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The spin Hall effect in single-crystalline gold thin films
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作者 田岱 陈才干 +1 位作者 王华 金晓峰 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第10期350-354,共5页
The spin Hall effect has been investigated in 10-nm-thick epitaxial Au(001) single crystal films via H-pattern devices,whose minimum characteristic dimension is about 40 nm. By improving the film quality and optimizin... The spin Hall effect has been investigated in 10-nm-thick epitaxial Au(001) single crystal films via H-pattern devices,whose minimum characteristic dimension is about 40 nm. By improving the film quality and optimizing the in-plane geometry parameters of the devices, we explicitly extract the spin Hall effect contribution from the ballistic and bypass contribution which were previously reported to be dominating the non-local voltage. Furthermore, we calculate a lower limit of the spin Hall angle of 0.08 at room temperature. Our results indicate that the giant spin Hall effect in Au thin films is dominated not by the interior defects scattering, but by the surface scattering. Besides, our results also provide an additional experimental method to determine the magnitude of spin Hall angle unambiguously. 展开更多
关键词 gold thin film spin Hall effect surface scattering
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Preparation and Characterization of Gold Thin Film Electrode Modified by Microbe
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作者 Jin Kun FU Rong Zong HU +2 位作者 Wei De ZHANG Xin Sheng YU Jin Yin FU(State Key Laboratory for Physical Chemistry of Solid Surface, Department of Chemistry and Institute of Physical Chemistry, Xiamen University, Xiamen 361005) 《Chinese Chemical Letters》 SCIE CAS CSCD 1999年第4期311-312,共2页
A novel method based on microbe modification has been employed to prepare gold thin film electrode. The preparation method is simple and the electrode obtained is stable and very sensitive in determining heavy metal i... A novel method based on microbe modification has been employed to prepare gold thin film electrode. The preparation method is simple and the electrode obtained is stable and very sensitive in determining heavy metal ions. The quantitation limit of Cu2+ is 0.05 ng/mL. 展开更多
关键词 gold thin film electrode microbe modification trace analysis
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Gold Nanoparticulate Thin Films Fabricated by the Electrostatic Self-Assembly Process
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作者 余海湖 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2002年第1期38-41,共4页
