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浮动电极型单向声表面波驱动器的设计与制造(英文)
被引量:
1
1
作者
张俊峰
李以贵
惠春
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期1300-1305,共6页
考虑声表面波驱动器直接驱动工作物体,能量损失小,传动误差小,且尺寸小,噪声低,抗电磁干扰等特点,基于MEMS技术并采用在Li NbO3基底上加工微型电极的方式制作了一种声表面波微驱动器。为了更加有效地控制驱动方向,提出了一种新型叉指结...
考虑声表面波驱动器直接驱动工作物体,能量损失小,传动误差小,且尺寸小,噪声低,抗电磁干扰等特点,基于MEMS技术并采用在Li NbO3基底上加工微型电极的方式制作了一种声表面波微驱动器。为了更加有效地控制驱动方向,提出了一种新型叉指结构,即浮动电极型单向换能器,然后利用ANSYS软件,对声表面波换能器进行了优化设计和分析,制作出了孔径尺寸为5mm,电极厚度为0.8μm,指宽为6.7μm,周期为80μm的浮动电极型单向换能器。该声表面波驱动器比以往的驱动器具有更高的谐振频率(接近50MHz)和更有效的方向可控性,从而有助于微光学控制系统的进一步微型化和可控化。
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关键词
声表面波驱动器
微机电系统
浮动电极型单向换能器
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职称材料
基于声表面波驱动器的液体单方向驱动
被引量:
1
2
作者
黄远
李以贵
+3 位作者
颜平
王欢
李俊衡
杉山进
《微纳电子技术》
北大核心
2017年第1期26-30,52,共6页
设计了一种浮动电极型单向换能器(FEUDT)结构,用于激发单向声表面波(SAW),从而实现液体的单向驱动。通过对FEUDT结构模型的阻抗分析与SAW传播分析,获得了SAW驱动器的谐振频率、最佳驱动频率和最优指条宽度。利用剥离工艺,在128°旋...
设计了一种浮动电极型单向换能器(FEUDT)结构,用于激发单向声表面波(SAW),从而实现液体的单向驱动。通过对FEUDT结构模型的阻抗分析与SAW传播分析,获得了SAW驱动器的谐振频率、最佳驱动频率和最优指条宽度。利用剥离工艺,在128°旋转Y切向X方向传播的铌酸锂基板上,制作了周期为80μm、指条对数为40对、指条金属层厚度为1μm、指条宽度为7.3μm的FEUDT型SAW驱动器。搭建了SAW驱动器的驱动系统,实现了液体在器件表面上单向驱动。实验结果表明:FEUDT型SAW驱动器在驱动功率为4 W、驱动频率为48.8 MHz的电信号激励下,液滴在SAW驱动器表面上的驱动速度可达50 mm/s;在驱动功率为6.2 W、驱动频率为48.8 MHz的电信号激励下,液体在微流道中的驱动速度约为20 mm/s。
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关键词
浮动电极型单向换能器(
feudt
)
单向声表面波
阻抗分析
传播分析
剥离工艺
单向驱动
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职称材料
瑞利型SAW气体传感器的设计与分析
被引量:
1
3
作者
翟佳鑫
《科技创新与应用》
2019年第4期82-83,共2页
文章利用有限元软件设计了两种声表面波(SAW)气体传感器,证实了双向叉指换能器(IDT)和浮动电极单向换能器(FEUDT)结构激励的SAW是瑞利波;用聚异丁烯(PIB)作为敏感膜材料,对两种传感器吸收二氯甲烷(DCM)的灵敏度进行比较,发现具有FEUDT...
