气流式加速度传感器的敏感机理

介绍了在研制气流式加速度传感器过程中，为对气流式加速度传感器进行建模，作者对气流式加速度传感器的工作机理进行了理论性探讨。在分析过程中以流体力学、传热学和惯性理论为基础并结合实验结果，建立了适合于气流式加速度传感器的气体运动方程和能量方程。同时还讨论了热线测量加速度的方法及根据实验分析了输入加速度对腔体内温度及传感器输出电压的影响，从而为进一步研究一系列气流式传感器的工作机理提供了方法。

影响气流式加速度传感器性能的因素

影响气流式传感器性能的因素有工艺结构设计、检测电路的设计等，作者用理论和实验的方法对其进行了分析和研究，结果证明选择合理的工艺结构、适当的电源电压，可提高气流式加速度传感器的性能。

基于微硅热丝的热流式加速度传感器

微加速度传感器由微压电泵驱动的连续循环密闭气流流路、硅热丝传感器以及惠斯登电桥测量电路三部分组成。利用硅热丝可以检测射流气体偏转引起的电阻变化,并通过惠斯登电桥电路测量出对应的加速度。基于硅热阻效应原理和微纳加工技术,设计和制备了一种成本低、体积小、寿命长、耐冲击和振动的热流式微加速度传感器。利用ANSYS软件进行仿真,分析了连续循环密闭气流的流速分布图。基于光刻、硅刻蚀和键合等微纳加工技术,在绝缘衬底上的硅（SOI）基板上制备了基于微硅热丝的加速度传感器。经测试,硅丝（长400μm×宽4μm×高2μm）在室温下电阻为45kΩ,电阻温度系数（TCR）为4.6×10^-3/℃,传感器X和Y两个方向上的灵敏度为8mV/g。使用该方法制备的热流式传感器具有体积小、耐冲击和灵敏度高等优势。