Gold colloids were prepared by citrate-induced reduction of hydrogen tetrachloroaurale, and gold nanoparticles were electrostatically self-assembled with poly( diallyldimethylammonium chloride) into multi-layer thin f... Gold colloids were prepared by citrate-induced reduction of hydrogen tetrachloroaurale, and gold nanoparticles were electrostatically self-assembled with poly( diallyldimethylammonium chloride) into multi-layer thin films on si/icon and quartz substrates. The paniculate thin films were characterized by UV-vis spea-troscopy, surface, enhanced Raman scattering, atomic force microscopy and resistivity measurements. Due to the interparticle coupling between individual gold particles, an obvious collective particle plasmon resonance was ob-served on UV-vis spectra , and the particulate thin films exhibited a strong SERS effect. For multilayer thin films with a high particle coverage on substrates , resistivity of the order of 10-4 Ω·cm was yielded. 展开更多
关键词 gold colloid NANOPARTICLE electrostatic self-assembly thin film
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Optical Absorption of Nano-Composite Thin Films of Au in Teflon
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作者 Dmytro Grynko Konstantin Grytrsenko +2 位作者 Valeri Lozovski Mykola Sopinskyy Galyna Strilchuk 《Materials Sciences and Applications》 2010年第3期141-151,共11页
Nano-composite films of Au particles in Teflon were obtained by thermal vacuum deposition. The obtained films were characterized by the different shapes and dimensions of the inclusion particles. Absorption spectra of... Nano-composite films of Au particles in Teflon were obtained by thermal vacuum deposition. The obtained films were characterized by the different shapes and dimensions of the inclusion particles. Absorption spectra of the films were measured in-situ. A model for the calculation of the optical properties of the nano-composite thin films with an inho-mogeneous distribution of the inclusions along the thickness of the film is proposed. Absorption properties of inclusions were analyzed by considering the local field interaction. The calculated absorption profiles are compared with the experimentally obtained absorption profiles. This comparison gives a possibility to draw conclusions about the concentration, shapes and shape distributions of the inclusion particles. For example, the films obtained by duration deposition are characterized by inclusions having the shape of prolate ellipsoids oriented normally to surface of the film. 展开更多
关键词 NANO-COMPOSITE Optical Absorption SPECTRA thin film Effective SUSCEPTIBILITY TEFLON gold VACUUM Deposition
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Thin Film Assembly of Gold Nanoparticles for Vapor Sensing via Droplet Interfacial Reaction
