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Technical Challenges and Progress in Fluidized Bed Chemical Vapor Deposition of Polysilicon 被引量:12
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作者 李建隆 陈光辉 +2 位作者 张攀 王伟文 段继海 《Chinese Journal of Chemical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第5期747-753,共7页
Various methods for production of polysilicon have been proposed for lowering the production cost andenergy consumption, and enhancing productivity, which are critical for industrial applications. The fluidized bed ch... Various methods for production of polysilicon have been proposed for lowering the production cost andenergy consumption, and enhancing productivity, which are critical for industrial applications. The fluidized bed chemical vapor deposition (FBCVD) method is a most promising alternative to conventional ones, but the homogeneous reaction of silane in FBCVD results in unwanted formation of fines, which will affect the product qualityand output. There are some other problems, such as heating degeneration due to undesired polysilicon deposition on the walls of the reactor and the heater. This article mainly reviews the technological development on FBCVD of polycrystalline silicon and the research status for solving the above problems. It also identifies a number of challenges to tackle and principles should be followed in the design ofa FBCVD reactor. 展开更多
关键词 fluidized bed chemical vapor deposition fine particles homogeneous reaction
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Deposition of thin TiO_(2)films on fluorophlogopite particle surface by CVD in fluidized bed reactor to prepare silver pearlescent pigments
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作者 Ming Liu Guoqiang Shao +2 位作者 Pengpeng Lv Jun Li Qingshan Zhu 《Particuology》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第6期88-98,共11页
Two critical parameters:Glossiness and chromaticity space of pearlescent pigments were evaluated based on crystallinity and grain size.Both the roughness and the vertical distance evolution along the surface of deposi... Two critical parameters:Glossiness and chromaticity space of pearlescent pigments were evaluated based on crystallinity and grain size.Both the roughness and the vertical distance evolution along the surface of deposited TiO_(2)film are affected by the crystallinity.The optimal crystallinity of TiO_(2)was deposited at the temperature of 350℃.The TiCl4 