数字光栅调焦调平传感器的工艺适应性

数字光栅位移测量技术将CMOS相机的像素阵列当作一个“数字化”的光栅,通过构造光学光栅像和数字光栅的周期差,利用微米级的光学光栅像,实现纳米级的位移测量。其可以应用于光刻机的调焦调平传感器中,结合倾斜入射的检测光路,对晶圆表面高度进行精确测量。在实际测量中,晶圆表面意外出现的图形会干扰光学光栅的反射成像,进而影响图像处理结果。针对上述问题,本文提出一种数字光栅位移测量的工艺适应性方法,以数字光栅周期为单位,对存在干扰图案时的CMOS图像进行光强重建和光强曲线恢复。该方法能在晶圆基底出现较大面积图案时表现出很好的稳定性,且可以适应多种表面缺陷,如划痕、颗粒、污渍和沟槽等。实验结果表明,经图像光强重建后,光强曲线的均方误差大幅减小,修正后的Z向测量误差在±33 nm(±3σ=±41.2 nm)以内。该方法能增强数字光栅调焦调平传感器的工艺适应性,为调焦调平方法提供技术参考。

个案管理结合聚焦心理模式对胃癌根治术患者胃肠功能、希望水平的影响

目的探讨个案管理结合聚焦心理模式对胃癌根治术患者胃肠功能、希望水平的影响。方法选择2019年1月至2021年6月,收治的80例胃癌根治术患者,将随机分为2组,每组40例,对照组给予常规护理,观察组采用个案管理结合聚焦心理模式进行干预,比较2组患者的干预效果、胃肠功能恢复情况和希望水平。结果2组干预后的自我护理能力实施量表(ESCA)评分高于干预前,观察组高于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。2组干预后的HAMD评分和HAMA评分低于干预前,观察组低于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。观察组的首次排气时间、首次排便时间、肠鸣音恢复时间、进食时间和胃管留置时间等短于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。2组干预后的Herth总分高于干预前,观察组高于对照组;2组干预后的Herth分级分布优于干预前,观察组优于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。观察组的角色功能、社会功能、躯体功能、情绪功能、认知功能等的评分均高于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。观察组的术后并发症(肺部感染、吻合口瘘、粘连性肠梗阻、切口感染)发生率为7.50%低于对照组的30.00%,差异有统计学意义(P<0.05)。结论胃癌根治术患者应用个案管理结合聚焦心理模式进行干预,效果显著。

聚焦解决模式联合精细化管理对老年肌少症患者自尊及正念水平的影响

目的探究聚焦解决模式联合精细化管理对老年肌少症患者自尊及正念水平的影响,为老年肌少症患者的健康管理提供思路。方法276例老年肌少症患者分别接受常规健康管理干预(对照组)和聚焦解决模式联合精细化管理干预(观察组),比较两组患者干预前后的肌肉功能、自尊量表(self-esteem scale,SES)、正念注意觉知量表(mindful attention awareness scale,MAAS)、Barthel指数(BI)评分和依从性。结果与干预前比较,两组患者干预后的肌肉功能和SES、MAAS、BI评分均升高,且观察组高于对照组,差异均有统计学意义(均P<0.05)。观察组的总依从率(95.65%)高于对照组(87.68%),差异有统计学意义(χ^(2)=6.807,P=0.034)。结论聚焦解决模式联合精细化管理可改善老年肌少症患者的肌肉功能,提高患者自尊水平、正念水平、依从性及生活质量。

“互联网+”聚焦解决模式护理对慢性支气管炎患者健康知识认知水平的影响

目的探讨“互联网+”聚焦解决模式护理对慢性支气管炎患者健康知识认知水平的影响。方法将80例慢性支气管炎患者随机分为两组,对照组应用常规护理,观察组实施“互联网+”聚焦解决模式护理。比较两组的自护能力、生活质量、健康知识认知水平评分、护理满意度。结果护理后,观察组ESCA、SF-36及健康知识认知水平评分均高于对照组(P<0.05)。观察组护理满意度为97.50%,高于对照组的77.50%(P<0.05)。结论“互联网+”聚焦解决模式护理在慢性支气管炎患者中的应用效果较好,可提升其自护能力、生活质量、健康知识认知水平及护理满意度,值得推广应用。

