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OBSERVATION ON DEFECTS IN POLYCRYSTALLINE SILICON THIN FILMS
1
作者 Y.F.Hu H.Shen +3 位作者 L.Wang Z.C.Liang Z.Y.Liu L.S.Wen 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第3期295-299,共5页
Polycrystalline silicon thin films were prepared by RTCVD (rapid thermal chemica l vapor deposition) method on several substrates such as SSP (silicon sheet from powder) ribbon, poly-Si wafer and mono-Si wafer. Intra-... Polycrystalline silicon thin films were prepared by RTCVD (rapid thermal chemica l vapor deposition) method on several substrates such as SSP (silicon sheet from powder) ribbon, poly-Si wafer and mono-Si wafer. Intra-granular defects such as stacking faults, twins and microstructure defects were investigated on thin fil ms by scan electron microscopy (SEM) technique. 展开更多
关键词 poly-Si thin film intra-granular defects surface CROSS-SECTION
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TiO_2/PtO-Pt复合膜和SnO_2/PtO-Pt复合膜氢敏性能的研究 被引量:10
2
作者 牟勇燕 杜雪岩 +2 位作者 王远 郭洪猷 桂琳琳 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2003年第1期8-12,共5页
将PtO Pt纳米粒子膜与TiO2 ,SnO2 纳米粒子膜复合 ,利用PtO Pt纳米粒子膜作为插入电极和催化剂 ,设计并研制出一类新型双层结构复合膜气体传感器 .采用TEM和SEM对薄膜的显微结构进行了表征 .对空气中 4 0 %H2 的氢敏性能研究表明 :2 0 ... 将PtO Pt纳米粒子膜与TiO2 ,SnO2 纳米粒子膜复合 ,利用PtO Pt纳米粒子膜作为插入电极和催化剂 ,设计并研制出一类新型双层结构复合膜气体传感器 .采用TEM和SEM对薄膜的显微结构进行了表征 .对空气中 4 0 %H2 的氢敏性能研究表明 :2 0 0℃时 ,TiO2 /PtO Pt复合膜对氢气的灵敏度为 70 % ,而TiO2 纳米粒子膜无响应 .10 0℃时 ,SnO2 /PtO Pt复合膜的灵敏度为 92 % ,同样条件下 ,SnO2 纳米粒子膜的灵敏度仅为 4% .说明PtO Pt纳米粒子膜的催化作用能够显著提高TiO2 和SnO2 膜的氢敏性能 .另外 ,TiO2 /PtO Pt复合膜和SnO2 /PtO Pt复合膜均对空气中H2 展开更多
关键词 TiO2/PtO-Pt复合膜 SnO2/PtO-Pt复合膜 氢敏性能 PtO-Pt纳米粒子膜 TIO2薄膜 SNO2薄膜 氢气传感器 空气 氢气浓度 检测
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TiN/AlN 纳米混合膜的微结构及力学性能 被引量:7
3
作者 李戈扬 施晓蓉 +2 位作者 辛挺辉 吴亮 李鹏兴 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期162-164,共3页
通过双靶轮流反应溅射的工艺方法制备了TiN/AlN纳米混合膜.采用XRD衍射、TEM和显微硬度等测试方法对TiN/AlN纳米混合膜的微结构和力学性能进行了研究.结果表明,TiN/AlN纳米混合膜的晶粒大小为10~20... 通过双靶轮流反应溅射的工艺方法制备了TiN/AlN纳米混合膜.采用XRD衍射、TEM和显微硬度等测试方法对TiN/AlN纳米混合膜的微结构和力学性能进行了研究.结果表明,TiN/AlN纳米混合膜的晶粒大小为10~20nm;薄膜总体表现出硬度增强效果,在TiN∶AlN(体积比)≈1∶1时,薄膜硬度获得极大值HK32.25GPa. 展开更多