concentration effectively changed the grain size.However,the high flow rate of fluidizing gas and optimal gas–solid ratio(<0.11 m^(3)/(kg h))restricted the change of TiCl_(4)concentrations in fluidized bed reactor.In this case,the grain size of the deposited TiO_(2)film was about 55 nm.Depending on the grain size,the color of pearlescent pigments was adjusted by controlling the film thickness based on TiO_(2)concentration.Finally,the silver pearlescent pigment with high glossiness was prepared by chemical vapor deposition method in a fluidized bed reactor. 展开更多
关键词 fluidized bed chemical vapor deposition TiO_(2)film deposition Pearlescent pigment Free powder restrain Crystal growth
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Production of single-walled carbon nanotubes from methane over Co-Mo/MgO nanocatalyst:A comparative study of fixed and fluidized bed reactors 被引量:4
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作者 Alimorad Rashidi Roghayeh Lotfi +1 位作者 Ehsaneh Fakhrmosavi Masoud Zare 《Journal of Natural Gas Chemistry》 EI CAS CSCD 2011年第4期372-376,共5页
In this study,the performances of fixed and fluidized bed reactors in the production of single-walled carbon nanotubes(SWNTs)have been investigated.In both reactors,single-walled carbon nanotubes were grown by catal... In this study,the performances of fixed and fluidized bed reactors in the production of single-walled carbon nanotubes(SWNTs)have been investigated.In both reactors,single-walled carbon nanotubes were grown by catalytic chemical vapor decomposition(CCVD)of methane over Co-Mo/MgO nanocatalyst under two different operating conditions.The synthesized samples were characterized by TEM,TGA and Raman spectroscopy.It is found that the performance of a fluidized bed in the synthesis of carbon nanotubes is much better than that of a fixed bed.The quality of carbon nanotubes obtained from the fluidized bed was significantly higher than that from the fixed bed and the former one with the ID/IG ratio of 0.11 while the latter one with the ID/IG ratio of 0.71.Also,the yield of SWNTs in the fluidized bed was 92 wt%,while it was 78 wt%in the fixed bed.These advantages of fluidized bed reactors for the synthesis of carbon nanotubes can be attributed to more available space for the growth of carbon nanotubes and more uniform temperature and concentration profiles. 展开更多
关键词 single-walled carbon nanotubes chemical vapor deposition fixed bed reactor fluidized bed reactor
