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机床加工的精密气动卡盘研发
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作者 张燕莉 王玉阳 《机械管理开发》 2024年第8期96-99,共4页
数控机床精加工工序中,自动卡盘夹紧力突变可引起机床精加工的形状误差、位置误差和环形工件的圆度误差。通过对数控机床加工的精密气动卡盘的研发与设计,可有效解决气动卡盘夹紧力突变的问题,推动我国数控机床的科技进步,为同类其他产... 数控机床精加工工序中,自动卡盘夹紧力突变可引起机床精加工的形状误差、位置误差和环形工件的圆度误差。通过对数控机床加工的精密气动卡盘的研发与设计,可有效解决气动卡盘夹紧力突变的问题,推动我国数控机床的科技进步,为同类其他产品的设计提供分析基础和理论参考。 展开更多
关键词 机床 卡盘 夹紧力突变 精密气动卡盘
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深硅刻蚀晶圆位置偏移分析与研究
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作者 商庆杰 康建波 +1 位作者 张发智 宋洁晶 《微纳电子技术》 CAS 2024年第2期162-167,共6页
晶圆位置偏移过大是导致深硅刻蚀设备发生传片报警问题的主要原因之一,尤其是在采用静电卡盘的设备中。阐述了晶圆位置发生偏移原因,重点研究了解吸附配方、顶针驱动和片间清洗方案。研究表明,静电吸盘的表面聚合物残留是导致静电释放... 晶圆位置偏移过大是导致深硅刻蚀设备发生传片报警问题的主要原因之一,尤其是在采用静电卡盘的设备中。阐述了晶圆位置发生偏移原因,重点研究了解吸附配方、顶针驱动和片间清洗方案。研究表明,静电吸盘的表面聚合物残留是导致静电释放不充分的主要因素,表面聚合物的清除有助于优化晶圆位置偏移。电动三针在固有残留静电力的情况下,通过缓慢连续升针方案缓解了跳片现象。优化片间清洗方案大幅减小表面聚合物残留。实验结果表明:优化后的解吸附配方为工艺时长90 s、电极功率1000 W、气压20 mTorr(1 mTorr≈0.133 Pa)、氩气体积流量250 mL/min,电动三针接触晶圆前、接触中、脱离静电吸盘后的升针速度分别为3、2和6 mm/s,在上述工艺条件下,通过进一步优化片间清洗方案,使得晶圆位置偏移量从初始的2~6 mm降至0.2 mm以内。 展开更多
关键词 深硅刻蚀 晶圆位置偏移 静电吸盘 解吸附配方 电动三针 片间清洗
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K51680A(G)三爪动力卡盘设计与分析
3
作者 李华强 鞠长清 +1 位作者 樊锁钱 李晓旺 《机械工程与自动化》 2024年第2期53-56,共4页
随着制造业对零件加工质量的要求越来越高,夹紧力大、装夹快、定位精度高的动力卡盘在数控机床中的需求也日益增大。通过对动力卡盘使用工况的力学分析,设计了一款K51680A(G)三爪动力卡盘;分析了影响动力卡盘初始静态夹紧力的楔面倾角... 随着制造业对零件加工质量的要求越来越高,夹紧力大、装夹快、定位精度高的动力卡盘在数控机床中的需求也日益增大。通过对动力卡盘使用工况的力学分析,设计了一款K51680A(G)三爪动力卡盘;分析了影响动力卡盘初始静态夹紧力的楔面倾角与摩擦因数的关系,利用UG软件建立了三爪动力卡盘三维模型,并通过ANSYS Workbench软件对各部件进行了有限元分析,以确保产品的可靠性和稳定性。 展开更多
关键词 三爪动力卡盘 有限元分析 可靠性 稳定性
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液压动力补偿卡盘夹紧力特性分析与研究
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作者 王天成 孙鹏文 +2 位作者 张兰挺 张国斌 王岩松 《机床与液压》 北大核心 2024年第14期108-112,共5页