关键词 力学性能 氮化钛 氮化铝 纳米混合膜 微结构
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纳米复合材料的研究进展 被引量:19
4
作者 孔晓丽 刘勇兵 杨波 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2002年第4期436-441,共6页
研制开发具有特殊性质的新型纳米复合材料具有广阔的发展前景.本文对近几年来纳米复合材料的最新研究进展进行了综合论述.按照复合方式的不同,分别对4种复合体系的纳米复合材料进行了系统介绍,包括材料的结构组成,制备技术,功能特性以... 研制开发具有特殊性质的新型纳米复合材料具有广阔的发展前景.本文对近几年来纳米复合材料的最新研究进展进行了综合论述.按照复合方式的不同,分别对4种复合体系的纳米复合材料进行了系统介绍,包括材料的结构组成,制备技术,功能特性以及研究进展状况等.并对纳米复合材料的应用与发展前景进行了展望. 展开更多
关键词 纳米复合材料 纳米颗粒增强复合材料 纳米复合薄膜 纳米多层膜 结构 制备 功能
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[FePt/Ag]_n多层颗粒膜的磁学性能及微观结构 被引量:1
5
作者 程晓敏 杨晓非 +1 位作者 董凯峰 李佐宜 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期37-40,共4页
采用磁控溅射方法制备了一系列[FePt/Ag]n多层颗粒膜,经过退火处理,用原子力磁力显微镜和振动样品磁强计研究了其微观结构及磁学性能.研究结果表明:在FePt薄膜中加入适当含量的Ag有利于FePt在较低退火温度下发生有序化相变,但在FePt有... 采用磁控溅射方法制备了一系列[FePt/Ag]n多层颗粒膜,经过退火处理,用原子力磁力显微镜和振动样品磁强计研究了其微观结构及磁学性能.研究结果表明:在FePt薄膜中加入适当含量的Ag有利于FePt在较低退火温度下发生有序化相变,但在FePt有序化相变完成之后,颗粒膜中的Ag原子的扩散阻碍薄膜矫顽力的进一步提高;[FePt/Ag]n颗粒膜的晶粒及其岛状磁畴的大小随着退火温度的升高而增大;溅射成膜过程中适当的基片加温有利于降低[FePt/Ag]n颗粒膜的后续退火处理温度. 展开更多
关键词 [FePt/Ag]n颗粒膜 磁控溅射 矫顽力 微观结构 退火
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溅射方法对FePt:Ag颗粒膜磁性能及微观结构的影响 被引量:1
6
作者 程晓敏 杨晓非 +1 位作者 董凯峰 李佐宜 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期544-546,共3页
分别采用共溅射和多层膜溅射方法制备了FePt∶Ag颗粒膜。样品的磁性能和微观特性分别用振动样品磁强计(VSM)、磁力显微镜(MFM)和透射电镜(TEM)进行了表征。研究结果表明:多层膜溅射制备的FePt∶Ag颗粒膜能在较低的退火温度下发生有序化... 分别采用共溅射和多层膜溅射方法制备了FePt∶Ag颗粒膜。样品的磁性能和微观特性分别用振动样品磁强计(VSM)、磁力显微镜(MFM)和透射电镜(TEM)进行了表征。研究结果表明:多层膜溅射制备的FePt∶Ag颗粒膜能在较低的退火温度下发生有序化相变;而共溅射制备的FePt∶Ag颗粒膜经过相同的退火条件后,具有更高的矫顽力,及更细、分布更均匀的晶粒和磁畴结构。 展开更多
关键词 FePt:Ag颗粒膜 溅射方法 磁性能 微观结构
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MMIC用NiFe-SiO_x磁性金属颗粒膜电感研究 被引量:1
7
作者 孔岑 李辉 +2 位作者 张万里 陈辰 陈效建 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期208-211,共4页
