单晶硅柱面反射镜的检测

柱面镜的加工和检测都较球面困难 ,这使其应用受到一定的限制。本文介绍了我们在加工一组单晶硅柱面镜扩束系统时针对我们所要加工的柱面镜的特点 ,采用柱面的反射光作被检光 ,使其与参考光干涉的方法检测柱线以及用检测系统来评价最后加工结果的方法。

柱面镜组的计算机辅助调校

计算机辅助装调技术是通过计算机对理论和实时检测结果的分析计算来有效地指导装调技术。本文通过计算机对由柱面反射镜组成的红外反射扩束系统的各种调整自由度的详细分析 ,以及在检测时对结果的实时分析 ,可确定合理的检测方案 ,有效的减少了调整时间 。