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作者 Kun Luo Tao Huang +3 位作者 Yujia Luo Haiming Wang Chao Sang Xiaogang Li 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第5期401-405,共5页
A facile approach to prepare a thin film vapor sensor is demonstrated through droplet interracial reaction on an IDA microelectrode. Scanning electron microscopy, atomic force microscopy and transmission electron micr... A facile approach to prepare a thin film vapor sensor is demonstrated through droplet interracial reaction on an IDA microelectrode. Scanning electron microscopy, atomic force microscopy and transmission electron microscopy analyses show that the film of the vapor sensor is composed of self-assembled gold nanocrystals in an average diameter of about 4.3 nm. The as-prepared sensor was examined by potential step method and impedance measurement, which exhibited significant △R/Ri responses and excellent cycle performance to the volatile organic compound (VOC) vapors of acetone, methanol, styrene, benzene, toluene and ethanol. The selectivity to the VOCs with benzene ring or organic solvents suggests that the sensor is probably in line with the swelling and dielectric sensing mechanisms. 展开更多
关键词 gold nanoparticle thin film SELF-ASSEMBLY Droplet interfacial reaction Vapor sensor
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金膜组分的ICP-AES法分析 被引量:4
6
作者 邱红莲 刘继升 《光谱实验室》 CAS CSCD 2000年第2期173-175,共3页
研究了在室温下用王水溶解金膜 ,ICP- AES法测定金膜组分银、铜、铁、铅、锑、铋等的方法。该方法简便 ,实测样品获得了满意结果。
关键词 组份 ICP-AES 金属薄膜
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纳米铂颗粒修饰薄膜金电极的新型葡萄糖传感器研究 被引量:13
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作者 姜利英 蔡新霞 +2 位作者 刘红敏 刘春秀 郭宗慧 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1563-1566,共4页
在没有引入电子媒介体条件下,为了提高传感器的响应灵敏度,降低工作电位,利用电化学沉积法在薄膜金电极表面修饰纳米铂颗粒,并通过戊二醛固定酶的方法制备了一种新型生物传感器。研究了在薄膜金电极上修饰纳米铂颗粒前后传感器对低浓度... 在没有引入电子媒介体条件下,为了提高传感器的响应灵敏度,降低工作电位,利用电化学沉积法在薄膜金电极表面修饰纳米铂颗粒,并通过戊二醛固定酶的方法制备了一种新型生物传感器。研究了在薄膜金电极上修饰纳米铂颗粒前后传感器对低浓度葡萄糖的响应影响。结果表明,纳米铂颗粒修饰后所制备的葡萄糖传感器工作电位下降为0.4 V,测定葡萄糖的检出限从100μmol/L下降到10μmol/L。传感器对10-1300μmol/L低浓度葡萄糖的响应灵敏度为50.8 nA/(cm2μmol/L);响应时间30 s;r为0.9974;传感器精密度为2.1%,并具有较好的稳定性。 展开更多
关键词 纳米铂颗粒 薄膜金电极 葡萄糖传感器 丝印参比电极 化学修饰电极
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金纳米粒子自组装薄膜的光谱学研究 被引量:13
8
作者 余海湖 姜德生 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期511-514,共4页
采用柠檬酸钠还原氯金酸制备了金胶体 ,通过静电自组装制备了金纳米粒子薄膜 ,利用紫外 可见光吸收光谱等对金纳米粒子薄膜进行了光谱学研究。紫外 可见光吸收光谱表明所制备的金溶胶为单分散体系。根据自组装薄膜的X 射线衍射谱 ,由... 采用柠檬酸钠还原氯金酸制备了金胶体 ,通过静电自组装制备了金纳米粒子薄膜 ,利用紫外 可见光吸收光谱等对金纳米粒子薄膜进行了光谱学研究。紫外 可见光吸收光谱表明所制备的金溶胶为单分散体系。根据自组装薄膜的X 射线衍射谱 ,由谢乐公式估算金纳米粒子的粒径约为 2 1nm ;X 射线光电子能谱显示氯金酸的还原反应比较完全 ,金主要以Au0 的价态存在 ,金胶体粒子通过静电吸引机制组装到PDDA改性的衬底表面 ;紫外 可见光吸收光谱和表面增强拉曼光谱显示 ,由于粒子间的电磁耦合 ,自组装金纳米粒子薄膜表现出协同等离子体共振吸收行为和表面增强拉曼散射效应。 展开更多
