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(100)面金刚石的扩散形成
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作者 邱万奇 刘正义 +3 位作者 陈剑惠 周克崧 代明江 王德政 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 1999年第2期20-24,共5页
在纯氢气气氛中对用HFCVD法制备的无晶面的微晶金刚石薄膜进行了扩散热处理,结果表明,微晶金刚石在扩散热处理过程中将选择性长大,形成(100)面金刚石,对低压合成金刚石过程中形成(100)面金刚石和扩散热处理中形成的... 在纯氢气气氛中对用HFCVD法制备的无晶面的微晶金刚石薄膜进行了扩散热处理,结果表明,微晶金刚石在扩散热处理过程中将选择性长大,形成(100)面金刚石,对低压合成金刚石过程中形成(100)面金刚石和扩散热处理中形成的(100)面金刚石的机理作了讨论。 展开更多
关键词 热丝 金刚石 微晶 扩散 (100)面 合成
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