF混合等离子体温度及流场的数值计算
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作者 陈文波 冯军 +2 位作者 陈伦江 阳璞琼 刘川东 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第12期1191-1197,共7页
直流-射频(DC-RF)混合等离子体在材料合成领域有着较大的优势。为了对这种混合等离子体的特性进行分析,本文采用基于磁流体力学方程的DC-RF等离子体模型,数值分析了操作参数的改变对混合等离子体流场的影响效应。计算结果表明,直流电弧... 直流-射频(DC-RF)混合等离子体在材料合成领域有着较大的优势。为了对这种混合等离子体的特性进行分析,本文采用基于磁流体力学方程的DC-RF等离子体模型,数值分析了操作参数的改变对混合等离子体流场的影响效应。计算结果表明,直流电弧电流及工作气体流量的增加,主要使反应室中心区域处的混合等离子体轴向速度增加,并改变该区域内的温度及流场分布。但对反应室出口位置处的速度及温度分布影响不大。因此,可以通过调节直流电弧电流及工作气体流量的大小来改变混合等离子体的流场分布,从而满足特定材料处理工艺的需要。 展开更多
关键词 直流-射频 混合等离子体 温度分布 流场分布
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EAST装置ICRF天线电特性分析与优化研究
12
作者 李家豪 杨庆喜 +2 位作者 宋云涛 赵燕平 张新军 《核科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2021年第2期241-246,共6页
射频波加热是磁约束核聚变装置的重要加热方式。本论文基于EAST装置离子回旋共振(ICRF)加热天线结构和运行参数,运用高频分析方法对ICRF天线开展电特性分析模拟,获得ICRF天线射频电势和电场分布特性,初步评估了天线电特性。基于天线电... 射频波加热是磁约束核聚变装置的重要加热方式。本论文基于EAST装置离子回旋共振(ICRF)加热天线结构和运行参数,运用高频分析方法对ICRF天线开展电特性分析模拟,获得ICRF天线射频电势和电场分布特性,初步评估了天线电特性。基于天线电场分布特性和分析结果,从天线结构和运行相位两方面对ICRF天线电特性进行了优化,优化后通过分析结果表明:ICRF天线射频鞘电势和电场均有很大的改善和降低。分析方法和结果为EAST装置ICRF天线和其他同类装置设计、分析提供了有益的参考和借鉴。 展开更多
关键词 EAST装置 ICrf天线 电场 射频鞘电势
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RF MEMS开关的力电耦合仿真分析 被引量:3
13
作者 刘肖 陈旭远 《青岛大学学报(工程技术版)》 CAS 2007年第3期60-65,共6页
设计了一种曲臂折合结构的固支梁式RF MEMS开关。并用ANSYS有限元分析软件对此结构模型及3种基本的固支梁式RF MEMS开关结构模型进行力电耦合仿真模拟。通过静态、模态分析,得出了不同开关结构的激励电压、固有频率和阻尼Q因子。通过谐... 设计了一种曲臂折合结构的固支梁式RF MEMS开关。并用ANSYS有限元分析软件对此结构模型及3种基本的固支梁式RF MEMS开关结构模型进行力电耦合仿真模拟。通过静态、模态分析,得出了不同开关结构的激励电压、固有频率和阻尼Q因子。通过谐振态分析和瞬态分析再现了各结构开关在高频激励电压下的工作情况,并用"位移/时间"表量化显示了固支梁在单周期内下拉、回复过程中的运动轨迹。通过数值计算和比较,结果表明:曲臂折合式开关具有较低的下拉电压和较高响应速度,以及更稳定的工作模态。 展开更多
关键词 ANSYS rf MEMS 机电耦合(力电耦合) 固支梁
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基于FPGA的RFID晶圆并行测试系统设计 被引量:5
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作者 张慧雷 景为平 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第11期866-871,共6页
针对高频射频识别(RFID)晶圆在中测(CP)阶段单通道串行测试效率低下的问题,设计了一种基于现场可编程门阵列(FPGA)的多通道并行测试系统以提高测试效率。鉴于RFID晶圆上没有集成天线,提出了一种新的基于探针技术的射频耦合式的晶圆检测... 针对高频射频识别(RFID)晶圆在中测(CP)阶段单通道串行测试效率低下的问题,设计了一种基于现场可编程门阵列(FPGA)的多通道并行测试系统以提高测试效率。鉴于RFID晶圆上没有集成天线,提出了一种新的基于探针技术的射频耦合式的晶圆检测方法,模拟芯片实际工作。系统选用FPGA为微控制器,配以多路射频耦合通信电路,实现测试向量生成及快速信号处理。再结合上位机与探针台高速并行的通用接口总线(GPIB)通信接口,以实现晶圆级RFID芯片测试。经实际测试,该系统能够实现16通道并行测试,与单通道串行测试系统相比,效率提升了97%,可靠性好,稳定性高,可应用高密度RFID晶圆的中测。 展开更多
关键词 并行测试 高频射频识别(rfID) 晶圆测试(CP) 射频耦合 现场可编程门阵列(FPGA)
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电容式RF MEMS开关介质层电荷积累消除方法 被引量:4
15
作者 许成龙 李朋伟 +5 位作者 张文栋 桑胜波 胡杰 程超群 郭兴军 李刚 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第9期559-565,580,共8页
电容式RF MEMS开关是下一代高频通信领域中的关键部件。首先,介绍了电容式RF MEMS开关的结构、工作原理以及失效机理。介质充电是制约电容式RF MEMS开关长期可靠性的主要原因,介质膜中的陷阱以及施加在介质膜中高电场是引起介质层中电... 电容式RF MEMS开关是下一代高频通信领域中的关键部件。首先,介绍了电容式RF MEMS开关的结构、工作原理以及失效机理。介质充电是制约电容式RF MEMS开关长期可靠性的主要原因,介质膜中的陷阱以及施加在介质膜中高电场是引起介质层中电荷积累的根源。在此基础上,归纳总结了前期减少电荷积累所采用的不同途径,如改善介质层、降低驱动电压、优化驱动波形、优化结构设计和采用非静电的驱动方式等,并举例说明了这些途径的优缺点,最后讨论并指出了未来消除电荷积累的可行性研究方向。 展开更多
关键词 rf MEMS开关 介质充电 电荷积累 陷阱 电场
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RF MEMS开关失效因素的COMSOL仿真 被引量:1
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作者 张海明 杨圣 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期157-160,165,共5页
针对RF MEMS开关的可靠性问题,利用有限元软件COMSOL,对悬臂式RF MEMS开关周围的电场分布,开关上的电荷分布和本征频率进行了分析;并研究了在静电场和结构力场耦合作用下悬臂梁的内应力情况,找出开关损坏的可能部位,探索RF MEMS失效的机... 针对RF MEMS开关的可靠性问题,利用有限元软件COMSOL,对悬臂式RF MEMS开关周围的电场分布,开关上的电荷分布和本征频率进行了分析;并研究了在静电场和结构力场耦合作用下悬臂梁的内应力情况,找出开关损坏的可能部位,探索RF MEMS失效的机理,为悬臂式RF MEMS开关的优化改进提供理论依据。 展开更多