关键词 金溶胶 静电自组装 光谱表征 金纳米粒子 自组装薄膜 光谱学
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Optical property of nanocomposite of mesoporous silica thin films incorporated with gold nanoparticles
9
作者 方靖岳 张学骜 +1 位作者 秦石乔 常胜利 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第3期69-72,共4页
Amino-functionalized mesoporous silica thin films (MTFs) are produced using surface active agent F127,and then gold nanoparticles are introduced into the pore channels to prepare the Au/SiO 2 nanocomposite.After ass... Amino-functionalized mesoporous silica thin films (MTFs) are produced using surface active agent F127,and then gold nanoparticles are introduced into the pore channels to prepare the Au/SiO 2 nanocomposite.After assembling the gold,the amino-functionalized MTF undergoes some shrinkage but remains a periodic structure as demonstrated by X-ray diffraction (XRD) patterns.The nanocomposite shows an acute characteristic diffraction peak assigned to (111) plane of the face-centered-cubic structure of gold,indicating that gold nanoparticles crystallize well and grow in a preferred orientation in the pore channels.The surface plasma resonance (SPR) absorption peak near 570 nm undergoes a red-shift accompanied by a strengthening of intensity when HAuCl 4 is used to react with the amino groups on the internal pore surfaces for 4,6,and 8 h.The simulative results are consistent with the experimental ones shows that the absorption property of the Au/SiO 2 nanocomposite is influenced by the dipping time,which affects the size and volume fraction of embedded gold nanoparticles. 展开更多
关键词 Absorption Diffraction gold Mesoporous materials Nanocomposites Nanoparticles Optical properties Silica Surface active agents thin films X ray diffraction
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自组装金纳米粒子薄膜AFM研究 被引量:5
10
作者 姜德生 余海湖 周灵德 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期177-182,共6页
以化学还原法制备了金胶体,采用静电吸附自组装法在单晶硅片表面制备了金纳米粒子薄膜,采用原子力显微镜分析了薄膜的表面形貌与结构。
关键词 金纳米粒子薄膜 静电自纽装 原子力显微镜 薄膜结构 化学还原法
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用于三磷酸腺苷检测的电流型适体传感器 被引量:3
11
作者 闫艳霞 姜利英 +2 位作者 王芬芬 张艳 胡杰 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第6期371-375,共5页
为了检测三磷酸腺苷(ATP)的浓度,通过Au-S键将巯基修饰的三磷酸腺苷的适体ssDNA自组装到薄膜金电极上,制备了一种可灵敏准确地检测ATP浓度的电流型适体传感器。首先研究了薄膜金电极的制备方法,接着研究了三磷酸腺苷的适体ssDNA在薄膜... 为了检测三磷酸腺苷(ATP)的浓度,通过Au-S键将巯基修饰的三磷酸腺苷的适体ssDNA自组装到薄膜金电极上,制备了一种可灵敏准确地检测ATP浓度的电流型适体传感器。首先研究了薄膜金电极的制备方法,接着研究了三磷酸腺苷的适体ssDNA在薄膜金电极上的组装方法,然后利用循环伏安法研究了自组装适体传感器在K3Fe(CN)6溶液中的响应电流与被测物ATP浓度之间的关系,最后对自组装适体传感器的线性度和重复性进行了分析。实验结果表明:自组装的电流型适体传感器在检测ATP浓度时,传感器的检出限为109 mol/L,线性范围10-9~10-5 mol/L,线性度为0.996 7。自组装的ATP适体传感器检出限低,线性检测范围宽,重复性好。 展开更多
关键词 三磷酸腺苷 电流型适体传感器 薄膜金电极 循环伏安法 自组装