液压动力卡盘是数控机床的核心功能部件,其设计应用水平直接影响工件的加工质量。根据液压动力补偿卡盘的结构和工作原理进行受力分析,分别推导静态和动态夹紧力理论计算模型,得出影响静态、动态夹紧力的主要因素分别是楔面倾角、摩擦... 液压动力卡盘是数控机床的核心功能部件,其设计应用水平直接影响工件的加工质量。根据液压动力补偿卡盘的结构和工作原理进行受力分析,分别推导静态和动态夹紧力理论计算模型,得出影响静态、动态夹紧力的主要因素分别是楔面倾角、摩擦因数和油缸推力、机床转速、卡盘和工件的刚度。基于有限元仿真分析平台,采用位移载荷代替输入力的方法模拟卡盘动态夹紧过程,不同工况下的夹紧力仿真与理论结果对比表明:二者数值相近,最大误差为6.2%,验证了所建立动态夹紧力理论计算模型的正确性。 展开更多
关键词 液压动力补偿卡盘 夹紧力 计算模型 数值仿真
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“8”字型光缆卡盘拉伸后局部弯曲变形的原因分析
5
作者 何茂友 李德重 +1 位作者 司帅 郭坤 《现代传输》 2024年第4期14-17,共4页
“8”字型自承式光缆在经过卡盘拉伸试验后,在出卡盘3m长范围内的光缆经常会出现不同程度的弯曲变形,变形光缆不仅影响客户感知,变形严重的甚至会影响光缆的施工和传输性能。本文通过大量的试验探究,发现“8”字型光缆吊线和光单元外径... “8”字型自承式光缆在经过卡盘拉伸试验后,在出卡盘3m长范围内的光缆经常会出现不同程度的弯曲变形,变形光缆不仅影响客户感知,变形严重的甚至会影响光缆的施工和传输性能。本文通过大量的试验探究,发现“8”字型光缆吊线和光单元外径不一致的结构特点叠加卡盘拉伸的试验方式共同导致了光缆拉伸后发生局部变形。 展开更多
关键词 “8”字型光缆 卡盘拉伸 滑移 变形
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膨胀夹头式自动进给钻应用技术分析
6
作者 郗崇智 董卫萍 +2 位作者 幸锐 王伟 邢欣 《工具技术》 北大核心 2024年第8期103-107,共5页
随着航空装备的快速发展,传统手工制孔方式已经不能满足现代化飞机装配制孔需求,根据飞机装配典型应用工况,在保证孔径、锪窝精度前提下,先进高效的半自动制孔技术成为急需突破的关键技术。本文从自动进给钻的实际应用出发,研究了最新... 随着航空装备的快速发展,传统手工制孔方式已经不能满足现代化飞机装配制孔需求,根据飞机装配典型应用工况,在保证孔径、锪窝精度前提下,先进高效的半自动制孔技术成为急需突破的关键技术。本文从自动进给钻的实际应用出发,研究了最新膨胀夹头式自动进给钻配套刀具、进给量与转速和叠层厚度等因素对制孔精度的影响,为膨胀夹头式自动进给钻在航空装配制孔的推广应用提供一定参考。 展开更多
关键词 自动进给钻 膨胀夹头 进给量 转速 叠层厚度
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激光切管机用伺服驱动双动尾卡的设计
7
作者 陈金钟 《机械工程与自动化》 2024年第1期120-121,123,共3页
针对市场上现有的激光切管机尾部双动夹持卡盘存在漏气和卡死的问题,运用SolidWorks和Ansys Workbench重新设计了一款由伺服驱动的全电动卡盘。该电动卡盘由PLC程序控制,夹紧力参数和夹持速度均由触摸屏输入,智能化程度高,操作便捷。同... 针对市场上现有的激光切管机尾部双动夹持卡盘存在漏气和卡死的问题,运用SolidWorks和Ansys Workbench重新设计了一款由伺服驱动的全电动卡盘。该电动卡盘由PLC程序控制,夹紧力参数和夹持速度均由触摸屏输入,智能化程度高,操作便捷。同时由于摒弃了传统的压缩空气作为动力源,生产环境有了明显的改善。 展开更多
关键词 激光切管机 电动卡盘 智能化
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四轴数控机床对刀方法研究
8
作者 吕勇 《黑龙江科学》 2024年第16期143-145,149,共4页
根据多轴数控机床的运动结构特性对四轴数控机床进行分类,提出卡盘式立式四轴类、桥板式卧式四轴类两种四轴数控机床的对刀方法,为不同结构类型多轴数控机床的对刀提供有效参考。
关键词 对刀 卡盘式立式四轴数控机床 桥板式立式四轴数控机床 卧式四轴数控机床
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Transition and Transgression of Identity in Chuck Palahniuk's Survivor