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Highly selective synthesis of single-walled carbon nanotubes from methane in a coupled Downer-turbulent fluidized-bed reactor 被引量:1
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作者 Song Yun Weizhong Qian +5 位作者 Chaojie Cui Yuntao Yu Chao Zheng Yi Liu Qiang Zhang Fei Wei 《Journal of Energy Chemistry》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第4期567-572,共6页
For the synthesis of single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) from CH4 over a Fe/MgO catalyst, we proposed a coupled Downer-turbulent fluidized-bed (TFB) reactor to enhance the selectivity and yield (or production... For the synthesis of single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) from CH4 over a Fe/MgO catalyst, we proposed a coupled Downer-turbulent fluidized-bed (TFB) reactor to enhance the selectivity and yield (or production rate) of SWCNTs. By controlling a very short catalyst residence time (1-3 s) in the Downer, only part of Fe oxides can be reduced to form Fe nano particles (NPs) available for the growth of SWCNTs. The percentage of unreduced Fe oxides increased and the yield of SWCNTs decreased accordingly with the increase of catalyst feeding rate in Downer. SWCNTs were preferentially grown on the catalyst surface and inhibited the sintering of the Fe crystallites which would be formed thereafter in the downstream TFB, evidenced by TEM, Raman and TGA. The coupled Downer-turbulent fluidized-bed reactor technology allowed higher selectivity and higher production rate of SWCNTs as compared to TFB alone. 展开更多
关键词 carbon nanotube chemical vapor deposition METHANE fluidized-bed catalyst
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PARTICLE COATING BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION IN A FLUIDIZED BED REACTOR 被引量:1
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作者 Gregor Czok Joachim Werther 《China Particuology》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第1期105-112,共8页
Aluminum coatings were created onto glass beads by chemical vapor deposition in a fluidized bed reactor at different temperatures. Nitrogen was enriched with Triisobutylaluminum (TIBA) vapor and the latter was thermal... Aluminum coatings were created onto glass beads by chemical vapor deposition in a fluidized bed reactor at different temperatures. Nitrogen was enriched with Triisobutylaluminum (TIBA) vapor and the latter was thermally decomposed inside