一种新型高温真空焙烧炉的结构设计

设计了一种新型高温真空焙烧炉,介绍了技术特点,给出了设备结构。应用结果表明,该焙烧炉生产出的5A分子筛吸附剂产品质量好、产量高、能耗低,为企业带来了良好的社会效益和经济效益,设备亦可推广应用至其他领域。

真空烤盘炉研制及石墨盘清洁效果检测方法

在金属有机化学气相沉积(MOCVD)外延生长过程中作为衬底片承载器的石墨盘表面不可避免地会附着GaN、AlN等残留沉积物,其会导致外延生长异常甚至失败,因此石墨盘表面清洁十分重要。介绍了所研制真空烤盘炉的结构、功能以及烤盘工艺,并提出一种利用X射线荧光(XRF)光谱分析法量化盘面清洁效果的方法。以单片6英寸(1英寸≈2.54 cm)衬底片的石墨盘为例,利用XRF光谱分析方法对石墨盘清洁前后的盘面元素组成进行测试,结果显示XRF光谱分析法可准确且稳定地表征石墨盘清洁效果,并且该真空烤盘炉可几乎完全清除石墨盘表面Ga的化合物,为石墨烤盘工艺和行业制定石墨盘清洁的合格标准提供参考。

预焙阳极焙烧炉多功能机组吸料系统的改进

焙烧多功能机组能否正常运行是决定焙烧炉连续运转的关键设备。针对多功能机组吸料系统在实际工作中出现的故障,对多功能机组吸料系统的吸料口、压缩空气罐与空压机之间的单向阀、脉冲阀的工作频率、冷却器底板进行了改进和调整,实践证明取得了很好的效果,减少了维修次数,大大提高了焙烧炉运转效率。