基于SRIO总线的光纤通信测试系统设计与实现

针对基于线阵电荷耦合元件(CCD)成像原理的调焦调平系统强实时性、高同步性及高数据率的特点,设计了一种基于串行RapidIO总线协议的光纤通信测试系统。该系统以现场可编程门阵列(FPGA)为控制核心,以光纤为传输介质,通过串行RapidIO总线协议完成对调焦调平系统性能验证过程中的指令控制和图像数据传输。基于双存储器(FIFO)缓冲的SRIO接口设计使得该测试系统具有较强的通用性和实用性。测试结果表明,该系统光纤接口数据传输速率达440 MB/s,能够满足调焦调平系统性能验证对数据传输速率及正确性的需求。

形式聚焦教学时机对难语法点显性与隐性知识的习得效果研究

本研究对比了前分离型、后分离型和融入型形式聚焦教学时机对不同水平英语学习者习得难语法点的显性和隐性知识的效果。三个自然班的初中生被随机分为前分离组、后分离组和融入组接受不同时机的形式聚焦教学,每组学生又被分为高低水平组。学生的显性知识通过错误改正测试测量,隐性知识通过限时语法判断测试测量。结果表明,前分离型对高低水平学习者显性知识的效果更好,而三种形式聚焦教学时机对高低水平学习者隐性知识的效果相当,学习者的显性知识比隐性知识提升的更明显。

针对性护理联合焦点式心理干预对妊娠期糖尿病患者的影响

目的:分析针对性护理联合焦点式心理干预对妊娠期糖尿病患者的影响。方法:选取2021年2月—2023年2月仙游县总医院收治的200例妊娠期糖尿病患者作为研究对象。根据就诊序号单双数将其分为参照组(单数)与研究组(双数),各100例。参照组实施常规护理,研究组实施针对性护理联合焦点式心理干预。比较两组护理前后负性情绪、血糖水平及母婴结局。结果:护理后,研究组焦虑评分、抑郁评分均低于参照组,差异有统计学意义(P<0.05)。护理后,研究组空腹血糖、餐后2 h血糖、糖化血红蛋白水平均低于参照组,差异有统计学意义(P<0.05)。研究组不良母婴结局发生率低于参照组,差异有统计学意义(P<0.05)。结论:采用针对性护理联合焦点式心理干预可显著改善妊娠期糖尿病患者负性情绪,有效控制血糖,有效改善母婴结局。

针对性护理联合焦点式心理护理对妊娠期糖尿病患者血糖指标及母婴结局的影响

目的探讨针对性护理联合焦点式心理护理对妊娠期糖尿病患者血糖指标及母婴结局的影响。方法选取2020年10月至2022年10月睢宁县中医院收治的92例妊娠期糖尿病患者作为研究对象,按照随机数字表法分为参照组和研究组,每组各46例。参照组实施常规护理,研究组实施针对性护理联合焦点式心理护理。比较两组血糖指标、心理情绪、生活希望水平及不良母婴结局发生率。结果护理后,两组血糖指标均低于护理前,且研究组低于参照组(P<0.05)。护理后,两组心理情绪及生活希望水平均优于护理前,且研究组优于参照组(P<0.05)。研究组不良母婴结局总发生率低于参照组(P<0.05)。结论对妊娠期糖尿病患者实施针对性护理联合焦点式心理护理,可消除患者不良情绪,改善血糖水平,提高生活希望水平,有效改善母婴结局。

一种新的图像清晰度评价函数

离焦模糊图像清晰度评价函数是采用数字图像处理技术实现自动调焦的一个关键,需要不断地提高评价函数的准确性和有效性。深入研究了各种图像梯度的分布情况后发现模糊图像小梯度像素数较大,而清晰图像大梯度的像素数则明显比模糊图像的多,因此可以给梯度加一个阈值,去掉梯度小的值保留梯度大的值,这样可以突出清晰图像的的优势,易于准确判断。首次提出了一种用图像梯度加阈值求和作为由于离焦产生的模糊图像的评价函数,建立了上述评价函数的数学模型,并给出了实验结果和分析。与以往的图像灰度方差、梯度和、小波变换等评价函数相比,给出的评价函数无偏性好、单峰性强,信噪比高,计算量小,在焦平面附近具有变化趋势明显和灵敏度高的特点。

