多环陀螺由于其对称性好、机械性能优异、能耗低、效率高等特点成为MEMS陀螺领域高性能惯性器件的代表。基于MEMS多环陀螺的发展现状,针对现有多环陀螺结构刚度较大、灵敏度较低的现状,提出了一种新型的圆盘多环内双梁孤立圆环谐振陀螺...多环陀螺由于其对称性好、机械性能优异、能耗低、效率高等特点成为MEMS陀螺领域高性能惯性器件的代表。基于MEMS多环陀螺的发展现状,针对现有多环陀螺结构刚度较大、灵敏度较低的现状,提出了一种新型的圆盘多环内双梁孤立圆环谐振陀螺,通过内双梁的柔性降低了结构刚度,提高了谐振器的灵敏度。对多环谐振陀螺的主要结构进行了详细设计,对多环陀螺的振动模态进行了有限元分析。同时,提出了基于绝缘体上硅(Silicon on Insulator, SOI)工艺和基于阳极键合工艺的两种制备工艺,进行了工艺流程的设计。展开更多
文摘多环陀螺由于其对称性好、机械性能优异、能耗低、效率高等特点成为MEMS陀螺领域高性能惯性器件的代表。基于MEMS多环陀螺的发展现状,针对现有多环陀螺结构刚度较大、灵敏度较低的现状,提出了一种新型的圆盘多环内双梁孤立圆环谐振陀螺,通过内双梁的柔性降低了结构刚度,提高了谐振器的灵敏度。对多环谐振陀螺的主要结构进行了详细设计,对多环陀螺的振动模态进行了有限元分析。同时,提出了基于绝缘体上硅(Silicon on Insulator, SOI)工艺和基于阳极键合工艺的两种制备工艺,进行了工艺流程的设计。