the fluidized bed to deposit the elemental aluminum. To ensure homogeneous coating on the bed material, the fluidizing conditions necessary to avoid agglomeration were investigated for a broad range of temperatures. The deposition reaction was modeled on the basis of a discrete particle simulation to gain insight into homogeneity and thickness of the coating throughout the bed material. In particular, the take-up of aluminum was traced for selected particles that exhibited a large mass of deposited aluminum. 展开更多
关键词 chemical vapor deposition fluidized bed reactor particle coating
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流态床CVD法纳米氮化硅粉体的制备 被引量:11
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作者 王勇 沃银花 +2 位作者 姚奎鸿 祝洪良 王耐艳 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期41-45,共5页
采用硅烷和氨气在立式双温区流态床中化学气相沉积,制备了形状规则的球状无定形氮化硅纳米粉体,并利用X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)和傅立叶红外(FTIR)研究了该纳米粉体的形貌、成分和物相.讨论了该流态床法制备纳米氮化硅的关键因素... 采用硅烷和氨气在立式双温区流态床中化学气相沉积,制备了形状规则的球状无定形氮化硅纳米粉体,并利用X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)和傅立叶红外(FTIR)研究了该纳米粉体的形貌、成分和物相.讨论了该流态床法制备纳米氮化硅的关键因素,并得到流态床中制备氮化硅纳米粉体的优化工艺参数. 展开更多
关键词 氮化硅(SIN) 硅烷 流态床 化学气相沉积(CVD)
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天然石墨球-热解炭核壳结构的制备及电化学性能研究(英文) 被引量:29
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作者 刘树和 英哲 +4 位作者 王作明 李峰 白朔 闻雷 成会明 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期30-36,共7页
通过化学气相沉积的方法,以乙炔为碳源,天然石墨球为原料,采用不同流化床CVD工艺和不同的反应时间,制备出具有光滑表面或颗粒状热解炭包覆层的核-壳构型改性天然石墨球。改性天然石墨球的核体是具有高度有序石墨结构的天然石墨,而壳体... 通过化学气相沉积的方法,以乙炔为碳源,天然石墨球为原料,采用不同流化床CVD工艺和不同的反应时间,制备出具有光滑表面或颗粒状热解炭包覆层的核-壳构型改性天然石墨球。改性天然石墨球的核体是具有高度有序石墨结构的天然石墨,而壳体是无序结构的热解炭。与天然石墨球相比,具有核-壳结构的改性天然石墨球的首次库仑效率和循环性能都得到显著改善。尤其是具有颗粒状热解炭包覆层的改性石墨具有优异的循环性能,在41次循环后其放电容量仍为首次容量的84%,这一改善归因于表面沉积的颗粒状热解炭有效地降低了改性天然石墨颗粒之间的接触电阻和增加了接触面积。 展开更多
关键词 流化床化学气相沉积 核-壳结构 热解炭 改性天然石墨 锂离子二次电池
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流化床CVD法原位合成CNTs-Ni-TiO_2及其光催化性能 被引量:9
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作者 陆金东 陈爱平 +3 位作者 马磊 何洪波 倪道克 李春忠 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期1070-1075,共6页
采用柠檬酸修饰溶胶-凝胶法制备NiO-TiO2催化剂,然后于流化床反应器中直接在NiO-TiO2表面原位生长多壁碳纳米管,制备出CNTs-Ni-TiO2复合光催化剂。采用XRD、SEM、TG、BET、PL荧光光谱等方法对制备的样品进行了表征,以亚甲基蓝降解为模... 采用柠檬酸修饰溶胶-凝胶法制备NiO-TiO2催化剂,然后于流化床反应器中直接在NiO-TiO2表面原位生长多壁碳纳米管,制备出CNTs-Ni-TiO2复合光催化剂。采用XRD、SEM、TG、BET、PL荧光光谱等方法对制备的样品进行了表征,以亚甲基蓝降解为模型反应,考察了复合催化剂在紫外线下的光催化性能。结果表明,在NiO含量为5%的NiO-TiO2催化剂上生长CNTs后得到的CNTs-Ni-TiO2复合材料具有较高的光催化活性。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 流化床 CNTS 光催化 TiO2 化学气相沉积
