1
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一种可用于Footing效应模拟的ICP刻蚀模型 |
张鉴
黄庆安
李伟华
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《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2007 |
4
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2
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反应离子深刻蚀中硅/玻璃结构footing效应的实验研究(英文) |
丁海涛
杨振川
张美丽
闫桂珍
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《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2008 |
1
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3
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基于线算法的ICP深反应离子刻蚀模型 |
张鉴
何晓雄
刘成岳
戚昊琛
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《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2008 |
3
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4
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基于ICP的硅高深宽比沟槽刻蚀技术 |
展明浩
宋同晶
皇华
王文婧
陈博
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《电子科技》
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2012 |
6
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5
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电容式MEMS环形振动陀螺结构设计及加工 |
李建华
徐立新
付博
王凤芹
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《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
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2017 |
4
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6
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一种悬臂梁厚度可控的制作方法 |
王文婧
黄斌
陈璞
庄须叶
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《集成电路通讯》
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2013 |
1
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7
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ICP硅深槽刻蚀技术研究 |
黄斌
郭群英
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《集成电路通讯》
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2009 |
0 |
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