在蓝宝石基的氮化镓衬底上采用射频磁控溅射结合剥离的方法制作了NiFe-SiOx磁性金属颗粒膜,利用PECVD淀积绝缘层,制备出"SiN绝缘层/NiFe-SiOx薄膜/SiN绝缘层/金属线圈"结构的平面电感。测试表明,对于单圈电感,与无磁膜结构相... 在蓝宝石基的氮化镓衬底上采用射频磁控溅射结合剥离的方法制作了NiFe-SiOx磁性金属颗粒膜,利用PECVD淀积绝缘层,制备出"SiN绝缘层/NiFe-SiOx薄膜/SiN绝缘层/金属线圈"结构的平面电感。测试表明,对于单圈电感,与无磁膜结构相对比在1 GHz时电感量有30%的提升,且对Q值影响不大;对于多圈电感,电感量与电感结构密切相关,当磁膜同时存在于线圈下和线圈之间时对电感量提升最大,但截止频率较低;而磁膜在电感线圈正下方的结构对电感量提升较前一种磁膜电感低,但截止频率较前一种磁膜电感高。 展开更多
关键词 磁性金属颗粒膜 磁膜电感 单片微波集成电路工艺 图形化磁膜
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厚度对Ni_(25)Fe_(75)-ZnO颗粒膜阻尼因子和软磁特性的影响
8
作者 周雪云 周利玲 +3 位作者 刘晓红 候翠岭 程融 姚东升 《磁性材料及器件》 CAS 2016年第5期19-22,31,共5页
采用磁控溅射制备了(Ni_(25)Fe_(75))-ZnO颗粒膜,研究了其高频动态磁性与薄膜厚度的关系,用Landau-Lifshitz-Gilbert方程计算出阻尼因子,并用一个幂函数拟合与外场的关系曲线。实验结果和拟合结果表明,动态磁化时有效阻尼系数αeff和内... 采用磁控溅射制备了(Ni_(25)Fe_(75))-ZnO颗粒膜,研究了其高频动态磁性与薄膜厚度的关系,用Landau-Lifshitz-Gilbert方程计算出阻尼因子,并用一个幂函数拟合与外场的关系曲线。实验结果和拟合结果表明,动态磁化时有效阻尼系数αeff和内禀阻尼系数αint均随着样品厚度减小而增大。αint和αeff变化的物理起源应该与微结构的不均匀性、薄膜与衬底之间的界面效应和薄膜中的混杂物有关。 展开更多
关键词 (Ni25Fe75)-ZnO颗粒膜 高频特性 薄膜厚度 阻尼 软磁特性
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颗粒合金膜Co_(20)Ni_xCu_(80-x)巨磁电阻和磁性能
9
作者 王锋 张志东 《真空》 CAS 北大核心 2006年第4期55-57,共3页
研究了用快淬制备的铸态和退火处理后的颗粒合金膜Co20N ixCu80-x(0≤X≤20)的磁电阻和磁性能。与高N i的样品相反的是,低N i的样品在低温下ΔR/R上升。无论低N i或高N i样品的剩余磁化强度M r和矫顽力HC都随退火温度的上升而增加。
关键词 巨磁电阻 快淬 颗粒合金膜
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FePt单层连续膜和颗粒膜的制备与磁性能研究 被引量:1
10
作者 王建省 裴文利 +3 位作者 杨波 李松 任玉平 秦高梧 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第13期1704-1707,共4页
利用磁控溅射在不同Ar气压下制备了不同膜厚的FePt薄膜。利用透射电镜(TEM)研究了溅射气压和膜厚对薄膜形貌的影响,利用振动样品磁强计(VSM)研究了溅射气压和膜厚对薄膜磁性能的影响。结果表明溅射气压和膜厚对溅射态单层FePt薄膜的表... 利用磁控溅射在不同Ar气压下制备了不同膜厚的FePt薄膜。利用透射电镜(TEM)研究了溅射气压和膜厚对薄膜形貌的影响,利用振动样品磁强计(VSM)研究了溅射气压和膜厚对薄膜磁性能的影响。结果表明溅射气压和膜厚对溅射态单层FePt薄膜的表面形貌、颗粒尺寸有很大影响。随着溅射气压的增大,颗粒尺寸减小,从连续膜转变成颗粒膜;随着膜厚的增加,颗粒尺寸变大,从颗粒膜变成连续膜。通过调节溅射气压可以控制FePt的岛状结构,从而获得较理想的FePt颗粒薄膜。溅射气压和膜厚对经过热处理的L10-FePt薄膜的磁性能有很大影响。随着溅射气压增加,形核场由正值转变成负值,矩形比有增大趋势;随着厚度的增加,无序-有序相转变更充分。 展开更多
关键词 颗粒膜 L10-FePt 溅射参数
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磁性金属-绝缘体颗粒薄膜 被引量:1
11
作者 刘晖 李振声 +2 位作者 刘毅 张晓光 邬祥忠 《天津理工学院学报》 2003年第1期20-26,共7页
介绍了磁性金属 绝缘体颗粒薄膜的结构特征与电阻率的关系 ,评述了作为磁传感器件、高密度记录介质和读出磁头潜在应用相关的磁阻效应、巨霍尔效应、高矫顽力特性 .
