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空间太阳电池玻璃盖板表面超薄ITO防静电层的设计及制备工艺
1
作者
金鹤
周灵平
+3 位作者
朱家俊
符立才
杨武霖
李德意
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第17期158-162,共5页
ITO/MgF2复合薄膜既具有较好的表面导电性能又具有较高的透过率,可应用于空间太阳电池玻璃盖板表面。文章主要对ITO/MgF2复合薄膜中表层的超薄ITO薄膜进行了研究。利用TFCalc软件模拟了ITO薄膜厚度对ITO/MgF2复合薄膜光学性能的影响,根...
ITO/MgF2复合薄膜既具有较好的表面导电性能又具有较高的透过率,可应用于空间太阳电池玻璃盖板表面。文章主要对ITO/MgF2复合薄膜中表层的超薄ITO薄膜进行了研究。利用TFCalc软件模拟了ITO薄膜厚度对ITO/MgF2复合薄膜光学性能的影响,根据模拟结果采用电子束蒸发法在衬底上依次沉积MgF2薄膜和氧化铟锡(ITO)薄膜,研究了ITO薄膜工艺参数(沉积速率、沉积温度和工作气压)和ITO薄膜厚度对ITO/MgF2复合薄膜光电性能及微观结构的影响。当ITO薄膜沉积速率为0.05nm/s、沉积温度为400℃、工作气压为2.3×10^(-2) Pa、厚度为10nm时,表层ITO薄膜基本连续,其方块电阻(1.94kΩ/)已符合设计需求,ITO/MgF2复合薄膜在可见光区间(400~800nm)的平均透过率达到89.00%。
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关键词
氧化铟锡(
ito
)薄膜
防静电
空间太阳电池
mgf
2
薄膜
电子束蒸发
玻璃盖板
下载PDF
职称材料
题名
空间太阳电池玻璃盖板表面超薄ITO防静电层的设计及制备工艺
1
作者
金鹤
周灵平
朱家俊
符立才
杨武霖
李德意
机构
湖南大学材料科学与工程学院
湖南省喷射沉积技术重点实验室
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第17期158-162,共5页
基金
国家自然科学基金(51401080)
文摘
ITO/MgF2复合薄膜既具有较好的表面导电性能又具有较高的透过率,可应用于空间太阳电池玻璃盖板表面。文章主要对ITO/MgF2复合薄膜中表层的超薄ITO薄膜进行了研究。利用TFCalc软件模拟了ITO薄膜厚度对ITO/MgF2复合薄膜光学性能的影响,根据模拟结果采用电子束蒸发法在衬底上依次沉积MgF2薄膜和氧化铟锡(ITO)薄膜,研究了ITO薄膜工艺参数(沉积速率、沉积温度和工作气压)和ITO薄膜厚度对ITO/MgF2复合薄膜光电性能及微观结构的影响。当ITO薄膜沉积速率为0.05nm/s、沉积温度为400℃、工作气压为2.3×10^(-2) Pa、厚度为10nm时,表层ITO薄膜基本连续,其方块电阻(1.94kΩ/)已符合设计需求,ITO/MgF2复合薄膜在可见光区间(400~800nm)的平均透过率达到89.00%。
关键词
氧化铟锡(
ito
)薄膜
防静电
空间太阳电池
mgf
2
薄膜
电子束蒸发
玻璃盖板
Keywords
indium tin oxide (ito) film
,
anti-static
,
space solar cell
,
mgf2 thin film
,
electron beam evaporation
,
glass cover
分类号
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
空间太阳电池玻璃盖板表面超薄ITO防静电层的设计及制备工艺
金鹤
周灵平
朱家俊
符立才
杨武霖
李德意
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
0
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职称材料
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