文章利用有限元软件设计了两种声表面波(SAW)气体传感器,证实了双向叉指换能器(IDT)和浮动电极单向换能器(FEUDT)结构激励的SAW是瑞利波;用聚异丁烯(PIB)作为敏感膜材料,对两种传感器吸收二氯甲烷(DCM)的灵敏度进行比较,发现具有FEUDT结构的SAW气体传感器灵敏度较高。
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关键词
声表面波(SAW)
气体传感器
浮动电极单向换能器(
feudt
)
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职称材料
题名
浮动电极型单向声表面波驱动器的设计与制造(英文)
被引量:
1
1
作者
张俊峰
李以贵
惠春
机构
上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室
上海交通大学生命科学技术研究院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期1300-1305,共6页
基金
Supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No .60777016)
文摘
考虑声表面波驱动器直接驱动工作物体,能量损失小,传动误差小,且尺寸小,噪声低,抗电磁干扰等特点,基于MEMS技术并采用在Li NbO3基底上加工微型电极的方式制作了一种声表面波微驱动器。为了更加有效地控制驱动方向,提出了一种新型叉指结构,即浮动电极型单向换能器,然后利用ANSYS软件,对声表面波换能器进行了优化设计和分析,制作出了孔径尺寸为5mm,电极厚度为0.8μm,指宽为6.7μm,周期为80μm的浮动电极型单向换能器。该声表面波驱动器比以往的驱动器具有更高的谐振频率(接近50MHz)和更有效的方向可控性,从而有助于微光学控制系统的进一步微型化和可控化。
关键词
声表面波驱动器
微机电系统
浮动电极型单向换能器
Keywords
Surface Acoustic Wave(SAW) actuator
MEMS
floating
electrode
Unidirectional
transducer
(
feudt
)
分类号
TB51 [理学—声学]
TM384 [电气工程—电机]
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职称材料
题名
基于声表面波驱动器的液体单方向驱动
被引量:
1
2
作者
黄远
李以贵
颜平
王欢
李俊衡
杉山进
机构
上海应用技术大学理学院
日本立命馆大学微系统系
出处
《微纳电子技术》
北大核心
2017年第1期26-30,52,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(51405303)
上海应用技术大学协同创新平台项目(3921NH166019)
上海应用技术大学毕业设计重点项目(33110T165029)
文摘
设计了一种浮动电极型单向换能器(FEUDT)结构,用于激发单向声表面波(SAW),从而实现液体的单向驱动。通过对FEUDT结构模型的阻抗分析与SAW传播分析,获得了SAW驱动器的谐振频率、最佳驱动频率和最优指条宽度。利用剥离工艺,在128°旋转Y切向X方向传播的铌酸锂基板上,制作了周期为80μm、指条对数为40对、指条金属层厚度为1μm、指条宽度为7.3μm的FEUDT型SAW驱动器。搭建了SAW驱动器的驱动系统,实现了液体在器件表面上单向驱动。实验结果表明:FEUDT型SAW驱动器在驱动功率为4 W、驱动频率为48.8 MHz的电信号激励下,液滴在SAW驱动器表面上的驱动速度可达50 mm/s;在驱动功率为6.2 W、驱动频率为48.8 MHz的电信号激励下,液体在微流道中的驱动速度约为20 mm/s。
关键词
浮动电极型单向换能器(
feudt
)
单向声表面波
阻抗分析
传播分析
剥离工艺
单向驱动
Keywords
floating
electrode
type unidirectional
transducer
(
feudt
)
unidirectional surface acoustic wave
impedance analysis
propagation analysis
lift-off process
unidirectional actuation
分类号
TB51 [理学—声学]
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职称材料
题名
瑞利型SAW气体传感器的设计与分析
被引量:
1
3
作者
翟佳鑫
机构
长春理工大学
出处
《科技创新与应用》
2019年第4期82-83,共2页
文摘
文章利用有限元软件设计了两种声表面波(SAW)气体传感器,证实了双向叉指换能器(IDT)和浮动电极单向换能器(FEUDT)结构激励的SAW是瑞利波;用聚异丁烯(PIB)作为敏感膜材料,对两种传感器吸收二氯甲烷(DCM)的灵敏度进行比较,发现具有FEUDT结构的SAW气体传感器灵敏度较高。
关键词
声表面波(SAW)
气体传感器
浮动电极单向换能器(
feudt
)
Keywords
surface acoustic wave(SAW)
gas sensor
floating
electrode
uni-directional
transducer
(
feudt
)
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
浮动电极型单向声表面波驱动器的设计与制造(英文)
张俊峰
李以贵
惠春
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
1
下载PDF
职称材料
2
基于声表面波驱动器的液体单方向驱动
黄远
李以贵
颜平
王欢
李俊衡
杉山进
《微纳电子技术》
北大核心
2017
1
下载PDF
职称材料
3
瑞利型SAW气体传感器的设计与分析
翟佳鑫
《科技创新与应用》
2019
1
下载PDF
职称材料
已选择
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