基于扭转谐振模式3D-AFM的微结构侧壁形貌检测

针对半导体器件微结构侧壁关键尺寸检测需求,设计了一套三维原子力显微镜(3D-AFM)系统.该系统采用针尖末梢为喇叭口形的悬臂梁探针,以扭转谐振模式实现横向轻敲扫描.介绍了该3D-AFM系统的结构组成和工作原理,对系统的横向检测灵敏度进行了标定,获得了喇叭口针尖与样品侧壁横向接近过程中探针扭转振幅的变化曲线.利用该系统对栅格标样侧壁局部形貌进行了线扫描和面扫描,所得轮廓具有较好的重复性,且测量所得形貌特征与常规轻敲模式扫描结果一致,表明本文所述3D-AFM系统及工作模式能够用于微结构侧壁形貌的检测.

一种基于改进型裙摆探针的三维原子力显微技术

针对微纳米结构的真三维形貌无损检测需求,研制了基于裙摆型针尖(Flared tip)的三维原子力显微镜(3D-AFM)。设计了一种高精度扫描平台结构,通过同时移动探针和样品实现快速伺服反馈,并利用组合式纳米定位台来保证位移的线性度和正交性。为了消除因AFM测头移动引起的信号偏差,设计了随动式光杠杆系统用于检测悬臂梁的形变量。此外,提出了一种基于商用裙摆探针的悬臂梁裁剪方法,可减小测量过程中针尖横向受力。将改进型探针安装到3D-AFM系统上,利用自适应矢量逼近扫描策略进行了多种样品的3D测量实验。实验结果表明,样机的垂直方向位移噪声(RMS)优于0.1 nm,高/宽测量重复性(峰峰值)优于2.5 nm。

LNG扩建工程火炬系统改造设计与优化

针对LNG扩建项目,提出了火炬系统(包括管网和火炬头)的改造与设计思路。首先确定新增泄放源,计算扩建后需要的火炬处理能力,再通过火炬头专业计算软件Flaresim校核原火炬头马赫数、热辐射范围、噪音范围、安全间距等是否满足规范要求;对于火炬管网采用Aspen Flare System Analyzer软件进行全厂管网核算,主要包括新增BOG总管的管路尺寸选择、原有管路的尺寸核算。该火炬系统整体设计思路已经在施工图设计中成功采用,可为LNG项目的扩建工程设计提供参考。

多点式地面火炬的安全环保性能初探

介绍了多点式地面火炬的特点,对其安全、环保性能进行了系统分析。多点式地面火炬采用分级控制、多点燃烧、蒸汽消烟、氮气补压实现了火炬气的安全泄放和环保处理,在安全、环保性能方面要优于高架火炬。同时,指出了多点式地面火炬存在的问题,如长明灯燃料气消耗量大,国内缺乏相关的标准规范。亟需制定多点式地面火炬的应用范围、施工验收标准、性能考核指标、突发事故的应急预案。

火炬的优化设计

结合某厂40×104t／a催化裂化装置所设火炬，对火炬及火炬头的优化设计进行了初步探讨，提出了设计火炬中应注意的主要问题，供有关设计人员参考．

超大型FPSO火炬塔及船体基座设计

文章介绍了某深海超大型FPSO矩形火炬塔及船体基座的设计成果。该FPSO因预留一座上部模块总体布置需要,在火炬塔下增加分液包模块,将火炬塔主腿柱的布置由三角形改为矩形,优化了火炬分液罐的工艺设计,降低了分液罐质量。火炬热辐射和可燃气体爆炸分析为火炬塔结构设计提供了基础数据。通过分析公司企业标准对火炬头海上维修吊装和FPSO浮态的要求,优化了火炬头维修吊架系统、结构防风激振动和防火保护设计。阐述了火炬塔结构运输和吊装分析,介绍了公司企业标准对火炬塔船体基座的要求。通过设计提高了拖航工况结构的许用应力,并提出FPSO拖航监测及结构检验的要求,保证了火炬塔船体基座的安全。

第七代钻井船火炬塔高度模拟计算

利用Flaresim软件,综合考虑第七代钻井船工艺设计条件、热辐射、风速、有害气体落地质量浓度(CO2、CO和NOx)等因素的影响,确定火炬塔的合理高度,实际应用效果良好。