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基于共面薄膜金电极的三磷酸腺苷适体传感器 被引量:2
12
作者 姜利英 王芬芬 +3 位作者 胡杰 岳保磊 闫艳霞 陈青华 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期666-671,共6页
为了检测三磷酸腺苷( ATP)的浓度,利用微系统( MEMS)技术小批量加工薄膜金电极,采用自组装法将巯基修饰的三磷酸腺苷适体固定到金电极表面,以三磷酸腺苷适体作为识别元件,构建了一种基于共面薄膜金电极的三磷酸腺苷适体传感器。依... 为了检测三磷酸腺苷( ATP)的浓度,利用微系统( MEMS)技术小批量加工薄膜金电极,采用自组装法将巯基修饰的三磷酸腺苷适体固定到金电极表面,以三磷酸腺苷适体作为识别元件,构建了一种基于共面薄膜金电极的三磷酸腺苷适体传感器。依据核酸磷酸骨架荷负电特性静电排斥[Fe(CN)6]3-/4-所引起的阻抗变化实现对ATP浓度的检测。首先采用电化学阻抗谱法研究了裸金电极及ATP加入前后、6-巯基己醇封闭电极前后以及不同自组装时间(3,8,15,24和30 h)条件下,电极在电化学阻抗溶液中阻抗值变化。然后研究了不同浓度ATP适体传感器的电化学阻抗谱以及适体传感器的线性度和重复性。结果表明,在自组装时间为24 h,使用6-巯基己醇封闭金电极的条件下,此传感器线性测量范围可达到1~500 nmol/L,检出限为1 nmol/L,线性相关系数为0.9842。此传感器制作简单,检出限低且重复性好。 展开更多
关键词 共面薄膜金电极 适体传感器 电化学阻抗谱 自组装 三磷酸腺苷
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氨基功能化有序介孔SiO_2薄膜组装Au纳米粒子复合材料的可调色散性质 被引量:4
13
作者 方靖岳 秦石乔 +3 位作者 张学骜 李新华 王飞 常胜利 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1460-1465,共6页
以聚环氧乙烷-聚环氧丙烷-聚环氧乙烷(P123)为模板剂,采用共溶胶的蒸发诱导自组装方法制备了氨基功能化介孔SiO2薄膜,然后利用氯金酸(HAuCl4)与介孔SiO2薄膜孔道内壁的氨基之间的中和反应组装Au纳米粒子,制备得到Au/SiO2纳米复合材料.用... 以聚环氧乙烷-聚环氧丙烷-聚环氧乙烷(P123)为模板剂,采用共溶胶的蒸发诱导自组装方法制备了氨基功能化介孔SiO2薄膜,然后利用氯金酸(HAuCl4)与介孔SiO2薄膜孔道内壁的氨基之间的中和反应组装Au纳米粒子,制备得到Au/SiO2纳米复合材料.用TEM,XRD和UV-Vis光谱对材料进行了测试.结果表明,无水乙醇萃取获得的氨基功能化介孔SiO2薄膜具有高度有序的介孔结构;利用中和反应及氢气氛围煅烧还原的方法将Au纳米粒子组装在介孔SiO2薄膜的孔道中,Au纳米颗粒分散均匀且晶化良好,表现出(111)晶面的择优取向生长;随着中和反应时间的延长,Au纳米颗粒的粒径呈增长趋势,Au/SiO2纳米复合材料的吸收光谱发生红移,表明存在Au量子点的量子尺寸效应,即说明通过改变浸渍时间可以调控Au/SiO2纳米复合材料的色散性质. 展开更多
关键词 有序介孔SiO2薄膜 氨基功能化 AU纳米粒子 吸收光谱 色散性质
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不锈钢表面真空蒸镀铜合金仿金薄膜 被引量:1
14
作者 杨保健 陈玉华 何鑫 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2016年第8期411-414,共4页
为了解决目前电镀技术制备铜合金仿金薄膜时"三废"对环境的污染,采用"真空蒸镀+退火"工艺,以黄铜和铝青铜为靶材,在304不锈钢基片上制备铜合金仿金薄膜。通过电子比色卡和比色软件对薄膜表面色泽进行分析,以正交试... 为了解决目前电镀技术制备铜合金仿金薄膜时"三废"对环境的污染,采用"真空蒸镀+退火"工艺,以黄铜和铝青铜为靶材,在304不锈钢基片上制备铜合金仿金薄膜。通过电子比色卡和比色软件对薄膜表面色泽进行分析,以正交试验研究了真空度、退火温度、两种铜合金的质量份数对所制薄膜色泽的影响。结果表明,退火温度对仿金薄膜成色影响显著。制备仿金铜合金薄膜的最佳工艺条件为:真空室气压7×10-3 Pa,黄铜与铝青铜的质量份数比10∶1,退火温度410°C。所得膜层的颜色可与16K-24K黄金相媲美。 展开更多
关键词 不锈钢 仿金薄膜 黄铜 铝青铜 真空蒸镀 退火 正交试验
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聚氯乙烯薄膜富集原子发射光谱法及原子吸收光度法测定地质试样中的痕量金和钯 被引量:3
15
作者 苏庆平 张辉俊 尹立华 《黄金》 CAS 北大核心 1993年第9期39-42,共4页
本文研究了金、钯的膜富集条件和发射光谱测定条件.经实验证明,本法具有富集倍数高,分析方法简便、分析准确度高等特点.金回收率在90.0~102.5%之间,测定相对误差不超过16.0%;钯回收率在111.0~129.0%范围内,相对误差不超过30.0%.称取10... 本文研究了金、钯的膜富集条件和发射光谱测定条件.经实验证明,本法具有富集倍数高,分析方法简便、分析准确度高等特点.金回收率在90.0~102.5%之间,测定相对误差不超过16.0%;钯回收率在111.0~129.0%范围内,相对误差不超过30.0%.称取10g矿样,可测定含金、钯0.05g/T以上的矿样. 展开更多
关键词 薄膜 富集 测定 地质试样
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金-二氧化钛(Au-TiO_2)复合薄膜的制备及局域表面等离子体共振(LSPR)效应 被引量:4
16
作者 郑改革 赖敏 +2 位作者 徐林华 陈云云 陈玉林 《大学物理实验》 2012年第2期1-3,共3页