数字水准仪的测量原理及测试精度分析

在电子水准仪的3种读数原理(相位法、相关法、几何法)中主要介绍了几何法,结合索佳电子水准仪SDL30M在实验场进行了视距长度测量、调焦质量、标尺前后左右倾斜和遮挡程度试验,并利用已有实验场进行了水准测量的对比实验,分析了上述实验结果,得到了以下几点结论:1)仪器实测精度与标称精度基本相符。2)视距测量误差与视距长度成正比,基本呈线形关系,100 m的视距长度误差一般不会达10 cm。3)调焦质量对观测成果(中丝读数)影响很小,但数据显示时间会相应延迟。4)在2°范围内标尺左右倾斜影响较小,一般在1 mm以内,超过2°误差迅速增大;标尺前后倾斜在2°范围影响较小,读数误差一般在0.2 mm以内,超过2°误差迅速增大。5)遮挡容许程度与距离有关,距离越近,容许遮挡率越低;距离越远,遮挡率越大。6)对某水准网对比测量表明采用该仪器完全可以满足工程二等水准测量要求,而且精度高、速度快。

一种空间相机焦距的自动温度补偿系统

温度因素造成空间相机离焦,使相机的焦面不在最佳摄像范围内,为了实现焦面的自动控制,保证相机的成像质量,提出了一种空间相机焦距的自动温度补偿系统。首先,详细分析了目前相机焦面的补偿策略,针对其缺点和不足提出一种改进方法;其次,介绍了该系统的构成、设计及其工作原理;最后,对其进行了实验验证。实验结果表明:离焦量可以控制在10μm以内,焦面的调整误差不大于1.3μm,温度水平控制满足系统设计要求。提出的空间相机焦距的自动温度补偿系统可以实现自动控制相机温度水平、自动计算相机的离焦量、自动控制相机的焦面,满足相机工作时焦面处于最佳摄像范围内的要求。

一种改进的图像清晰度评价函数

提出了一种基于Prewitt模板的图像清晰度评价函数的改进方法,并给出了实验结果和分析.设计了包括最低阈值、最高阈值与图像清晰度评价函数的归一化的一种改进算法,使得改进的图像清晰度评价函数与原Prewitt评价函数相比较,有很大提高.经过实验结果表明,该算法不仅具有单峰性强、无偏性好、灵敏度高等特点,而且还具有很好的抗噪声性能.

基于流动聚焦结构的微液滴形成机理

基于COMSOL Multiphysics 4.3的两相流模型,通过数值模拟研究了基于流动聚焦结构微通道内液滴形成机理及影响因素。通过水平集方法考虑表面张力的影响,实现对油-水界面的追踪,获得了W/O液滴的形成状态,并对影响微液滴体积大小的关键因素进行了研究。结果表明,微液滴的形成分为液滴头部伸长和液滴颈部断裂两阶段,整个过程中连续相对分散相产生夹流聚焦效应;两相流速及连续相黏度是影响液滴体积大小的关键因素,分散相流速一定的情况下,连续相流速增大,液滴的体积减小;连续相流速一定的情况下,分散相流速增大,液滴的体积增大。连续相和分散相的流速比越大,所生成的液滴体积越小;随着连续相黏度的逐渐增加,所形成液滴体积明显减小。通过对比分析,得出数值仿真分析结果与已有实验结果基本一致,验证了仿真理论分析的正确性。

EBCMOS近贴聚焦结构及电场分布对电子运动轨迹的影响

为获得高分辨率的电子轰击型CMOS(EBCMOS)成像器件,本文就近贴聚焦结构内电场分布对电子运动轨迹的影响进行了研究。设计了不同的EBCMOS结构并得到3种电场分布情况,分别为光电阴极和背面轰击型CMOS(BSBCMOS)之间的等势面不平行、部分平行和彼此平行。根据电磁学理论结合蒙特卡洛模拟方法,分别模拟了每种电场分布情况下的电子运动轨迹。研究结果表明:当设计的电子倍增层表面覆盖一层30 nm的超薄重掺杂层,保持极间电压为4000 V且极间距为1 mm时,光生电子轰击BSB-CMOS表面时扩散直径可减小至30μm。此结构具有电子聚焦作用,有助于实现高分辨率的EBCMOS。同时,进一步研究了光电阴极与BSB-CMOS之间的距离和电压对电子扩散直径的影响。研究发现,近贴间距越小、加速电压越高,相应的电场强度就越高,越有利于电子聚焦。本文工作将为改进电子轰击型CMOS成像器件的分辨率特性提供理论指导。

