期刊文献+
共找到5篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
高阻硅基铝硅合金弹性膜MEMS相移器 被引量:3
1
作者 石艳玲 卿健 +2 位作者 忻佩胜 朱自强 赖宗声 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第9期972-976,共5页
级联式 MEMS相移器可通过悬浮于共平面波导之上的微机械可调电容的变化 ,来改变传输线的特性阻抗和相速 ,达到相移的目的 .文中讨论了 MEMS相移器特性对微机械电容和下拉电压的要求 ,并通过轻质量的铝硅合金弹性膜 ,获得了较低的下拉电... 级联式 MEMS相移器可通过悬浮于共平面波导之上的微机械可调电容的变化 ,来改变传输线的特性阻抗和相速 ,达到相移的目的 .文中讨论了 MEMS相移器特性对微机械电容和下拉电压的要求 ,并通过轻质量的铝硅合金弹性膜 ,获得了较低的下拉电压 .测试结果表明 ,相移器的下拉电压不大于 4 0 V,且当控制电压大于 10 V时 ,即有明显的相移 .该 MEMS相移器制备于电阻率大于 4 0 0 0 Ω· cm的高阻硅衬底上 ,获得了较好的传输特性 ,在整个测试频段 1~ 4 0 GHz,S2 1 均小于 3d B,并在 2 5 V时获得了大于 2 5°的相移量 . 展开更多
关键词 铝硅合金弹性膜 MEMS相移器 高阻硅 hr-si 下拉电压
下载PDF
基于高阻硅的毫米波IPD滤波器研究 被引量:6
2
作者 吕立明 曾荣 +1 位作者 方芝清 魏启甫 《微波学报》 CSCD 北大核心 2018年第4期87-90,共4页
5G通信迫切需要毫米波集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD),要求该类器件低成本、高性能。基于高阻硅(High Resistivity Silicon,HRS)工艺设计并加工了一款四阶交叉耦合毫米波微带滤波器,基于测试结果和有耗耦合矩阵理论... 5G通信迫切需要毫米波集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD),要求该类器件低成本、高性能。基于高阻硅(High Resistivity Silicon,HRS)工艺设计并加工了一款四阶交叉耦合毫米波微带滤波器,基于测试结果和有耗耦合矩阵理论反提取得到四阶滤波器谐振器的真实无载品质因素。进而对高阻硅基的毫米波工艺参数(例如,损耗角正切)进行修正,利用电磁仿真软件进行验证;分析了金属粗糙度对于滤波器损耗的影响。修正后的模型仿真结果和测试结果吻合较好,验证了修正后毫米波段高阻硅基参数的有效性,为芯片级毫米波无源器件的设计提供了支撑。 展开更多
关键词 毫米波 微带滤波器 高阻硅 集成无源器件
下载PDF
无线通讯用硅基微小天线的设计与制作
3
作者 郭兴龙 蔡描 +2 位作者 刘蕾 游淑珍 赖宗声 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期361-365,共5页
采用微电子工艺在高电阻率硅片上设计和制备了一种新颖紧凑共平面波导馈电天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,经过实验测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5dB,谐振频率约为3GHz,此天线有利于天线集... 采用微电子工艺在高电阻率硅片上设计和制备了一种新颖紧凑共平面波导馈电天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,经过实验测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5dB,谐振频率约为3GHz,此天线有利于天线集成和与CMOS工艺等的兼容,并且对于无人驾驶飞机、卫星等飞行器的雷达和通讯等天线系统的设计具有参考价值。 展开更多
关键词 微小天线 高电阻率硅片 集成电路工艺
下载PDF
碳场电子发射体的应用研究
4
作者 刘光诒 李宏彦 +5 位作者 夏善红 吕永积 王建英 吕庆年 王德安 丁耀根 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期88-92,共5页
本研究涉及几种自制碳场电子发射体,介绍探索这些碳场电子发射体应用的过程中,在真空电子学、真空微/纳电子学(VME/VNE)领域内获得成功的方面。研究工作涉及到了一些新开发的真空微电子学与真空电子学器件,如采用耐高温碳场电子发射体(C... 本研究涉及几种自制碳场电子发射体,介绍探索这些碳场电子发射体应用的过程中,在真空电子学、真空微/纳电子学(VME/VNE)领域内获得成功的方面。研究工作涉及到了一些新开发的真空微电子学与真空电子学器件,如采用耐高温碳场电子发射体(CFE)与平滑型碳场电子发射体(SCFE)的氖发光管,采用平滑型耐高温碳场电子发射体(SCFE)、阵列硅场电子发射体(Si-FEA)的封离式全玻璃平板真空荧光光源管(FP-VFLT),采用寻址式碳纳米管(CNT)薄膜阵列场电子发射体(CNT-FEA)的封离式全玻璃平板摄像管(FCT)与平板显像管(FDT),采用碳纳米管(CNT)薄膜场电子发射体的封离式全玻璃超薄平板字符管(FCT)。碳场电子发射体的应用研究工作也涉及到一种商用真空X射线管,及大面积碳纳米管(CNT)薄膜作为微波吸收材料的初步探讨。本文报导了这些研究工作达到的阶段成果。 展开更多
关键词 耐高温碳场电子发射体(CFE) 平滑型耐高温碳场电子发射体(SCFE) 阵列硅场电子发射体(si-FEA) 碳纳米管薄膜场发射体(CNT) 寻址式碳纳米管阵列场发射体(CNT-FEA)
下载PDF
Design and fabrication of miniature antenna based on silicon substrate for wireless communications
5
作者 GUO XingLong JIN Yan LIU Lei OUYANG WeiXia LAI ZongSheng 《Science in China(Series F)》 2008年第5期586-591,共6页
In this paper, a novel compact CPW-fed slot small antenna was designed and fabricated on high-resistivity silicon (HR-Si) by micro-electronics process. The results of simulation are consistent with results of measur... In this paper, a novel compact CPW-fed slot small antenna was designed and fabricated on high-resistivity silicon (HR-Si) by micro-electronics process. The results of simulation are consistent with results of measurement for the antenna. The mode of the antenna is vertical and horizontal bidirectional radiations. The gain of antenna is 2.5 dB, and the resonance frequency approximately is 3 GHz. This fabrication can be compatible with antenna integration and CMOS process. The parameters of this antenna are for reference radar antenna system of Unmanned Aerial Vehicles (UAV), satellite transmission, and communication. 展开更多
关键词 miniature antenna high-resistivity silicon hr-si IC process
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部