溶胶-凝胶法制备SnO_2薄膜气敏特性的实验研究

本文介绍了,以SnCl_2·2H_2O为原材料,用sol-gel技术制备La_2O_3掺杂的SnO_2薄膜气敏材料。研究掺杂量、工艺条件、衬底材料对气敏特性的影响。实验表明La_2O_3掺杂的SnO_2薄膜气敏材料对CO_2有很好的响应特性,即有高的灵敏度和快的响应时间。随镧含量的增加〔(3～10)％mol〕,灵敏度增加,工作温度向低温方向移动。在低氧分压下热处理,能形成精细的晶粒与孔洞,灵敏度大幅度增加。