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Mechanism and enhancement of photoluminescence from silicon nanocrystals implanted in SiO_2 matrix
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作者 吴志永 刘克新 任晓堂 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第9期617-621,共5页
Photoluminescence (PL) spectra of Si nanocrystals (NCs) prepared by 130 keV Si ions implantation onto SiO2 matrix were investigated as a function of annealing temperature and implanted ion dose. PL spectra consist... Photoluminescence (PL) spectra of Si nanocrystals (NCs) prepared by 130 keV Si ions implantation onto SiO2 matrix were investigated as a function of annealing temperature and implanted ion dose. PL spectra consist of two PL peaks, originated from smaller Si NCs due to quantum confinement effect (QCE) and the interface states located at the surface of larger Si NCs. The evolution of number of dangling bonds (DBs) on Si NCs was also investigated. For bydrogen-passivated samples, a monotonic increase in PL peak intensity with the dose of implanted Si ions up to 3× 10^17 ions/cm^2 is observed. The number of DBs on individual Si NC, the interaction between DBs at the surface of neighbouring Si NCs and their effects on the efficiency of PL are discussed. 展开更多
关键词 ion implantation nanocrystals photoluminescence dangling bond
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Relative enhancement of photoluminescence intensity of passivated silicon nanocrystals in a silicon dioxide matrix
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作者 吴志永 刘克新 任晓堂 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第9期509-513,共5页
Photoluminescence (PL) intensity of passivated silicon nanocrystals (Si NCs) embedded in a SiO2 matrix is com- pared with that of unpassivated Si NCs. We investigate the relative enhancement of PL intensity (IR)... Photoluminescence (PL) intensity of passivated silicon nanocrystals (Si NCs) embedded in a SiO2 matrix is com- pared with that of unpassivated Si NCs. We investigate the relative enhancement of PL intensity (IR) as a function of annealing temperature and implanted Si ion dose. The IR increases simultaneously with the annealing temperature. This demonstrates an increase in the number of dangling bonds (DBs) with the degree of Si crystallization varying via the annealing temperature. The increase in IR with implanted Si ion dose is also observed. We believe that the near-field interaction between DBs and neighboring Si NCs is an additional factor that reduces the PL efficiency of unpassivated Si NCs. 展开更多
关键词 ion implantation nanocrystals photoluminescence dangling bond
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(Si,Er)双注入热氧化硅的光致发光 被引量:1
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作者 肖志松 徐飞 +2 位作者 张通和 程国安 顾岚岚 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期538-541,共4页
采用强流金属蒸汽真空弧 (MEVVA)离子源注入机 ,先将Si大束流注入热氧化SiO2 /单晶硅 ,直接形成镶嵌在SiO2 中的纳米晶Si,再小束流注入Er。Er离子在掺杂层中的浓度可达 10 2 1 cm-3 量级 ,大大地提高了作为孤立发光中心的Er3 +浓度。在 ... 采用强流金属蒸汽真空弧 (MEVVA)离子源注入机 ,先将Si大束流注入热氧化SiO2 /单晶硅 ,直接形成镶嵌在SiO2 中的纳米晶Si,再小束流注入Er。Er离子在掺杂层中的浓度可达 10 2 1 cm-3 量级 ,大大地提高了作为孤立发光中心的Er3 +浓度。在 77K和室温下 ,观察到了Er3 +的 1 54 展开更多
关键词 氧化硅 离子注入 纳米硅 光致发光 半导体材料 掺杂 稀土
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离子注入制备的纳米Si光致发光特性研究
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作者 董利菲 郝秋艳 刘彩池 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期276-279,共4页
将Si离子注入到热氧化生长的SiO2层,分别进行常规退火和快速退火制得含纳米晶硅薄膜。在室温下测量了样品的光致发光谱及其与退火温度的关系。实验结果表明,在900℃以上退火,可观察到纳米Si的发生;在1100℃下退火,纳米Si发光达到最强。... 将Si离子注入到热氧化生长的SiO2层,分别进行常规退火和快速退火制得含纳米晶硅薄膜。在室温下测量了样品的光致发光谱及其与退火温度的关系。实验结果表明,在900℃以上退火,可观察到纳米Si的发生;在1100℃下退火,纳米Si发光达到最强。由常规退火和快速退火样品的光致发光光谱的对比得出快速退火对纳米Si发光有增强的作用。对发光机制进行了探讨,认为其发光机理可归结为纳米Si/SiO2界面处Si=O键引起的发光。 展开更多
关键词 离子注入 纳米晶硅 光致发光
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氮团簇离子注入单晶硅的光致发光谱研究
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作者 缪竞威 王培禄 +8 位作者 朱洲森 袁学东 王虎 杨朝文 师勉恭 缪蕾 孙威立 张静 廖雪花 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期2174-2178,共5页
氮团簇离子N1+0注入单晶硅直接诱发其表层转化为纳米晶结构,导致光学性质发生显著变化.在250—320nm波段的紫外光激励下,在330—500nm光区出现明显的光发射带,并在360nm附近产生强度极高、单色性良好的发射峰,其强度达到N+注入试样或基... 氮团簇离子N1+0注入单晶硅直接诱发其表层转化为纳米晶结构,导致光学性质发生显著变化.在250—320nm波段的紫外光激励下,在330—500nm光区出现明显的光发射带,并在360nm附近产生强度极高、单色性良好的发射峰,其强度达到N+注入试样或基底的5倍,是N2+注入试样的1.5倍.在可见光区的730nm附近和近红外区的830nm附近也出现发光带.所有上述发光都非常稳定,可长时间保持其发光效率不变.这表明注入层已形成一种品质优良的光致发光材料. 展开更多
关键词 光致发光 团簇离子注入 硅单晶 纳米晶结构
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