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流化床-化学气相沉积技术的应用及研究进展 被引量:19
9
作者 刘荣正 刘马林 +1 位作者 邵友林 刘兵 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1263-1272,共10页
流化床-化学气相沉积(FB-CVD)技术是一种多学科交叉的材料制备技术,兼有流化床传热传质性能良好以及化学气相沉积均匀、产物单一等优点,在工业生产中有着广泛的应用,但因其属于交叉学科,散见于各种研究,没有进行专门的进展评述。本文拟... 流化床-化学气相沉积(FB-CVD)技术是一种多学科交叉的材料制备技术,兼有流化床传热传质性能良好以及化学气相沉积均匀、产物单一等优点,在工业生产中有着广泛的应用,但因其属于交叉学科,散见于各种研究,没有进行专门的进展评述。本文拟对FB-CVD的工业应用进行专题综述,分析其发展和研究趋势。首先探讨了FB-CVD的基本原理,分别综述了其在颗粒包覆、一维纳米材料、多晶硅制备、颗粒表面改性及粉体制备等方面的应用,介绍了FB-CVD的过程模拟及反应器结构优化方面的研究进展。通过以上讨论,梳理了FB-CVD研究的科学内涵。可以看出,该过程具有明显的多尺度特征,即材料制备的微观层次、颗粒流化均匀性的介观层次以及反应器结构设计的宏观尺度。总结得出:FB-CVD技术的未来发展取决于3个尺度的耦合分析,其研究重点也应关注尺度间的相互影响效应,如材料制备的均相成核、非均相成核和颗粒流化及运动规律的相互耦合等。 展开更多
关键词 流化床-化学气相沉积 材料制备 过程分析 多尺度耦合
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流态化多晶硅化学气相沉积过程的数值模拟 被引量:10
10
作者 张攀 王伟文 +1 位作者 陈光辉 李建隆 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期942-949,共8页
利用基于欧拉-欧拉两相流模型,建立硅烷热分解的均相和非均相反应模型,模拟了二维流态化的多晶硅化学气相沉积过程,以及硅烷、硅烯和硅沉积速率在反应器中的分布规律。模拟结果表明多晶硅的沉积主要发生在流化床中的密相区及气泡的周围... 利用基于欧拉-欧拉两相流模型,建立硅烷热分解的均相和非均相反应模型,模拟了二维流态化的多晶硅化学气相沉积过程,以及硅烷、硅烯和硅沉积速率在反应器中的分布规律。模拟结果表明多晶硅的沉积主要发生在流化床中的密相区及气泡的周围,浓度相对较小的硅烯非均相反应对多晶硅沉积的贡献约为硅烷的10%。分析了硅烷入口浓度和反应温度对硅沉积速率及转化率的影响,模拟的硅沉积速率与文献中的实验数据做了比较。 展开更多
关键词 流态化 化学气相沉积 数值分析 多晶硅
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制备致密热解炭层的新工艺研究 被引量:7
11
作者 朱钧国 张秉忠 +3 位作者 杨冰 彭新立 梁彤翔 徐小平 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 1998年第2期1-4,共4页
致密热解炭在工业各个技术部门正在得到广泛的应用。本文介绍采用丙烯(C3H6)和乙炔(C2H2)的混合气体制备致密热解炭层的新工艺,以消除只用丙烯作为反应气体时产生的热效应问题,讨论了沉积温度、反应气体浓度对致密热解炭... 致密热解炭在工业各个技术部门正在得到广泛的应用。本文介绍采用丙烯(C3H6)和乙炔(C2H2)的混合气体制备致密热解炭层的新工艺,以消除只用丙烯作为反应气体时产生的热效应问题,讨论了沉积温度、反应气体浓度对致密热解炭层性能的影响。 展开更多
关键词 致密热解 炭层 混合气体 热效应 气相沉积 工艺
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10MW高温气冷堆包覆燃料颗粒的研制 被引量:8
12
作者 朱钧国 杨冰 +5 位作者 张秉忠 邵友林 黄国礼 梁彤翔 彭新立 周寅甲 《核动力工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期76-81,共6页
我国10MW高温气冷堆采用全陶瓷型包覆颗粒球形燃料元件。TRISO型包覆燃料颗粒由燃料核芯、疏松热解碳层、内致密热解碳层、碳化硅层和外致密热解碳层组成。采用丙烯和乙炔混合气体制备致密热解碳层以及四层连续包覆的新工艺,开展生产工... 我国10MW高温气冷堆采用全陶瓷型包覆颗粒球形燃料元件。TRISO型包覆燃料颗粒由燃料核芯、疏松热解碳层、内致密热解碳层、碳化硅层和外致密热解碳层组成。采用丙烯和乙炔混合气体制备致密热解碳层以及四层连续包覆的新工艺,开展生产工艺条件试验,系统地研究了生产工艺和性能之间的关系,摸索出最佳生产工艺条件。用化学气相沉积方法在150mm流化床沉积炉系统中批量生产出TRISO型包覆燃料颗粒。用扫描电镜观察分析了包覆燃料颗粒的微观结构,包覆燃料颗粒的制造破损率为3.4×10-6,冷态性能达到我国10MW高温气冷堆设计要求。包覆燃料颗粒辐照考验结果(放射性裂变产物释放率R/B为1×10-6左右)表明,包覆燃料颗粒的质量可以满足10MW高温气冷堆安全运行的要求。 展开更多
关键词 高温气冷堆 包覆燃料颗粒 流化床 化学气相沉积 燃料元件 制备
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包覆燃料颗粒及应用 被引量:4