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作者 Drd. Ali Mohammed Hasan 《Sino-US English Teaching》 2018年第1期38-43,共6页
The post-modernist concerning with identity and subjectivity posits that identity is multi-faceted and constantly gets re-constructed by choice. This results in increasingly fragmented and unstable identities leading ... The post-modernist concerning with identity and subjectivity posits that identity is multi-faceted and constantly gets re-constructed by choice. This results in increasingly fragmented and unstable identities leading to an inevitable breakdown in social relationships and sanity. A limited and dependable set of coherent identities began to fragment into a diverse and unstable series of competing identities. Post-modernism stifled the idea of nation, religion, family, and identity as bedrocks of stability and security. Disillusioned post-modernist world has deconstructed the well-defined boundaries that governed the life, otherwise, transition and transgression through and across these domains became the norm that allowed negotiation in daily lives. Where the subject became a terminal of multiple networks, consciously enacting the repetitions through which identity was getting produced and changed, demonstrating identity's "performativity". Establishing that what we believe to be true is only a construction or an interpretation of reality, shaped by our own socially constructed bias, thereby putting to scrutiny the idea of reality and real itself, which removed any sense of objective reality and with it the notion of an objective self. Identity is constantly changing and transitioning, the idea of the self which is entangled with multiplicity, heterogeneity, difference and ceaselessly becoming caught between the present and future, real and unreal, death and life. This research paper will carry out an analysis on evidential aspects in the selected novel and will further interpret the episodes of transition and transgressions that inform this novel. 展开更多
