数控平旋盘自动更换软件的开发与应用

针对数控平旋盘非1∶1传动比的手动更换弊端,从平旋盘的结构和更换要求入手,以Simens840D数控系统为例,深入分析数控系统对机床轴的控制过程,提出采用第二传动比解决平旋盘速度同步问题。提出采用无实际驱动器控制的模拟轴,实现平旋盘实际位置的保持记忆,解决平旋盘自动交换的关键技术。通过编制NC宏程序,实现数控平旋盘的一键自动更换的开发。该自动更换软件开发,适用于具有任意传动比平旋盘,并且使工件的加工编程以及对平旋盘的控制变得相对简单,通过在大型落地镗数控机床上的应用,节省了辅助时间,提高了加工效率。

扇形轴承瓦块平面度保证的加工方法研究

二氧化碳压缩机及合成气压缩机在机组运转过程中,时常由于推力瓦温度高导致压缩机不得不降负荷运行,通过系统分析发现瓦块工作面的制造精度与瓦温存在直接关联。推力瓦块为扇形结构,加工制造工艺流程为整圆加工后按角度均匀切开,最后需要在瓦块端面通过冲死的方法组装销钉,如此一来便造成了瓦块推力面的变形出现。文章重点介绍了一种应用磁盘辅助加工的工艺方法,解决瓦块加工变形问题。

机床功能部件数控——平旋盘

介绍数控平旋盘及其发展,阐述通过改进后的设有中间过渡套数控平旋盘的结构特点。探索进一步提高数控平旋盘的定位精度的方法。

一种快速平轴端面、倒角的车加工方法

通过改制车夹具、刀具等,提出一种轴类零件平端面和倒角的快速加工方法,并以实例证实。

一种步进扫描投影光刻机承片台不平度检测新技术

提出一种步进扫描投影光刻机承片台不平度检测新技术。在晶圆与承片台存在不同偏移量时,利用线性差分传感器在线测量晶圆上不同点的局部高度;通过建立临时边界条件,以递推法消除晶圆面形影响,并逐行计算出承片台的相对不平度;通过逐行计算的结果递推相邻行之间的高度差,并将该高度差叠加到每一行,以消除临时边界条件的限制,得到处于同一高度上的承片台不平度;将计算的结果作为初始值,根据最小二乘原理,以邻近的四个测量点作为参考,逐步逼近得到承片台的真实不平度。计算机仿真结果验证了该检测方法的正确性,计算结果逐步收敛并逼近真实值.实验结果表明,该方法的计算结果较好地表示了承片台的真实不平度,重复精度优于0.3 nm;同时该方法也可用于晶圆表面面形的测量。