变温四探针电阻率测试仪的开发及本科教学实践

为了便于测量半导体薄膜在变温下的电阻率,满足本科生《半导体材料》课程的教学要求,利用现有一台室温四探针测试仪和一台恒温加热台,开发了一台变温四探针电阻率测量仪,测量温度范围从室温到300oC。通过磁控溅射法制备了热致相变材料二氧化钒薄膜,利用自组装的变温四探针测试仪测量了该薄膜在不同温度下的电阻率,得到了相变转变温度。教学实践表明:该变温四探针能够很好的满足关于半导体材料电阻率与温度变化关系实验测量的教学大纲要求,取得了良好的教学效果。

四探针电阻率测试仪电阻率参数的不确定度评定

随着半导体材料技术的发展,对硅片的规格和质量提出了更高的要求,四探针电阻率测试仪作为测量电阻率参数的测量仪器被广大半导体元件生产企业广泛使用。文章分析了在校准过程中存在的不确定度来源并量化不确定度的分量,求出其合成不确定度,确保四探针电阻率测试仪电阻率参数的校准更加准确。

飞针测试仪通讯控制优化

飞针测试系统是于来测量混合电路板、LTCC基板、PCB板的各网络间开路、短路、绝缘以及电容的专业电子芯片检测设备。针对飞针测试系统用到的精密电阻、高压绝缘以及电容测试仪的相关应用进行研究并提出一套在通讯控制上的改良方案以提高飞针测试系统的工作效率。

一种地层测试器的电阻率探测器响应特性分析

介绍一种用于地层测试器的电流电极式电阻率探测器的结构及工作原理,并对电阻率探测器进行响应特性的实验研究。对该探测器进行三维有限元建模,通过数值模拟得到它的电流场、电压场分布及理论响应特性。计算结果和理论分析都显示该电阻率探测器响应特性应该为线性,但是实验结果却显示非线性的响应关系。分析后认为这可能是由于探测器的绝缘部分存在漏电现象造成的。提出下一步研究需对探头的绝缘性能进行改进,以获得良好的电阻率响应特性。