关键词 TRANSGRESSION SUBJECTIVITY IDENTITY TRANSITION chuck Palahniuk
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轴承加工变形控制研究进展综述 被引量:3
10
作者 雒泰民 曹华军 +4 位作者 姜艳红 徐俊 李景阳 李坤 张金 《制造技术与机床》 北大核心 2023年第7期72-82,共11页
随着工程机械技术的发展,对性能轴承的需求愈加强烈,由于轴承加工过程中夹持变形、切削变形和热变形等问题的存在,严重制约了轴承成品的精度,所以轴承加工过程中的变形控制技术成为各厂家、院校研究的重点。对轴承加工变形控制研究进展... 随着工程机械技术的发展,对性能轴承的需求愈加强烈,由于轴承加工过程中夹持变形、切削变形和热变形等问题的存在,严重制约了轴承成品的精度,所以轴承加工过程中的变形控制技术成为各厂家、院校研究的重点。对轴承加工变形控制研究进展进行了介绍,在分析了轴承加工变形的成因(包括切削力、切削温度和切削刀具等因素)的基础上,详细介绍了常用的轴承加工变形控制方法,如改变加工方式、改变卡盘的结构以及加工参数控制等;最后,分析了目前采用的各类轴承加工变形控制方法的优劣性,并且探讨了未来轴承加工变形控制研究的趋势。考虑到轴承加工变形控制研究是机械加工领域的重要方向,将为提高轴承加工质量和效率带来积极作用。 展开更多
关键词 轴承加工 变形控制 工艺改进 卡盘改进
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端面驱动卡盘零件挠度变形安全性与加工精度分析 被引量:1
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作者 冯小庭 刘宏利 刘明玺 《机械制造与自动化》 2023年第5期60-63,共4页
端面驱动卡盘在轴类零件加工过程中,会使工件产生挠度变形,对其安全性使用及加工精度有明显影响。以自行设计的一种四点浮动端面驱动卡盘为例,对工件挠度变形进行安全性分析,计算出安全加工所允许工件最大挠度变形以及挠度变形对加工精... 端面驱动卡盘在轴类零件加工过程中,会使工件产生挠度变形,对其安全性使用及加工精度有明显影响。以自行设计的一种四点浮动端面驱动卡盘为例,对工件挠度变形进行安全性分析,计算出安全加工所允许工件最大挠度变形以及挠度变形对加工精度影响,并对挠度变形误差补偿矫正,对允许最大挠度变形和补偿矫正后加工精度进行实验验证。 展开更多
关键词 端面驱动卡盘 工件挠度变形 安全性 加工精度
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干法刻蚀中晶圆表面温度控制研究 被引量:1
12
作者 赵洋 高渊 宋洁晶 《电子工业专用设备》 2023年第5期36-40,共5页
干法刻蚀工艺中,晶圆温度会直接影响刻蚀速率、刻蚀均匀性及刻蚀形貌,从而对最终的器件性能产生影响。对干法刻蚀过程中会对晶圆温度产生影响的若干因素进行了研究,并通过实验确认了不同因素对晶圆温度的影响趋势及范围,为工程应用提供... 干法刻蚀工艺中,晶圆温度会直接影响刻蚀速率、刻蚀均匀性及刻蚀形貌,从而对最终的器件性能产生影响。对干法刻蚀过程中会对晶圆温度产生影响的若干因素进行了研究,并通过实验确认了不同因素对晶圆温度的影响趋势及范围,为工程应用提供一定参考。通过实验,确认了静电吸盘的夹持电压及氦压、射频源功率、下电极温度及晶圆本身都会对刻蚀过程中的晶圆温度产生一定影响,其中静电吸盘的夹持电压及氦压对晶圆温度影响最大,晶圆翘曲、下射频源功率次之,上射频源功率、下电极冷却温度对晶圆温度影响基本相当,影响程度最小。 展开更多
关键词 干法刻蚀 晶圆温度 静电吸盘 温度控制
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晶圆卡盘热力耦合分析
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作者 杨卫 毋晶晶 李欣 《电子工艺技术》 2023年第4期52-54,共3页