13
作者 邵友林 朱钧国 +1 位作者 杨冰 张秉忠 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第B07期117-121,共5页
介绍了包覆燃料颗粒技术及包覆燃料颗粒的结构和制备过程,探讨了包覆燃料颗粒及其技术的潜在应用方向。
关键词 包覆燃料颗粒 流化床化学气相沉积 高温气冷堆 轻水堆 流化床反应堆
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流化床气相沉积法纳米修饰粉煤灰及其早期水化特征 被引量:5
14
作者 朱洪波 吴凯凡 +2 位作者 李晨 成轶杰 闫美珠 《建筑材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期229-236,共8页
分别采用NaOH和Na2SO4饱和溶液为改性材料,利用流化床气相沉积(FBR—VD)方法对粉煤灰(FA)颗粒进行表面修饰.通过水泥净浆和砂浆试验,测试分析FBR—VD方法对FA火山灰活性、水泥净浆需水比和砂浆流动度的影响;通过水化热试验考察... 分别采用NaOH和Na2SO4饱和溶液为改性材料,利用流化床气相沉积(FBR—VD)方法对粉煤灰(FA)颗粒进行表面修饰.通过水泥净浆和砂浆试验,测试分析FBR—VD方法对FA火山灰活性、水泥净浆需水比和砂浆流动度的影响;通过水化热试验考察不同改性方法对水泥净浆、砂浆早期水化程度的影响;通过扫描电镜及能谱分析(SEM—EDS)研究不同改性材料对粉煤灰颗粒的修饰效果及其火山灰反应机理.结果表明:FBR—VD方法能够将改性材料的纳米微粒修饰于FA表面,相比直接掺加改性材料,经FBR—VD方法修饰的FA掺入水泥后,其净浆、砂浆早期活性指数提高59/6~10%;水化热测试结果印证了水泥净浆强度的变化规律,NaOH主要通过促进水泥的水化产物聚集在FA颗粒表面来提高其与水泥石结构的结合力,Na2SO4则通过锚固于FA表面的晶体,增加其与周围水泥石结构的摩擦力,同时促进水泥的水化并吸附较多的水化产物,即通过物理与化学的双重作用来提高其火山灰活性. 展开更多
关键词 流化床气相沉积 粉煤灰 火山灰活性 纳米
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基于甲烷化反应的催化剂颗粒设计与过程强化 被引量:8
15
作者 李军 朱庆山 李洪钟 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期2773-2783,共11页
甲烷化反应过程的主要问题是'烧结'和'积炭'。基于甲烷化反应的强放热、减分子特性和对反应机理的认识,从催化剂与反应器的匹配性角度,论述了当前的主要甲烷化工艺、甲烷化催化剂、甲烷化反应及过程强化方法。流化床技... 甲烷化反应过程的主要问题是'烧结'和'积炭'。基于甲烷化反应的强放热、减分子特性和对反应机理的认识,从催化剂与反应器的匹配性角度,论述了当前的主要甲烷化工艺、甲烷化催化剂、甲烷化反应及过程强化方法。流化床技术可有效防止催化剂的积炭和烧结,从与流化床反应器匹配的催化剂结构设计源头出发,制备具有耐磨损、易流化、低密度的高活性甲烷化催化剂,是流化床甲烷化发展的一个重要途径。 展开更多
关键词 甲烷化 流化床反应器 强放热 减分子 镍催化剂 积炭
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流化床气相沉积法改性粉煤灰及其水化特征 被引量:3
16
作者 李晨 朱洪波 +1 位作者 吴梦雪 蒋正武 《建筑材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期1004-1012,共9页
采用流化床气相沉积法,将NaOH,Na_2SO_4等改性材料进行雾化,沉积于粉煤灰颗粒表面.采用扫描电子显微镜(SEM)及傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)分析了改性材料结晶特征及其对粉煤灰的溶蚀机理,测试并分析了改性粉煤灰-水泥净浆、改性粉煤灰-... 采用流化床气相沉积法,将NaOH,Na_2SO_4等改性材料进行雾化,沉积于粉煤灰颗粒表面.采用扫描电子显微镜(SEM)及傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)分析了改性材料结晶特征及其对粉煤灰的溶蚀机理,测试并分析了改性粉煤灰-水泥净浆、改性粉煤灰-水泥砂浆的强度发展,同时通过SEM,X射线衍射(XRD)研究了改性粉煤灰-水泥净浆水化进程.结果表明:NaOH可以与粉煤灰发生溶蚀反应,使其中的Si—O键断裂,粉煤灰的水化活性得以提高;Na2SO_4在粉煤灰表面晶粒尺寸更小、分布更均匀,并能在水化过程中存留于粉煤灰表面,促进了粉煤灰及其附近水泥熟料的水化;采用流化床气相沉积法,上述两种改性材料均可提高粉煤灰颗粒与水泥基体的锚固力,促进水泥石强度发展;当NaOH和Na2SO_4掺量(质量分数)分别为0.23%,1.17%时,水泥净浆和砂浆强度显著提高,并高于同等掺量下用传统化学激发法制备的水泥净浆和砂浆强度. 展开更多
关键词 粉煤灰 表面改性 流化床气相沉积法 水化进程
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10MW高温气冷堆首次装料的包覆燃料颗粒研制 被引量:2
17
作者 朱钧国 杨冰 +4 位作者 张秉忠 邵友林 梁彤翔 孙利峰 吕庆军 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2003年第z1期45-49,共5页