关键词 rf MEMS开关 有限元 耦合场 本征频率 内应力
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Rydberg electromagnetically induced transparency and Autler–Townes splitting in a weak radio-frequency electric field 被引量:1
17
作者 Liping Hao Yongmei Xue +3 位作者 Jiabei Fan Yuechun Jiao Jianming Zhao Suotang Jia 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第5期80-84,共5页
We utilize an electromagnetically induced transparency(EIT) of a three-level cascade system involving Rydberg state in a room-temperature cell, formed with a cesium 6 S_(1/2)–6 P_(3/2)–66 S_(1/2) scheme, to investig... We utilize an electromagnetically induced transparency(EIT) of a three-level cascade system involving Rydberg state in a room-temperature cell, formed with a cesium 6 S_(1/2)–6 P_(3/2)–66 S_(1/2) scheme, to investigate the Autler–Townes(AT)splitting resulting from a 15.21-GHz radio-frequency(RF) field that couples the |66 S_(1/2) → |65 P_(1/2) Rydberg transition.The radio-frequency electric field induced AT splitting, γAT, is defined as the peak-to-peak distance of an EIT-AT spectrum.The dependence of AT splitting γAT on the probe and coupling Rabi frequency, ?_p and ?_c, is investigated. It is found that the EIT-AT splitting strongly depends on the EIT linewidth that is related to the probe and coupling Rabi frequency in a weak RF-field regime. Using a narrow linewidth EIT spectrum would decrease the uncertainty of the RF field measurements.This work provides new experimental evidence for the theoretical framework in [J. Appl. Phys. 121, 233106(2017)]. 展开更多
关键词 RYDBERG electromagnetically induced transparency-Autler–Townes (EIT-AT) cascade FOUR-LEVEL atom RADIO-FREQUENCY (rf) electric field
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Detection of the movement direction by the cells with directional receptive fields in the primary visual cortex of the cat
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作者 Ausra Daugirdiene Algimantas Svegzda +1 位作者 Romualdas Satinskas Henrikas Vaitkevicius 《Health》 2010年第10期1232-1237,共6页
The study was performed on neurons with direction selective (DS) receptive fields (RFs) in the primary visual cortex of the cat. Preferred directions (PDs) of these cells to a single light spot and a system of two ide... The study was performed on neurons with direction selective (DS) receptive fields (RFs) in the primary visual cortex of the cat. Preferred directions (PDs) of these cells to a single light spot and a system of two identical light spots moving across the RF with a given angle between them were compared. Directional interactions appeared when the angles between the directions of the two moving spots were 30o or 60o. PD for 56% of the cells coincided with bisectors of these angles. These cells responded to a combination of the two moving stimuli as if only one stimulus moved in the RF in an intermediate direction. This direction coincided with PD of the DS neuron to a single spot. Also, the investigation revealed that DS neurons responded to stimuli moving at such angles as 180o (to preferred and opposite directions simultaneously). In the further experiment we investigated responses of the DS cells in the primary visual cortex of RF. The angle between the directions of the two moving spots was 60o. These cells responded to a combination of the two moving stimuli as if only one stimulus moved in RF in an intermediate direction. The more relative luminance of one of spots in pair was, the closer the intermediate direction approached to the direction of this spot). 展开更多