关键词 磁性金属-绝缘体颗粒薄膜 电阻率温度系数 金属体积比 渗流 巨霍尔效应
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金属-绝缘体颗粒膜的巨霍尔效应研究进展
12
作者 郝身芬 王良民 +4 位作者 张兆刚 余天 李杏清 李定国 陈鹏 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第F11期217-220,共4页
介绍了金属-绝缘体颗粒膜巨霍尔效应的研究背景及样品的制备与测量,总结了近年来该领域的研究进展和应用前景,最后对研发应用中存在的问题和趋势提出了自己的看法。
关键词 金属-绝缘体颗粒膜 巨霍尔效应 金属体积分数 逾渗阈值
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Co-Ti-O纳米颗粒合金薄膜的磁阻特性
13
作者 方昭训 郑文凯 +1 位作者 赖思宇 陈锦山 《过程工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第z2期333-337,共5页
利用直流与射频磁控溅镀在二氧化硅基板上共沉积制作Co-Ti-O颗粒合金单层薄膜,并通过适当热处理,使薄膜为Co及TiOx混合结晶相.单层颗粒合金薄膜Co59.78Ti16.5O23.7/SiO2试片经1000℃热处理10min,磁阻率为0.8%,而Co27.95Ti19.33O52.72/S... 利用直流与射频磁控溅镀在二氧化硅基板上共沉积制作Co-Ti-O颗粒合金单层薄膜,并通过适当热处理,使薄膜为Co及TiOx混合结晶相.单层颗粒合金薄膜Co59.78Ti16.5O23.7/SiO2试片经1000℃热处理10min,磁阻率为0.8%,而Co27.95Ti19.33O52.72/SiO2试片经1000℃热处理10min,磁阻率高达4%. 展开更多
关键词 颗粒合金薄膜 磁阻
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Tunnel magnetoresistance (TMR) in ferromagnetic metalinsulator granular films 被引量:1
14
作者 Haili Bai Enyong Jiang 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2001年第7期529-537,共9页
We review the recently discovered tunnel-type giant magnetoresistance (GMR) in ferromagnetic metal-insulator granular thin films, which is the magnetoresistance (MR) associated with the spin-dependent tunneling betwee... We review the recently discovered tunnel-type giant magnetoresistance (GMR) in ferromagnetic metal-insulator granular thin films, which is the magnetoresistance (MR) associated with the spin-dependent tunneling between two ferromagnetic metal particles. The theoretical and experimental results including electrical resistivity, magnetoresistance and their temperature dependence are described. Limitations to the applications of the ferromagnetic metal-insulator granular films are also discussed. Additionally, a brief survey of another two magnetic properties, high- frequency property and giant Hall effect (GHE) associated strongly with the granular structures is also presented. 展开更多
关键词 FERROMAGNETIC METAL-INSULATOR granular thin films tunnel MAGNETORESISTANCE spin-dependent tunneling high-frequency property giant HALL effect.
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Fe/Pt/Cu纳米颗粒膜晶粒间的相互作用
15
作者 凌珊 贾廷力 +3 位作者 金艳梅 陈子瑜 黄佩霖 武哲 《信息记录材料》 2007年第1期43-46,共4页
