面向IC测试技术的精密运动平台的设计

文中主要介绍了一个能用于IC测试设备的高速高精度的精密运动平台。该平台是芯片测试设备——全自动探针台关键部件,它可以实现X、Y、Z、θ四个方向的运动。对平台进行了整体结构设计和电气硬件搭建,并对其传动精度进行了校核计算。通过大量的实验分析其点对点控制的运动和定位精度,证明其精度和可靠性完全满足芯片测试的要求。