HIFU治疗区域检测方法研究

提出了一种基于自适应掩模滤波和水平集方法相结合的B超图像分割方法,能较准确地从高强度聚焦超声(HIFU)辐照前后获得的B超图像的减影中检测出治疗区域。对HIFU辐照后的新鲜离体猪肉进行解剖切片,实际损伤情形基本与该方法所得结果相吻合。该方法可以帮助HIFU临床医生客观、准确地监控治疗过程,对提高HIFU疗效有实际意义。

双工件台光刻机中的调平调焦技术

随着光刻机分辨力的提高,其焦深日益缩小。针对如何充分利用有限的焦深完成Si片的高效曝光,对步进扫描光刻机和双工件台光刻机的调平调焦原理进行了介绍,主要包括基于双光栅的检焦测量原理及检焦扫描路径规划,把Si片表面高度信息转化为离焦量和倾斜量等调平数据的算法,以及曝光位置实现调平调焦的伺服控制系统等,并从理论上对两系统的优缺点进行了对比。最后利用一组调平实验结果说明了双工件台系统调平调焦技术的优越性,指明了调平调焦技术的发展方向。

聚焦解决模式认知干预对斑块型银屑病患者负性心理、病耻感和心理弹性水平的影响

目的:观察聚焦解决模式认知干预对斑块型银屑病患者负性心理、病耻感、心理弹性水平和护理满意度的影响。方法:收集新疆医科大学附属中医医院皮肤科90例斑块型银屑病患者作为观察对象,随机分为对照组和观察组各45例,并给予不同护理干预方案。对照组给予常规认知干预,观察组给予聚焦解决模式认知干预。采用焦虑自评量表(SAS)、抑郁自评量表(SDS)评价焦虑、抑郁等负性心理状态,采用贬低-歧视感知量表评价病耻感,采用心理弹性量表(CDRISC)评价心理弹性水平。比较对照组和观察组SAS评分、SDS评分、病耻感得分、CDRISC评分及护理满意度。结果:经过3个月干预,观察组干预后3个月时的SAS评分(t=-11.283,P<0.001)、SDS评分(t=-7.851,P<0.001),病耻感得分(t=-9.242,P<0.001)均低于对照组,观察组CDRISC评分(t=6.793,P<0.001)高于对照组,差异均有统计学意义。护理满意度方面,观察组和对照组总满意度为93.33%,对照组为77.78%,观察组高于对照组,差异均有统计学意义(χ~2=4.413,P<0.05)。结论:聚焦解决模式认知干预在斑块型银屑病患者中应用效果良好,能够减轻患者焦虑、抑郁等负性心理和病耻感,并提高心理弹性水平和护理满意度,临床上值得应用。

基于概念树的主题爬取技术研究

提出了一种新型主题爬取方法。采用概念树构造主题层次图,赋予待爬取URL对象以层次语义信息,按照语义相关性与重要性选择待爬取URL对象,搜索属于特定语义相关主题的重要Web文档的WWW子集。

0.8～1μm分步重复投影光刻机六自由度硅片定位系统设计与计算

介绍用于０．８～１μｍ分步重复投影光刻机的六自由度硅片定位系统。讨论了气足、承片台系统及ＳＴＡＭＰ的设计和计算方法，并给出了设计数据与计算结果。本系统在Ｘ、Ｙ１、Ｙ２三个方向达到了±０．１μｍ（３σ）的重复定位精度、±５０ｎｍ的调焦分辨力和５μｍ／全片的调平精度。

六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究

设计了"H"型六维x y工件台,利用磁悬浮技术将工件台悬浮在x、y导轨上,消除了导轨的摩擦和磨损;直线电机无接触驱动实现了工件台的粗定位;控制不同磁悬浮电磁铁的电流大小,可以实现工件台的微定位以及逐场调平调焦。计算了工件台由于重力弯曲、热膨胀等原因引起结构变形而带来的精度误差,理论上分析证明工件台在x、y方向能满足0.02μm的定位精度要求以及达到0.1μm调焦精度和3.0μrad调平精度的要求。将应用于特征尺寸0.18μm线宽激光光刻机上。