本文对不同厚度的Fe/Pt/Cu纳米颗粒膜进行了等温剩磁与直流退磁剩磁曲线分析,并将其与Stoner-Wohlfarth模型对比研究。结果表明,Fe/Pt/Cu多层膜的磁性颗粒间的相互作用随着厚度的增加而增强。在剩磁曲线中,Ir(15000Oe)亦随着膜厚增加而... 本文对不同厚度的Fe/Pt/Cu纳米颗粒膜进行了等温剩磁与直流退磁剩磁曲线分析,并将其与Stoner-Wohlfarth模型对比研究。结果表明,Fe/Pt/Cu多层膜的磁性颗粒间的相互作用随着厚度的增加而增强。在剩磁曲线中,Ir(15000Oe)亦随着膜厚增加而增大;从而可以推断,晶粒间相互作用的增强能减小多层膜的剩余磁化强度,提高矫顽力。 展开更多
关键词 纳米颗粒膜 剩磁 相互作用
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纳米尺寸的C_(60)-Cu颗粒膜的制备和形貌研究
16
作者 李祥 侯建国 吴自勤 《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第1期41-45,共5页
本文采用双源共蒸的方法,在室温、100℃和160℃的NaCl衬底上,制备了不同组分的CuC60颗粒膜并在160℃对样品进行了退火研究,结果表明样品的热稳定性较好,退火对样品的微结构影响不显著,这可以由金属铜和C60之间的强的互作用来解释。样品... 本文采用双源共蒸的方法,在室温、100℃和160℃的NaCl衬底上,制备了不同组分的CuC60颗粒膜并在160℃对样品进行了退火研究,结果表明样品的热稳定性较好,退火对样品的微结构影响不显著,这可以由金属铜和C60之间的强的互作用来解释。样品的TEM和AFM形貌和结构研究表明,薄膜的颗粒度大小与沉积温度及沉积速率和金属C60相对组分有关。 展开更多
关键词 薄膜 纳米颗粒 电荷转移 碳60
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Fe_(3)O_(4)@BiFeO_(3)纳米颗粒膜的结构及多铁性
17
作者 唐平 欧阳辉 +1 位作者 周雷 王军 《磁性材料及器件》 CAS 2023年第5期18-27,共10页
为制备铁磁性和铁电性能兼优的BiFeO_(3)(简写为BFO)基多铁性复合薄膜材料,采用低成本溶胶-凝胶旋涂法将铁磁性Fe_(3)O_(4)(简写为FO)颗粒嵌入铁电性BFO薄膜中,在单晶硅衬底上构建自下而上生长的三层夹心结构的多铁性颗粒膜体系:即BFO(... 为制备铁磁性和铁电性能兼优的BiFeO_(3)(简写为BFO)基多铁性复合薄膜材料,采用低成本溶胶-凝胶旋涂法将铁磁性Fe_(3)O_(4)(简写为FO)颗粒嵌入铁电性BFO薄膜中,在单晶硅衬底上构建自下而上生长的三层夹心结构的多铁性颗粒膜体系:即BFO(缓冲层)/FO@BFO(颗粒膜)/BFO(表面覆盖层),成功制备出BFO表面覆盖层依次增厚的颗粒膜样品,以及用于对照的纯BFO薄膜。对各样品的结构、形貌及磁电性能进行了表征和测试。结果表明,除了BFO覆盖层最薄的样品,其它颗粒膜材料均为纯相结构,无杂相产生。BFO覆盖层能有效防止颗粒膜铁电性能的恶化,颗粒膜样品的最大极化强度小于纯BFO薄膜,但其剩余极化强度远大于纯BFO薄膜。此外,颗粒膜的磁学性能相比于纯BFO薄膜有了显著提高,且随着BFO覆盖层厚度的增大而增强。 展开更多
关键词 四氧化三铁 铁酸铋 颗粒膜 溶胶凝胶旋涂法 多铁性
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(CoFe)_(1-x)Ag_x颗粒巨磁电阻薄膜的磁折射效应研究
18
作者 钟智勇 刘爽 +1 位作者 张怀武 石玉 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期1520-1523,共4页
在线非接触测试巨磁电阻效应对磁电子器件的工业化生产具有重要的意义 .用红外光谱研究了 (CoFe) 1 -xAgx颗粒薄膜的磁折射效应 ,研究表明在红外波段 ,一级近似可以认为巨磁电阻比值与磁折射变化率成正比 ,可以利用磁折射效应作为在线... 在线非接触测试巨磁电阻效应对磁电子器件的工业化生产具有重要的意义 .用红外光谱研究了 (CoFe) 1 -xAgx颗粒薄膜的磁折射效应 ,研究表明在红外波段 ,一级近似可以认为巨磁电阻比值与磁折射变化率成正比 ,可以利用磁折射效应作为在线非接触工具测量与自旋散射相关的巨磁电阻效应 . 展开更多
关键词 巨磁电阻效应 磁折射效应 颗粒磁性薄膜 红外光谱分析 自旋散射
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复杂体系流变性及其计算机模拟研究进展
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作者 周光正 《计算机与应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第10期1363-1369,共7页
随着科学技术的发展,流变学的研究范围越来越广,同时受到越来越多的重视。本文在概述流变学这门学科基本内容和发展历史的基础上,重点分析了聚合物流体、颗粒流、泡沫以及薄膜润滑这几个热门领域所取得的进展。在描述各领域中流体宏观... 随着科学技术的发展,流变学的研究范围越来越广,同时受到越来越多的重视。本文在概述流变学这门学科基本内容和发展历史的基础上,重点分析了聚合物流体、颗粒流、泡沫以及薄膜润滑这几个热门领域所取得的进展。在描述各领域中流体宏观行为特征的基础上,着重强调物质内在的结构变化以及对应的本构关系的表现形式。同时,鉴于计算的重要性,突出了不同的计算方法在流变学研究上的应用和发展。 展开更多
关键词 流变学 非牛顿流体 聚合物液体 颗粒流 泡沫 薄膜润滑
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