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一种提高极值法监控精度的方法
被引量:
8
1
作者
张晓晖
陈清明
+2 位作者
朱伟民
汤炜
杨光
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第5期386-390,共5页
提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法。该监控方法通过改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精确地停镀于其膜厚的设计值。这一方法既可提高淀积规整膜系时的层厚监控精度 ,也可提高淀积非规整膜系时的层厚监控精度。
关键词
薄膜淀积
极值监控法
膜厚监控精度
过正控制量
下载PDF
职称材料
采用透射率极值法监控的薄膜淀积电脑仿真
2
作者
张晓晖
陈清明
+1 位作者
李晓平
朱伟明
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期40-43,共4页
分析了透射率极值监控系统的精度与被监控膜层的光学厚度误差之间的关系 ,推导了在不同情况下薄膜淀积时 ,监控者对于透射率极值点的判定误差和被镀层的光学厚度误差之间的关系式 ,对规整膜系在透射率极值法监控镀膜系统中的淀积结果进...
分析了透射率极值监控系统的精度与被监控膜层的光学厚度误差之间的关系 ,推导了在不同情况下薄膜淀积时 ,监控者对于透射率极值点的判定误差和被镀层的光学厚度误差之间的关系式 ,对规整膜系在透射率极值法监控镀膜系统中的淀积结果进行了电脑仿真。仿真结果与实验结果相吻。
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关键词
薄膜淀积
极值监控法
膜层厚度误差
电脑仿真
原文传递
题名
一种提高极值法监控精度的方法
被引量:
8
1
作者
张晓晖
陈清明
朱伟民
汤炜
杨光
机构
华中科技大学激光技术国家重点实验室
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第5期386-390,共5页
文摘
提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法。该监控方法通过改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精确地停镀于其膜厚的设计值。这一方法既可提高淀积规整膜系时的层厚监控精度 ,也可提高淀积非规整膜系时的层厚监控精度。
关键词
薄膜淀积
极值监控法
膜厚监控精度
过正控制量
Keywords
film deposition the turning point monitoring approach film thickness monitoring precision overshoot
分类号
O484 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
采用透射率极值法监控的薄膜淀积电脑仿真
2
作者
张晓晖
陈清明
李晓平
朱伟明
机构
华中理工大学激光技术国家重点实验室
出处
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期40-43,共4页
文摘
分析了透射率极值监控系统的精度与被监控膜层的光学厚度误差之间的关系 ,推导了在不同情况下薄膜淀积时 ,监控者对于透射率极值点的判定误差和被镀层的光学厚度误差之间的关系式 ,对规整膜系在透射率极值法监控镀膜系统中的淀积结果进行了电脑仿真。仿真结果与实验结果相吻。
关键词
薄膜淀积
极值监控法
膜层厚度误差
电脑仿真
Keywords
thin-
film
deposition
turning
point
monitoring
approach
thickness
error
computer simulation
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TP391.9 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种提高极值法监控精度的方法
张晓晖
陈清明
朱伟民
汤炜
杨光
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2001
8
下载PDF
职称材料
2
采用透射率极值法监控的薄膜淀积电脑仿真
张晓晖
陈清明
李晓平
朱伟明
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
0
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