晶圆卡盘是晶圆加工中常用的夹持装置,具有精度高、吸附力大、夹持平稳的特点。工作时,晶圆卡盘一般处于热力耦合的环境中,引起的变形和受力难以预知和理论分析。总结了热力耦合仿真流程,回顾了热力耦合理论,并对某型键合设备中使用的TC... 晶圆卡盘是晶圆加工中常用的夹持装置,具有精度高、吸附力大、夹持平稳的特点。工作时,晶圆卡盘一般处于热力耦合的环境中,引起的变形和受力难以预知和理论分析。总结了热力耦合仿真流程,回顾了热力耦合理论,并对某型键合设备中使用的TC4晶圆卡盘进行了热载荷单独作用、外载荷单独作用、热力耦合作用的对比仿真研究。同时,针对结果进行了优化分析,为后续改进提供参考。 展开更多
关键词 静电卡盘 热力耦合 仿真
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天窗加强板冲压工艺优化应用研究
14
作者 佟海南 窦铁勇 《模具工业》 2023年第11期40-42,共3页
对某车型天窗加强板进行工艺分析,提出新的成形工艺方案,即采用吸盘调整废料下滑,解决废料尺寸过大影响自动化生产的问题,并减少了1道工序的模具开发,降低了整车制造成本,对行业内控制整车制造成本具有借鉴意义。
关键词 天窗加强板 结构优化 吸盘 废料下滑
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磁力自动泊船设备的电永磁吸盘设计
15
作者 张子晨 王宝 +2 位作者 乜瑞程 王恺 李玉宝 《价值工程》 2023年第26期82-84,共3页
新型磁力泊船方式较传统缆绳泊船在安全性、泊船效率和自动化程度上有巨大优势,是自动化泊船的技术发展方向。根据安全、高效、可控的自动泊船作业需求,分析了磁力吸盘的性能要求,梳理了永磁式、电磁式和电永磁式吸盘的优缺点,选用了磁... 新型磁力泊船方式较传统缆绳泊船在安全性、泊船效率和自动化程度上有巨大优势,是自动化泊船的技术发展方向。根据安全、高效、可控的自动泊船作业需求,分析了磁力吸盘的性能要求,梳理了永磁式、电磁式和电永磁式吸盘的优缺点,选用了磁力大、易控制且安全节能的电永磁式吸盘用于磁力自动泊船。综合比较了电永磁吸盘常用结构形式,改进设计了一种外六棱柱型内圆型的电永磁吸盘,以获得较大的磁吸力。 展开更多
关键词 磁力 泊船 电永磁吸盘 结构设计
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关于一种浮动自定心四爪卡盘的研究
16
作者 赵青松 《模具制造》 2023年第8期147-149,共3页
随着现代工业的发展和技术的不断进步,机械设备的设计越来越多样化。其中,卡盘是一种常见的机械装置,其主要作用是将材料或产品固定在一定位置上进行加工或者装配。而对某些特殊场合,传统的卡盘设计可能无法满足需求,因此需要开发出新... 随着现代工业的发展和技术的不断进步,机械设备的设计越来越多样化。其中,卡盘是一种常见的机械装置,其主要作用是将材料或产品固定在一定位置上进行加工或者装配。而对某些特殊场合,传统的卡盘设计可能无法满足需求,因此需要开发出新型卡盘结构。本文旨在对一种浮动自定心四爪卡盘进行深入研究,并且有望推动相关领域的发展。 展开更多
关键词 浮动 自定心 四爪卡盘
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基于PLC的热成型件自动抓取装置研究与设计 被引量:1
17
作者 曾小安 高秋明 +1 位作者 杨怀斌 李如敏 《现代机械》 2023年第5期45-49,共5页
针对热成型件激光切割生产加工过程,普遍存在效率慢、劳动强度高和安全隐患等突出问题,为解决上述问题,本文提出一种应用上下料的自动抓取装置。采用Solidworks软件初步设计了热成型件自动抓取装置,并进一步利用MATLAB软件提出了真空吸... 针对热成型件激光切割生产加工过程,普遍存在效率慢、劳动强度高和安全隐患等突出问题,为解决上述问题,本文提出一种应用上下料的自动抓取装置。采用Solidworks软件初步设计了热成型件自动抓取装置,并进一步利用MATLAB软件提出了真空吸盘布置方案,以达到减小真空吸盘夹具变形的目的。该装置通过PLC控制真空吸盘夹具和工业机器人,实现精确自动拾取、运动轨迹规划和吸放等动作,实现柔性化生产,提高工作效率,节省用工成本,具有一定的实用性。 展开更多
关键词 自动抓取 真空吸盘 MATLAB PLC控制
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库仑型静电卡盘吸附力受电极结构及晶圆氧化层影响的研究
18
