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类金刚石碳膜热稳定性的研究 被引量：2
1
作者 刘正堂 许念坎 +1 位作者 耿东生 郑修麟 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第2期229-232,共4页
研究了退火对类金刚石碳膜结构和性能的影响.结果表明:低于400℃退火对膜的结构、电阻率、硬度无明显影响;高于400℃退火,由于膜中氢原子的逸出,非晶碳将转变为石墨微晶,从而导致电阻率急剧下降;在400～700℃温度范围退火后,膜的硬度仍... 研究了退火对类金刚石碳膜结构和性能的影响.结果表明:低于400℃退火对膜的结构、电阻率、硬度无明显影响;高于400℃退火,由于膜中氢原子的逸出,非晶碳将转变为石墨微晶,从而导致电阻率急剧下降;在400～700℃温度范围退火后,膜的硬度仍无明显变化. 展开更多
关键词 薄膜 类金刚石碳膜 热稳定性
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