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题名半导体碳化硅衬底的湿法氧化
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作者
鲁雪松
王万堂
王蓉
杨德仁
皮孝东
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机构
浙江大学材料科学与工程学院
浙江大学杭州国际科创中心
浙江大学电气工程学院
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出处
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2024年第2期181-193,共13页
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基金
国家自然科学基金(62274143,62204216)
浙江省“尖兵”“领雁”研发计划(2022C01021,2023C01010)
+1 种基金
杭州市领军型创新创业引进培育计划(TD2022012)
中央高校基本科研经费(226-2022-00200)。
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文摘
半导体碳化硅(4H-SiC)材料具有硬度高、脆性大、化学性质稳定等特点,一般使用化学机械抛光工艺来加工4H-SiC以获得超光滑平坦表面。湿法氧化作为单晶4H-SiC化学机械抛光的重要过程,直接影响着化学机械抛光的速率和表面质量。本文综述了目前单晶4H-SiC湿法氧化的研究现状,讨论了4H-SiC湿法氧化工艺所选用的氧化剂,如KMnO_(4)、H_(2)O_(2)、K_(2)S_(2)O_(8)等。在此基础上,进一步总结了常用的氧化增效方法,如光催化辅助氧化、电化学氧化、芬顿反应等,并从理论计算的角度分析了单晶4H-SiC湿法氧化的机理,最后展望了4H-SiC湿法氧化未来的研究方向。
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关键词
碳化硅
半导体
加工
湿法氧化
化学机械抛光
材料去除率
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Keywords
silicon carbide
semiconductor
processing
wet oxidation
chemical mechanical polishing
material remove rate
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名湿化学过程中锆英石生成机制的探讨
被引量:1
- 2
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作者
施鹰
黄校先
严东生
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机构
中国科学院上海硅酸盐研究所
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出处
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第5期488-494,共7页
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文摘
利用X射线衍射(XRD)、透时电镜(TEM)等手段研究了湿化学法合成钻英石粉末过程中锆英石相的生成机制。对于该过程中影响锗英石合成的几个因素,如反应温度、晶种含量等进行了分析讨论,并在此基础上提出了锗英石相的生成机制。结果表明:晶种引入对于铅英石的生成是至关重要的,其反应机理是品种存在条件下的非均相成核反应,固相反应中的扩散速率决定了整个反应的速率。
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关键词
生成机制
锆英石
湿化学过程
陶瓷
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Keywords
formation mechanism,zircon,wet chemical processing
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分类号
TQ174.758
[化学工程—陶瓷工业]
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题名湿法磷酸化学法脱氟的研究进展
被引量:6
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作者
郭昌明
黎铉海
李雪琼
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机构
广西大学化学化工学院
广西大学附属中学
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出处
《辽宁化工》
CAS
2006年第9期537-539,共3页
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文摘
介绍了湿法磷酸化学法脱氟的脱氟机理和影响脱氟率的多种因素。
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关键词
湿法磷酸
化学法
脱氟
机理
影响因素
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Keywords
wet - process phosphoric acid
chemical disposal
Defluorination
mechanism
Affect factor
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分类号
TQ111
[化学工程—无机化工]
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题名食品加工过程中多环芳烃生成机理的研究进展
被引量:20
- 4
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作者
聂文
屠泽慧
占剑峰
蔡克周
姜绍通
陈从贵
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机构
合肥工业大学食品科学与工程学院
黄冈师范学院生命科学学院
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出处
《食品科学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第15期269-274,共6页
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基金
国家自然科学基金青年科学基金项目(31501585)。
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文摘
多环芳烃是一类对环境和食品极具危害的污染物。早期对环境中多环芳烃的检测、安全评价、食品加工过程中的污染及产生的机理和控制方法开展了大量的工作,本文重点对多环芳烃形成的化学机制及食品加工过程中多环芳烃的产生机制进行综述,并对研究现状进行简要总结,以期为食品中多环芳烃控制提供新思路。
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关键词
多环芳烃
化学机制
食品加工过程
生成机理
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Keywords
polycyclic aromatic hydrocarbons
chemical mechanism
food processing
formation mechanism
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分类号
TS251.1
[轻工技术与工程—农产品加工及贮藏工程]
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题名V205纳米棒的软化学法合成
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作者
陈玉珍
罗海燕
高绍康
江莉龙
叶炳火
魏明灯
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机构
福州大学化学化工学院
福州大学新能源材料研究所
福州大学化肥催化剂工程研究中心
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出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第A06期2266-2268,共3页
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文摘
采用一种简单的软化学法制备出直径大约为50nm的V2O5纳米棒。此方法无需添加表面活性剂或催化剂,只使用原料和水。合成的产物经XRD、SEM、TEM、FT-IR等分析手段进行表征。另外基于实验结果,进一步提出了可能的形成机理。
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关键词
V205
纳米棒
软化学法
形成机理
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Keywords
V2O5
nanorods
soft chemical process
formation mechanism
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分类号
O64
[理学—物理化学]
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