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考虑溅射和碰撞损失的j×B离子引出收集
被引量:
1
1
作者
朱红莲
王德武
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
2003年第5期467-470,共4页
研究了j×B法离子引出收集过程。影响引出过程收集率的两个主要因素是碰撞和溅射。对引出过程中收集板的收集情况进行了数值模拟,给出了收集板电参数对引出时间、碰撞与溅射的影响。收集板电参数对引出时间和收集率有很大影响,电流j...
研究了j×B法离子引出收集过程。影响引出过程收集率的两个主要因素是碰撞和溅射。对引出过程中收集板的收集情况进行了数值模拟,给出了收集板电参数对引出时间、碰撞与溅射的影响。收集板电参数对引出时间和收集率有很大影响,电流js及其变化率的增加对离子引出是有利的。总收集率随等离子体密度增大而减小。收集板间距对引出的影响较为复杂,增大极板间距,且限制准直孔径,引出效果得以改善。
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关键词
溅射
碰撞
j×b离子引出收集
电流
等
离子
体
密度
下载PDF
职称材料
题名
考虑溅射和碰撞损失的j×B离子引出收集
被引量:
1
1
作者
朱红莲
王德武
机构
清华大学工程物理系
出处
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
2003年第5期467-470,共4页
文摘
研究了j×B法离子引出收集过程。影响引出过程收集率的两个主要因素是碰撞和溅射。对引出过程中收集板的收集情况进行了数值模拟,给出了收集板电参数对引出时间、碰撞与溅射的影响。收集板电参数对引出时间和收集率有很大影响,电流js及其变化率的增加对离子引出是有利的。总收集率随等离子体密度增大而减小。收集板间距对引出的影响较为复杂,增大极板间距,且限制准直孔径,引出效果得以改善。
关键词
溅射
碰撞
j×b离子引出收集
电流
等
离子
体
密度
Keywords
ion collection
j×
b
scheme
collision
sputtering
collecting rate
分类号
TL503.4 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
考虑溅射和碰撞损失的j×B离子引出收集
朱红莲
王德武
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
2003
1
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