氮化铁梯度薄膜的制备

用对向靶溅射仪制备了具有梯度结构的氮化铁薄膜材料．卢瑟福背散射分析结果表明，铁、氮两种原子的密度沿膜厚度方向呈梯度变化．在薄膜中有ζ－Ｆｅ２Ｎ，ε－ＦｅｘＮ（２＜ｘ＜３），γ′－Ｆｅ４Ｎ和α″－Ｆｅ１６Ｎ２等物相．振动样品磁强计测试结果表明部分梯度膜的饱和磁化强度值接近纯铁膜，膜面富铁的梯度样品的矫顽力与基底富铁的梯度样品的矫顽力相差很大。

功能梯度薄膜的脉冲激光沉积研究进展

介绍了功能梯度薄膜材料的特点和应用 ;比较了功能梯度薄膜常用制备方法 ;概括了功能梯度薄膜制备中的掺杂技术并给出了脉冲激光沉积功能梯度薄膜的模型 ;

利用^4He—O共振散射测量SiOxNy功能梯度薄膜中氧的深度分布

利用４Ｈｅ－Ｏ共振散射测量了ＳｉＯｘＮｙ功能梯度薄膜中氧元素的深度分布。测试样品由计算机控制的等离子增强化学汽相淀积（ＰＥＣＶＤ）方法制备，所用的反应气体是ＳｉＨ４（由Ｎ２稀释至１５％），Ｎ２Ｏ和ＮＨ３。测试结果表明，用作Ｒｕｇａｔｅ滤波器涂层样品中的氧元素组份明显呈周期性分布，这为验证涂层折射率在深度方向周期性变化提供了又一重要依据。同时，证实了这一测量方法对膜中轻元素氧的检测是十分有效的。

脉冲准分子激光沉积Mg/Ag掺杂薄膜

基于梯度掺杂功能薄膜材料在工业应用中的需要、通过金属掺杂对新材料改性研究的需要 ,用单束激光交替作用于两相异靶材 ,制备了Mg Ag组分比为 0 .

傅里叶合成法设计渐变折射率薄膜

傅里叶合成方法是一种可以根据期望的光谱特性曲线设计渐变折射率薄膜的方法。叙述了该方法的原理和Q函数的选择。介绍了修正方法使设计膜层折射率在可获得薄膜材料折射率范围内和把膜层匹配到入射介质和基底两端界面的技术。并用该方法设计ZnSe基底3～12μm红外增透渐变折射率薄膜,在设计波段平均透射率达到95%。最后对该方法作了相关评论。

复合薄膜表面技术研究进展

概述了复合薄膜表面技术研究进展以及在航空、航天等方面的应用，并提出了有待深入研究的问题。

功能梯度类金刚石薄膜的脉冲激光制备

长期以来 ,高质量的纯类金刚石薄膜的成功制备一直受其巨大内部压应力的阻碍 ,因为这种压应力导致严重的附着问题。厚度大于 50 0nm的类金刚石薄膜中的压应力常使薄膜与基体剥离。作者采用功能梯度的设计概念 ,应用准分子脉冲激光沉积方法 ,成功制备了厚度超过 1 0 μm的高质量类金刚石薄膜。薄膜中的SP3碳原子含量超过 6 0 %。纳米硬度测试表明 ,薄膜的弹性模量高达 50 0GPa ,纳米硬度高达 6 0GPa ,薄膜与基体间附着良好。证明功能梯度的设计概念可以用于制备较厚的超硬类金刚石薄膜。