用计算机细分干涉条纹技术的研究

本文提出了一种对干涉条纹的变化进行记录和细分的计算机系统。由于采用了一种新的细分标准，使细分干涉条纹更加合理、简便、准确。在文章的最后以实验结果验证了本系统的可靠性。

利用精细干涉条纹测量细丝直径的实验研究

探讨了利用细丝衍射图样中精细干涉条纹测量细丝直径的可行性，并设计了相应的实验光路。对实验数据的比较和分析表明，该测量方法的测量范围、离散度和不确定度均好于常规的衍射测量法。

正交光栅信号的脉宽调制细分技术

介绍了将正交光栅信号合成近似三角波，再对合成信号进行脉宽调制的细分技术。该方法的细分精度主要决定于原始正交光栅信号的稳定性，一个周期内的非线性误差可由软件修正，整个测量过程的系统误差也可由软件补偿。

用OCV细分干涉条纹技术的研究

本文介绍了一种采用光控变容二极管来细分干涉条纹技术。光控变容二极管(OVC)是一种新型半导体器件。用计算机系统采集并处理数据,能够计数和细分干涉条纹,并已获得较高的灵敏度(超过1/90条)。该技术的优点在于它的可靠性,经济性、简单而且速度高。

表面等离子体无掩膜干涉光刻系统的数值分析(英文)

表面等离子体激元具有近场增强效应,可以代替光子作为曝光源形成纳米级特征尺寸的图像.本文数值分析了棱镜辅助表面等离子体干涉系统的参量空间,并给出了计算原理和方法.结果表明,适当地选择高折射率棱镜、低银层厚度、入射波长和光刻胶折射率,可以获得高曝光度、高对比度的干涉图像.入射波长为431nm时,选择40nm厚的银层,曝光深度可达200nm,条纹周期为110nm.数值分析结果为实验的安排提供了理论支持.

用于扫描干涉场曝光的超精密微动台设计与控制

扫描干涉场曝光(SBIL)系统中曝光效果与工件台的运动性能密切相关。为了制作纳米精度的大面积平面光栅,工件台采用了粗微叠层结构设计,其中微动台是实现工件台运动精度的关键。基于SBIL原理,推导了干涉条纹周期测量精度与曝光对比度的关系。针对移动分光镜测量干涉条纹周期的方法,结合周期测量精度需求,分析了微动台定位精度指标,提出了实现微动台x、y、θz三个自由度定位精度的控制器设计方法,并在微动台系统上进行了实验验证。结果表明,微动台x方向定位精度可达±1.51nm,y方向定位精度可达±5.46nm,θz定位精度可达±0.02μrad,可以满足SBIL的需求和干涉条纹周期测量的精度要求。

细丝衍射图样中干涉条纹精细结构的研究

在激光束直接照射细丝时，发现了衍射条纹的精细结构。利用细丝衍射光强分布函数对条纹进行了分析，建立了条纹的数学表达式。

激光全息干涉条纹的计算机数字图像处理

本文就激光全息干涉条纹的背景噪音的消除、图像对比度增强的技术与方法 ,进行了研究与探讨 ,从而实现对全息干涉条纹进行细化 。