Theoretical Studies of the Output Pulse with Variation of the Pumping Pulse for RF Excited CO_2 Pulsed Waveguide Laser

The behavior of a RF-excited waveguide CO2 laser in the pulse regime is studied theoretically. The output pulse evolution is studied by applying three types of pulses namely the square, sine and the triangular ones as the excitation pulses. The frequency dependence behavior of the output pulse is also presented.

影响RF激励CO_2波导激光器高效运转的因素

着重讨论了影响ＲＦ激光ＣＯ２波导激光器高效运转的几个因素，指出要提高ＲＦ功率的高效转换，必须获得均匀稳定的放电，其中阻抗匹配技术、ＲＦ源频率、气体混合比等起着重要作用。

同步调制调Q射频波导CO_2激光器研究

为了斩断调Q脉冲拖尾,提高激光器电光效率,提出了一种在机械调Q射频激励波导CO2激光器中采用同步调制的激励方式。实验研究了同步调制信号对调Q脉冲拖尾长度、脉冲宽度、峰值功率和电光效率的影响。结果表明,当同步调制信号截断时刻为-80μs时,调制调Q脉冲拖尾长度最短,为23μs;当同步调制信号无激励时长为800μs时,电光效率最高且为3%。采用同步调制的激励方式可以在有效斩断脉冲拖尾的同时保持脉冲宽度基本不变,提高了激光器的峰值功率和电光效率。

RF激励全金属CO_2激光器

本文描述了一个紧凑的封离型，ＲＦ激励全金属ＣＯ２激光器的构造和基本特性，这种激光器有着一系列优点，例如：低成本，冷却好，易装配，稳定性好，长寿命和轻便等，用这个小型设备，在３７５ｍｍ放电长度上，得到了１５ＷＴＥＭ００模激光输出。

大功率射频板条CO_(2)激光器

大功率射频板条CO_(2)激光器曾经是深熔焊接、切割的主力光源,目前主要用于超大规模集成电路晶圆退火。华中科技大学于2007年就开始了大功率射频板条CO_(2)激光器的研发,并进行大量的理论研究和产业化工作。本文介绍了射频板条CO_(2)激光器的国内外发展动态;重点分析了激光器的结构设计、(板条)面积放大、扩散冷却、激励电源、射频传输、阻抗匹配、射频气体放电等离子体、放电均匀性、电极热效应、非稳-波导混合腔、激光功率提取、输出光束特性、光束整形等核心技术;展望了射频板条CO_(2)激光器在超大规模集成电路晶圆激光退火中的重要创新应用。

射频激励双通道不等长电极波导CO_(2)激光器的外差频率调制研究

报道了采用不等长电极结构的射频激励双通道波导 CO2 激光器 ,通过调节射频电源功率的方法可以调谐双通道输出激光的外差频率 ,其调谐率约为 0 .1MHz/W。在未采取任何稳频措施时 ,其短期外差频率稳定性可达 10 -10 。还在理论上分析了射频功率调谐外差频率的原理。

射频激励扩散冷却板条CO_(2)激光器技术发展

扩散冷却、射频激励的板条结构CO_(2)激光器具有效率高、体积小和光束质量好的优势,在激光精密退火、工业加工等应用领域越来越被重视。高功率射频激励、扩散冷却板条CO_(2)激光器在千瓦级及以上的CO_(2)激光精密加工及微电子装备中占有重要地位,已成为高功率、高光束质量连续CO_(2)激光器的主流发展方向。就CO_(2)激光器技术发展,重点围绕射频驱动板条结构高功率CO_(2)激光器技术的国内外研究动态进行了调研,梳理了技术发展阶段及应用情况,并对技术发展趋势进行了展望。

高频调制射频激励紧凑型波导CO_2激光器的实验研究

采用增益调制技术．获得最高达２００ｋＨｚ高重复频率的激光调制方脉冲输出，当重复频率小于２０ｋＨｚ时，获得尖峰前沿方脉冲输出，其尖峰峰值功率大于方脉冲功率的３倍。