利用溶胶凝胶法在玻璃衬底上制备了金-二氧化钛(Au-TiO2)复合纳米薄膜,研究了热处理温度对复合薄膜表面纳米颗粒沉积的影响。利用原子力显微镜对样品进行了形貌表征,结果显示:复合薄膜是由纳米微晶组成的致密膜,温度越高越有利于Au粒子... 利用溶胶凝胶法在玻璃衬底上制备了金-二氧化钛(Au-TiO2)复合纳米薄膜,研究了热处理温度对复合薄膜表面纳米颗粒沉积的影响。利用原子力显微镜对样品进行了形貌表征,结果显示:复合薄膜是由纳米微晶组成的致密膜,温度越高越有利于Au粒子的形成。在550℃的热处理温度下,薄膜表面沉积的纳米微晶的粒径约为100nm。利用紫外-可见分光光度计测量了反射谱线,结果表明:由于局域表面等离子体共振(LSPR)的产生,在不同的热处理温度下,第一个反射峰(短波长处)不发生变化,第二个反射峰(长波长处)发生漂移(红移)。 展开更多
关键词 金-二氧化钛(Au-TiO2)复合薄膜 溶胶凝胶法 局域表面等离子体共振
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自组装金纳米粒子薄膜SERS研究 被引量:3
17
作者 余海湖 何谋春 +1 位作者 周灵德 姜德生 《胶体与聚合物》 2003年第2期10-12,共3页
采用静电自组装技术制备了金纳米粒子薄膜,研究了薄膜的表面增强拉曼散射(SERS)活性。自组装金纳米粒子薄膜具有明显的SERS效应,其中2双层薄膜的增强效应最强。金纳米粒子相互靠近但又不至于连通的状态具有最强的增强效果。若金纳米粒... 采用静电自组装技术制备了金纳米粒子薄膜,研究了薄膜的表面增强拉曼散射(SERS)活性。自组装金纳米粒子薄膜具有明显的SERS效应,其中2双层薄膜的增强效应最强。金纳米粒子相互靠近但又不至于连通的状态具有最强的增强效果。若金纳米粒子通过点、面接触形成连通网络,将导致入射光激发表面等离子体波的机率下低,使增强效果降低。 展开更多
关键词 静电自组装法 制备 金纳米粒子 单层膜 多层膜 SERS活性 薄膜
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多晶金薄膜电子-声子耦合
18
作者 马维刚 王海东 +1 位作者 张兴 王玮 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第S1期48-53,共6页
随着电子器件和高频雷达等的尺寸减小、工作频率提高及飞秒激光超快加工的广泛应用,金属中的电子-声子耦合都成为重要的影响因素。对于尺寸效应会不会增强多晶金属薄膜的电子-声子耦合仍然存在争议。本文采用飞秒激光背面泵浦-表面探测... 随着电子器件和高频雷达等的尺寸减小、工作频率提高及飞秒激光超快加工的广泛应用,金属中的电子-声子耦合都成为重要的影响因素。对于尺寸效应会不会增强多晶金属薄膜的电子-声子耦合仍然存在争议。本文采用飞秒激光背面泵浦-表面探测热反射方法,对不同厚度金薄膜中的电子-声子耦合过程进行了实验研究。研究结果表明薄膜中的电子-声子耦合和体材料基本相同,并且不随薄膜厚度及晶粒尺寸发生变化。通过对表面和晶界对电子-声子耦合的机理分析发现,在多晶薄膜中电子弛豫通过电子-声子、电子-晶界及电子-表面耦合实现,但是电子与晶界及表面的耦合作用远比和声子的耦合弱,因此多晶薄膜的电子-声子耦合过程和体材料相近,且不随薄膜厚度发生变化。 展开更多
关键词 电子-声子耦合 金薄膜 泵浦-探测热反射 飞秒激光
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检测三磷酸腺苷的交流阻抗型适体传感器
19
作者 闫艳霞 姜利英 +2 位作者 王芬芬 胡杰 岳保磊 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第2期105-109,114,共6页
摘要:将一端标记具有可逆电化学行为的电活性基团二茂铁、另一端标记巯基的三磷酸腺苷(ATP)适体SS—DNA组装到薄膜金电极上,构筑了一种可灵敏检测ATP浓度的交流阻抗型适体传感器。首先研究了适体传感器的自组装方法,然后利用交流... 摘要:将一端标记具有可逆电化学行为的电活性基团二茂铁、另一端标记巯基的三磷酸腺苷(ATP)适体SS—DNA组装到薄膜金电极上,构筑了一种可灵敏检测ATP浓度的交流阻抗型适体传感器。首先研究了适体传感器的自组装方法,然后利用交流阻抗法研究了适体传感器在铁氰化钾(K3Fe(CN)6)和亚铁氰化钾(K4Fe(CN)6)混合溶液中的电极表面电子传递阻抗和被测物ATP浓度之间的关系,最后对自组装的阻抗型适体传感器的电化学特性进行了分析。实验表明:利用自纽装的适体传感器检测ATP浓度时,适体传感器检出限低,线性检测范围宽,重复性好,其中检出限为0.5μmol/L,线性检测范围为0.5~100μmol/L,线性度为0.9989,连续5次测量的相对标准差为1.5%。 展开更多
关键词 三磷酸腺苷(ATP) 适体传感器 交流阻抗 薄膜金电极 二茂铁
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热光VOA金薄膜互连线间距优化建模与仿真
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作者 丁善婷 徐蕾 黄飞 《湖北工业大学学报》 2017年第1期97-100,共4页
随着电子器件功能的不断增强,薄膜互连线个数和排布密度也在逐渐增加,使得器件的整体尺寸增大,不利于器件的小型化和集成化。而优化薄膜互连线间距排布是实现器件小型、微型化的有效方法之一。基于热光VOA金薄膜互连线加热模型,运用有... 随着电子器件功能的不断增强,薄膜互连线个数和排布密度也在逐渐增加,使得器件的整体尺寸增大,不利于器件的小型化和集成化。而优化薄膜互连线间距排布是实现器件小型、微型化的有效方法之一。基于热光VOA金薄膜互连线加热模型,运用有限元仿真软件得到金薄膜互连线加热下聚合物光波导温度分布,并分析多根金薄膜互连线加热下不同间距时的交互作用。仿真结果表明:随着互连线间距缩小,多根互连线加热所产生的交互作用增强,100μm互连线间距有优化空间。根据所建模型试制样品,对样品进行可靠性实验。实验表明,优化薄膜互连线间距排布方法是行之有效的。 展开更多
关键词 热光VOA 金薄膜互连线 交互作用 有限元仿真
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