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VHF-PECVD制备微晶硅材料及电池初步研究 被引量:4
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作者 张晓丹 朱锋 +4 位作者 赵颖 薛俊明 孙建 耿新华 熊绍珍 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期789-793,共5页
研究了用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)方法制备的不同沉积气压下的微晶硅薄膜样品。随着沉积气压的逐渐增大,样品的沉积速率也逐渐增大;样品的光敏性和激活能测试结果表明:随气压的变化两者发生了规律性一致的变化;傅立... 研究了用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)方法制备的不同沉积气压下的微晶硅薄膜样品。随着沉积气压的逐渐增大,样品的沉积速率也逐渐增大;样品的光敏性和激活能测试结果表明:随气压的变化两者发生了规律性一致的变化;傅立叶变换红外(FTIR)测试表明制备的样品中含有一定量的氧,使得样品呈现弱n型;室温微区喇曼光谱测试分析得到样品的微晶化特征与IR的分析是一致的,用高斯函数对喇曼谱解谱分析定量得出了晶化程度;分析了H处理p/I界面对电池性能的影响;首次在国内用VHF-PECVD制备出效率达4.24%的微晶硅电池。 展开更多
关键词 甚高频等离子体增强化学气相沉积 微晶硅薄膜 微晶硅电池 微区喇曼光谱 傅立叶变换红外光谱
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激光诱导化学气相沉积纳米硅的红外光谱 被引量:1
2
作者 王卫乡 刘颂豪 +1 位作者 李道火 刘宗才 《量子电子学》 CAS CSCD 1996年第1期67-73,共7页
对激光化学气相沉积纳米硅的红外光谱进行了研究,结合红外光声光谱考察了退火处理对其红外光谱吸收峰位置的影响,对纳米硅的红外吸收峰进行了标识和讨论。
关键词 红外光谱 纳米硅 激光 化学气相沉积
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激光合成纳米硅的红外光声光谱 被引量:1
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作者 王卫乡 刘颂豪 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 1996年第1期28-34,共7页
利用光声技术对激光气相沉积的纳米硅进行了红外光声光谱的研究,考察了红外光声谱随退火处理和外加压力的变化行为,给出了纳米硅红外吸收峰的指认和解释,讨论了固态效应对吸收峰位置的影响.
关键词 红外光谱 光声光谱 纳米硅 激光合成 半导体
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退火处理对激光诱导化学气相沉积制备纳米硅红外光谱的影响
4
作者 张海燕 陈可心 +2 位作者 刘颂豪 梁礼正 王卫乡 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2000年第S2期169-173,共5页
研究激光诱导化学相沉积(LICVD)法制备纳米硅粒子的工艺过程,分析了影响纳米硅形成及尺寸的主要工艺参数,获得了最佳的工艺条件并讨论了退火处理对纳米硅红外光谱各吸收峰的强度。
关键词 纳米硅 激光诱导化学气相沉积(LICVD) 红外光谱
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激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅及粉体光谱特性研究 被引量:7
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作者 王锐 李道火 +2 位作者 黄永攀 罗丽明 浦坦 《中国粉体技术》 CAS 2003年第4期35-38,共4页
研究了激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅的工作原理,提出了减少游离硅的措施,利用双光束激发制备得到了超微的、非晶纳米氮化硅粉体。实验证明,纳米氮化硅粉体具有很多奇异物理性能和光谱特性。
关键词 激光诱导化学气相沉积法 氮化硅 纳米粉体 红外吸收光谱 拉曼光谱
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Ultra-broad near-infrared emission of Bi-doped SiO_2 Al_2O_3 GeO_2 optical fibers
6
作者 吴金东 陈丹平 +1 位作者 吴兴坤 邱建荣 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第7期65-68,共4页
Bi-doped SiO2-Al2O3-GeO2 fiber preforms are prepared by modified chemical vapor deposition (MCVD) and solution doping process. The characteristic spectra of the preforms and fibers are experimentally investigated, a... Bi-doped SiO2-Al2O3-GeO2 fiber preforms are prepared by modified chemical vapor deposition (MCVD) and solution doping process. The characteristic spectra of the preforms and fibers are experimentally investigated, and a distinct difference in emission between the two is observed. Under 808-nm excitation, an ultra-broad near-infrared (NIR) emission with full-width at half-maximum (FWHM) of 495 nm is observed in the Bi-doped fiber. This observation, to our knowledge, is the first in this field. The NIR emission consists of two bands, which may be ascribed to the Bi0 and Bi+ species, respectively. This Bi-doDed fiber is promising for broadband or)tical amolification and widely tunable laser. 展开更多
关键词 Broadband amplifiers chemical vapor deposition Fibers Germanium oxides infrared devices laserS Optical fibers Preforming silicon compounds
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激光CVD纳米氮化硅的制备工艺研究 被引量:4
7
作者 王卫乡 刘颂豪 +1 位作者 李道火 刘宗才 《应用激光》 CSCD 北大核心 1995年第3期97-99,126,共4页
研究了激光诱导化学气相沉积纳米氮化硅的制备工艺过程,探讨了制备工艺参数与粉末特征的关系,获得较佳的工艺参数:激光功率密度2000W/cm2,反应气体配比ΦNH3/ΦSH4=4,反应气体总流量200cm3/s,反应池压... 研究了激光诱导化学气相沉积纳米氮化硅的制备工艺过程,探讨了制备工艺参数与粉末特征的关系,获得较佳的工艺参数:激光功率密度2000W/cm2,反应气体配比ΦNH3/ΦSH4=4,反应气体总流量200cm3/s,反应池压力35kPa。 展开更多
关键词 激光诱导 化学气相沉积 纳米级 氮化硅 制备
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激光合成纳米硅的可见发光 被引量:1
8
作者 王卫乡 张季波 +2 位作者 李国明 吴育槐 曾志坚 《应用激光》 CSCD 北大核心 1996年第5期193-195,220,共4页
研究了激光CVD合成纳米硅(平均粒径为14nm)的可见发光特性。用300-450nm波长激发时,在400-650nm区间观测到了发射宽峰。首次发现粒径大于10nm的纳米硅在室温下具有可见发光,该现象可用量子限制/发光... 研究了激光CVD合成纳米硅(平均粒径为14nm)的可见发光特性。用300-450nm波长激发时,在400-650nm区间观测到了发射宽峰。首次发现粒径大于10nm的纳米硅在室温下具有可见发光,该现象可用量子限制/发光中心模型来作定性解释。 展开更多
关键词 纳米硅 光致发光 激光CVD
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