10MW高温气冷堆采用全陶瓷TRISO型包覆颗粒燃料元件。TRISO型包覆燃料颗粒由燃料核芯、疏松热解炭层、内致密热解炭层、碳化硅层和外致密热解炭层组成。本工作研究用于生产包覆燃料颗料的具有多气体入口的新型喷动流化床和4层连续包覆... 10MW高温气冷堆采用全陶瓷TRISO型包覆颗粒燃料元件。TRISO型包覆燃料颗粒由燃料核芯、疏松热解炭层、内致密热解炭层、碳化硅层和外致密热解炭层组成。本工作研究用于生产包覆燃料颗料的具有多气体入口的新型喷动流化床和4层连续包覆工艺。采用化学气相沉积方法在150mm直径流化床沉积炉中生产出10MW高温气冷堆的包覆燃料颗粒。用扫描电镜观察研究了包覆燃料颗粒的微观结构。包覆燃料颗粒的制造破损率为3.4×10^(-6)。包覆燃料颗粒的辐照考验结果(包覆燃料颗粒的裂变产物^(85)Kr^m释放率为10^(-6))表明,包覆燃料颗粒的性能可以满足我国10MW高温气冷堆的设计要求。 展开更多
关键词 高温气冷堆 包覆燃料颗粒 流化床 化学气相沉积
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甲烷在流态化催化剂床裂解生长多壁碳纳米管 被引量:3
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作者 周金梅 王毅 +3 位作者 汤培平 武小满 林国栋 张鸿斌 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期117-122,共6页
在常压、823~873K、流化床反应条件下,用自行研制的Ni0.5Mg0.5O催化剂,催化甲烷分解生长碳纳 米管(CNTs),考察催化剂床层由固定床过渡到流化床状态的条件及其对制管过程的影响。结果表明,在 Φ32mm管式反应器及相应供热工况条件下... 在常压、823~873K、流化床反应条件下,用自行研制的Ni0.5Mg0.5O催化剂,催化甲烷分解生长碳纳 米管(CNTs),考察催化剂床层由固定床过渡到流化床状态的条件及其对制管过程的影响。结果表明,在 Φ32mm管式反应器及相应供热工况条件下,其流化床操作条件以管壁温度控制在约853K、原料气CH4线速 v为18~22cm/s、空速GHSV为3×104~6×104mL(STP) CH4/(h·g)为宜;反应1.0h,最高产率达 10g CNTs/g,这相当于固定床将制管反应时间延长至4~5h的产率水平。所得CNTs产物经TEM、SEM、 TPH、XRD和LRS等测试技术表征。结果表明,其为多壁碳纳米管(MWCNTs),外管径在10~50nm范围;纯 化后的CNTs产物含碳量≥99.5%,石墨状碳含量≥90%。 展开更多
关键词 多壁碳纳米管 Ni-Mg-O催化剂 甲烷 流化床 催化化学蒸汽沉积法
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流态化CVD技术制备Al_2O_3-SnO_2复合粒子 被引量:3
19
作者 华彬 李春忠 +1 位作者 韩今依 胡黎明 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期295-300,共6页
在内径40mm的流化床反应器中,利用SnCl_4气相水解反应,制备了超细Al_2O_3-SnO_2复合粒子。通过XRD,EP-MA,HREM等现代化分析手段确定了产物中SnO_2的晶型及其在Al_2O_3团聚物中和在... 在内径40mm的流化床反应器中,利用SnCl_4气相水解反应,制备了超细Al_2O_3-SnO_2复合粒子。通过XRD,EP-MA,HREM等现代化分析手段确定了产物中SnO_2的晶型及其在Al_2O_3团聚物中和在Al_2O_3原生颗粒表面的分散包敷形态。研究结果表明:300℃下制备的产物中SnO_2呈无定态,经800℃热处理2h,SnO_2转化成金红石型,产物中SnO_2均匀分散于整个Al_2O_3团聚物中;100℃下制备的产物中SnO_2以薄膜形式包敷在超细Al_2O_3颗粒表面;450℃下制备的产物中,SnO_2以6~10nm的粒子形式淀积在Al_2O_3表面。 展开更多
关键词 氧化铝 氧化锡 复合粒子 化学气相沉积 流化床
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流化床CVD淀积过程中铝膜微结构及表面形貌的研究
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作者 刘书琴 施大新 +1 位作者 崔怡红 曹竹友 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期339-343,共5页
考察了在常压流化床 CVD反应器中利用三异丁基铝的热分解反应在高折射率玻璃微珠表面淀积铝膜时 ,淀积温度和时间对铝膜微结构和表面形貌的影响 .SEM谱的表面形貌分析表明 ,提高淀积温度时 ,铝膜经过三维岛状→孔洞结构→连续致密膜的变... 考察了在常压流化床 CVD反应器中利用三异丁基铝的热分解反应在高折射率玻璃微珠表面淀积铝膜时 ,淀积温度和时间对铝膜微结构和表面形貌的影响 .SEM谱的表面形貌分析表明 ,提高淀积温度时 ,铝膜经过三维岛状→孔洞结构→连续致密膜的变化 ;延长淀积时间 ,铝膜的晶粒会变粗变大 .AES谱的表面化学组成分析表明 ,在较高的淀积温度下铝膜中碳的残留并不明显 ,但发生了玻璃微珠基材中 Ti,Ba等元素向铝膜中的扩散 . 展开更多
关键词 三异丁基铝 微结构 表面形貌 热活化 铝膜
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