作者 孙诗壮 赵晋荣 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第8期681-688,共8页
静电卡盘是半导体领域中关键器件,主要起到支撑固定晶圆的作用。文章利用麦克斯韦仿真软件计算了静电卡盘工作时,电极周围电压分布,得到了电极边缘效应小于4%,电极边缘效应对吸附力的影响可以忽略不计的结论;并依据等效电容的方法建立... 静电卡盘是半导体领域中关键器件,主要起到支撑固定晶圆的作用。文章利用麦克斯韦仿真软件计算了静电卡盘工作时,电极周围电压分布,得到了电极边缘效应小于4%,电极边缘效应对吸附力的影响可以忽略不计的结论;并依据等效电容的方法建立了计算库仑型静电卡盘吸附力的仿真模型。研究搭建了真空腔室,并依据气体背吹法,测试了两款具有不同电极结构的静电卡盘的吸附力,以及静电卡盘对不同材料晶圆的吸附力。实验与仿真的结果表明,库仑型静电卡盘吸附力的大小与电极面积成正比,电极结构几乎不会影响静电卡盘的吸附力;相同吸附电压下,对于背面氧化层厚度在500 nm以内的晶圆来说,晶圆的氧化层对库仑型静电卡盘吸附力的影响低于2%,可以忽略。文章的研究对库仑型静电卡盘的设计及优化具有重要指导意义。为半导体设备的发展提供重要的理论基础。 展开更多
关键词 静电卡盘 静电场 氧化层 背吹气法 等效电容方法
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凸点结构及电学性能对J-R型静电卡盘吸附力影响的研究
19
作者 孙诗壮 赵晋荣 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第4期305-313,共9页
真空静电卡盘是半导体工艺中最重要的元件之一,主要应用于集成电路设备和光学设备,起到承载晶圆或衬底的作用。本文利用物理气相沉积的方法制备了J-R型静电卡盘的凸点结构。本研究中搭建了真空腔室,利用了气体背吹法,测试了不同凸点高... 真空静电卡盘是半导体工艺中最重要的元件之一,主要应用于集成电路设备和光学设备,起到承载晶圆或衬底的作用。本文利用物理气相沉积的方法制备了J-R型静电卡盘的凸点结构。本研究中搭建了真空腔室,利用了气体背吹法,测试了不同凸点高度、不同吸附电压下约翰逊-拉别克型静电卡盘的吸附力。利用等效电容法,建立了计算凸点电学性能、结构尺寸对静电卡盘吸附力影响的仿真模型。通过仿真计算对吸附力大小的研究表明,由于接触电阻相对较低,文中方法制备的J-R型静电卡盘凸点结构几乎不对硅晶圆产生吸附力。并且随着凸点高度及凸点面积占比增加,静电卡盘对硅晶圆的吸附力降低,同时凸点表面形貌几乎不影响凸点吸附力。本文的研究对J-R效应理论的完善以及静电卡盘的设计具有重要指导意义,为半导体设备的发展提供重要的理论基础。 展开更多
关键词 静电卡盘 J-R效应 接触电阻 气体背吹法 等效电容法
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晶圆材料对J-R型静电卡盘吸附力影响的研究
20
作者 孙诗壮 赵晋荣 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第6期554-562,共9页
静电卡盘是半导体以及光学设备中关键器件之一,主要起到固定衬底快速加热的作用。本研究中搭建了真空腔室平台,并依据气体背吹法,测试了约翰逊-拉别克型静电卡盘对不同电压下不同材料晶圆的吸附力。本文通过对氧化层电学性质及静电卡盘... 静电卡盘是半导体以及光学设备中关键器件之一,主要起到固定衬底快速加热的作用。本研究中搭建了真空腔室平台,并依据气体背吹法,测试了约翰逊-拉别克型静电卡盘对不同电压下不同材料晶圆的吸附力。本文通过对氧化层电学性质及静电卡盘凸点结构的研究,得出静电卡盘对具有氧化层晶圆的吸附力来自于静电卡盘表面电荷与晶圆内硅材料之间吸附力的结论。并且利用等效电容法,建立了计算不同材料晶圆对静电卡盘吸附力影响的仿真模型。通过实验与仿真的结果表明,相同吸附电压下,静电卡盘对具有氧化层晶圆的吸附力大于静电卡盘对纯硅晶圆的吸附力。静电卡盘对晶圆吸附力的大小随着氧化层厚度的增加,先增加后减少。本文的研究对J-R效应理论的完善以及静电卡盘的设计及优化具有重要指导意义。为半导体设备的发展提供重要的理论基础。 展开更多
关键词 静电卡盘 J-R效应 氧化层 背吹气法 等效电容方法
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