六氟化钨中微量氟化氢的红外光谱分析

采用红外光谱法对六氟化钨（WF6）中的氟化氢（HF）进行定量分析,HF共有8个吸收峰,考虑定量的灵敏度及避免测定干扰,选择波数4 039.2 cm–1作为HF的定量峰位。通过测定不同含量的HF标准气体,建立其含量与定量峰位的吸光度相对应的标准曲线。标准曲线的线性范围（体积分数）为1.60×10–6~10×10–6,相关系数为0.999 4。该方法简便快捷,结果重复性好,可应用于工业化生产的分析。

六氟化硫中氟化氢标准气体制备

在实验室条件下采用渗透法动态制备六氟化硫中氟化氢标准气体。将装有氟化氢的渗透管置于一定温度、压力下,氟化氢以一定的渗透率扩散到渗透管外,通过六氟化硫连续、稳定地流过渗透管可得到稳定的不同浓度的标准气体。采用检测管和分光光度法验证了该方法的准确性,渗透法制备的氟化氢标准气体的目标值与测定值的相对偏差在±10%以内。当制备的六氟化硫中氟化氢标准气体的体积分数为11.56μL/L时,相对扩展不确定度为6.62%(k=2)。