关键词 CAT PRIMARY Visual CORTEX Directionally SELECTIVE CELLS RECEPTIVE field (rf)
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NUMERICAL ANALYSIS OF THEORETICAL MODEL OF THE RF MEMS SWITCHES 被引量:5
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作者 张立宪 余同希 赵亚溥 《Acta Mechanica Sinica》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第2期178-184,共7页
An improved electromechanical model of the RF MEMS(radio frequency microelec- tromechanical systems)switches is introduced,in which the effects of intrinsic residual stress from fabrication processes,axial stress due ... An improved electromechanical model of the RF MEMS(radio frequency microelec- tromechanical systems)switches is introduced,in which the effects of intrinsic residual stress from fabrication processes,axial stress due to stretching of beam,and fringing field are taken into account. Four dimensionless numbers are derived from the governing equation of the developed model.A semi- analytical method is developed to calculate the behavior of the RF MEMS switches.Subsequently the influence of the material and geometry parameters on the behavior of the structure is analyzed and compared,and the corresponding analysis with the dimensionless numbers is conducted too.The quantitative relationship between the presented parameters and the critical pull-in voltage is obtained, and the relative importance of those parameters is given. 展开更多
关键词 rf MEMS axial stretching residual stress fringing field critical pull-in voltage
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Frequency control and pre-tuning of a large aperture 500 MHz 5-cell superconducting RF cavity 被引量:1
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作者 唐正博 马震宇 +8 位作者 侯洪涛 毛冬青 封自强 王岩 徐凯 罗琛 李正 是晶 刘建飞 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2014年第3期4-7,共4页
The 500 MHz 5-cell superconducting RF(SRF) cavity was designed aiming to be a candidate cavity for high current accelerators. A copper prototype cavity and a niobium cavity were fabricated at SINAP in 2012. In order t... The 500 MHz 5-cell superconducting RF(SRF) cavity was designed aiming to be a candidate cavity for high current accelerators. A copper prototype cavity and a niobium cavity were fabricated at SINAP in 2012. In order to ensure these cavities get the desired frequency and a good field flatness higher than 98%, frequency control was implemented in the manufacturing process and pre-tuning has been done using a simple pre-tuning frame based on the bead-pull pre-tuning method. Then, TM010-π mode frequency within 5 kHz from the target frequency was achieved and the field flatness reached 98.9% on the copper prototype cavity. Finally, the same procedure was applied to the niobium cavity to obtain a field flatness better than 98% which benefited the cavity performance in the vertical testing. 展开更多
关键词 频率控制 超导 细胞 高频腔 光圈 制造过程 设计目标 整定方法
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