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激光轴向偏焦法平整化CVD金刚石膜 被引量:1
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作者 严垒 马志斌 +2 位作者 张璋 邓煜恒 王兴立 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期1916-1920,共5页
利用Nd:YAG型金刚石精密激光切割机,采用激光轴向偏焦法对化学气相沉积(CVD)法制备的金刚石膜表面进行扫描式平整化处理,利用扫描电子显微镜(SEM)、粗糙度仪和金相显微镜对平整化后的金刚石表面进行表征,研究了激光充电电压和焦点位置... 利用Nd:YAG型金刚石精密激光切割机,采用激光轴向偏焦法对化学气相沉积(CVD)法制备的金刚石膜表面进行扫描式平整化处理,利用扫描电子显微镜(SEM)、粗糙度仪和金相显微镜对平整化后的金刚石表面进行表征,研究了激光充电电压和焦点位置对扫描凹槽宽度和深度的影响,以及扫描间距对平整化效果的影响。研究结果表明:扫描凹槽宽度随激光充电电压的升高而增大;凹槽深度随激光充电电压的升高而增大,随偏焦量的增大而增大。激光轴向偏焦法对CVD金刚石膜进行平整化处理后,其粗糙度显著减小,利用氢等离子体对其表面进行刻蚀处理,能够有效去除表层石墨,从而达到理想的平整化效果。 展开更多
关键词 激光 轴向偏焦法 平整化 CVD金刚石膜
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两种金刚石碳膜的制备及其场发射特性研究 被引量:1
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作者 高金海 张洁 +1 位作者 李成刚 张兵临 《电子器件》 CAS 北大核心 2020年第4期720-723,共4页
对相同的衬底进行不同的处理后,放入微薄等离子体腔中,在不同的条件下制备出纯平金刚石碳膜和球状金刚石聚晶颗粒碳膜。通过扫描电镜、拉曼光谱、X射线分析碳膜的形貌与结构,利用场发射二级结构研究两种金刚石碳膜的场发射性能。简单分... 对相同的衬底进行不同的处理后,放入微薄等离子体腔中,在不同的条件下制备出纯平金刚石碳膜和球状金刚石聚晶颗粒碳膜。通过扫描电镜、拉曼光谱、X射线分析碳膜的形貌与结构,利用场发射二级结构研究两种金刚石碳膜的场发射性能。简单分析了不同碳膜的成因和场发射性能。 展开更多
关键词 微波等离子体化学气相沉积 场致电子发射 纯平金刚石碳膜 球状金刚石聚晶颗粒碳膜
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纳米金刚石薄膜的制备及场发射研究进展 被引量:3
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作者 何学好 马会中 +1 位作者 王峰 张兰 《光盘技术》 2008年第4期50-51,共2页
纳米金刚石薄膜因具有纳米材料和金刚石的双重性质且易于制备,作为场发射材料在平板显示领域拥有潜在的应用价值,而引起人们的极大兴趣。本文对近年来国内外有关纳米金刚石薄膜的制备、场发射的研究现状进行了综述。
关键词 纳米金刚石薄膜 平板显示器件 场发射 电子亲和势
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