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Design consideration and fabrication of 1.2-kV 4H-SiC trenched-and-implanted vertical junction field-effect transistors 被引量:2
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作者 陈思哲 盛况 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第7期649-654,共6页
We present the design consideration and fabrication of 4H-SiC trenched-and-implanted vertical junction field-effect transistors (TI-VJFETs). Different design factors, including channel width, channel doping, and mes... We present the design consideration and fabrication of 4H-SiC trenched-and-implanted vertical junction field-effect transistors (TI-VJFETs). Different design factors, including channel width, channel doping, and mesa height, are con- sidered and evaluated by numerical simulations. Based on the simulation result, normally-on and normally-off devices are fabricated. The fabricated device has a 12 μm thick drift layer with 8 × 10^15 cm^-3 N-type doping and 2.6 μm channel length. The normally-on device shows a 1.2 kV blocking capability with a minimum on-state resistance of 2.33 mΩ.cm2, while the normally-off device shows an on-state resistance of 3.85 mΩ.cm2. Both the on-state and the blocking performances of the device are close to the state-of-the-art values in this voltage range. 展开更多
关键词 silicon carbide trenched-and-implanted vertical junction field-effect transistor normally-on device normally-off device
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寄生参数对基于常通型SiC JFET器件的中压直流固态断路器过电压的影响及抑制方法
2
作者 何东 李俊桦 +2 位作者 兰征 王伟 曾进辉 《南方电网技术》 CSCD 北大核心 2024年第4期19-29,共11页
研究了寄生电感对基于常通型碳化硅(silicon carbide,SiC)结型场效应晶体管(junction field effect transistor,JFET)串联结构的中压直流固态断路器(solid state circuit breaker,SSCB)过电压的影响,并在此基础上提出了一种SSCB的过电... 研究了寄生电感对基于常通型碳化硅(silicon carbide,SiC)结型场效应晶体管(junction field effect transistor,JFET)串联结构的中压直流固态断路器(solid state circuit breaker,SSCB)过电压的影响,并在此基础上提出了一种SSCB的过电压抑制方法。首先介绍了基于常通型SiC JFET器件串联结构的SSCB拓扑及工作原理,建立了考虑完整回路寄生电感的SiC JFET串联结构开关过程的数学模型。其次利用MATLAB软件对数学模型进行解析计算,揭示了SSCB开关过程中寄生电感对SiC JFET器件串联运行时过电压的影响机理,并利用PSPICE仿真结果验证了理论分析的正确性。最后设计了一种适用于SSCB过电压抑制的单栅极驱动及缓冲电路,并通过SSCB实验样机验证了所提方法的有效性。 展开更多
关键词 固态断路器 碳化硅结型场效应晶体管 串联结构 寄生参数 过电压
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一种基于PJFET输入的高压摆率集成运算放大器
3
作者 张子扬 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第3期272-278,共7页
基于双极型集成工艺设计并制作了一种高压摆率、低输入偏置电流、低输入失调电流的运算放大器。输入级采用p沟道结型场效应晶体管(PJFET)共源结构,有利于减小输入偏置电流,提高信号接收的灵敏度,实现高输入阻抗、低偏置电流、低输入失... 基于双极型集成工艺设计并制作了一种高压摆率、低输入偏置电流、低输入失调电流的运算放大器。输入级采用p沟道结型场效应晶体管(PJFET)共源结构,有利于减小输入偏置电流,提高信号接收的灵敏度,实现高输入阻抗、低偏置电流、低输入失调电流和高压摆率。增益级采用常规的共射放大电路结构。输出级采用互补推挽输出结构,提升了驱动负载的能力,并克服交越失真。测试结果表明:在电源电压±15 V、25℃环境温度下,开环电压增益为114.49 dB,正压摆率为12.33 V/μs,负压摆率为-9.76 V/μs,输入偏置电流为42.52 pA,输入失调电流为4.23 pA,输出电压摆幅为-13.56~14.16 V,共模抑制比为105.56 dB,电源抑制比为107.91 dB。 展开更多
关键词 PJFET输入级 双极型 高压摆率 宽频带 低失调电流
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基于米勒平台电压的SiC MOSFET结温监测及校正方法
4
作者 杨桂旭 杜明星 《天津理工大学学报》 2024年第1期52-59,共8页
基于导通米勒平台电压的碳化硅金属-氧化物-半导体场效应晶体管(SiC metal-oxide-semiconductor field effect transistor,SiC MOSFET)结温监测方法受到功率回路负载电流和驱动电路电阻等参数的影响,会造成很大的测量误差。文中以降压... 基于导通米勒平台电压的碳化硅金属-氧化物-半导体场效应晶体管(SiC metal-oxide-semiconductor field effect transistor,SiC MOSFET)结温监测方法受到功率回路负载电流和驱动电路电阻等参数的影响,会造成很大的测量误差。文中以降压变化电路中的SiC MOSFET为研究对象,研究了负载电流和驱动电阻、电感对导通米勒平台电压的影响,并进行了多组校准试验,建立了新的结温监测方法。试验验证了文中提出的结温监测及校正方法的有效性,且最大误差小于6.9℃。文中提出的结温检测方法可在具有不同负载电流和驱动电阻的变换器中准确获取结温信息。 展开更多
关键词 碳化硅金属-氧化物-半导体场效应晶体管 结温监测 米勒平台电压 校正方法
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带前放压电水听器噪声建模及低噪声设计方法 被引量:1
5
作者 肖屹立 郭世旭 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第2期264-270,共7页
为满足低频压电水听器工作需求,针对带前置放大器压电水听器自噪声优化问题,理论推导二端口网络等效噪声模型,利用LTSPIC建立SPICE模型对关键器件进行噪声仿真,并基于结型场效应管设计制作低噪声放大电路。对设计的放大器及带前放水听... 为满足低频压电水听器工作需求,针对带前置放大器压电水听器自噪声优化问题,理论推导二端口网络等效噪声模型,利用LTSPIC建立SPICE模型对关键器件进行噪声仿真,并基于结型场效应管设计制作低噪声放大电路。对设计的放大器及带前放水听器自噪声测试表明,放大器等效输入噪声为8.48 nV/√Hz@1 kHz,1/f噪声拐点约为350 Hz,优于现有集成运放式放大器;带前放水听器噪声谱级为33.577 dB@1 kHz,其噪声谱级低于零级海况噪声谱。 展开更多
关键词 水听器 前置放大器 结型场效应管 噪声模型
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横向增强型双侧栅结构GaN JFET优化设计
6
作者 喻晶 缪爱林 +2 位作者 徐亮 朱鸿 陈敦军 《固体电子学研究与进展》 CAS 北大核心 2023年第5期375-380,共6页
提出了一种新型横向双侧栅结构的GaN JFET,并通过SILVACO软件对器件的沟道宽度、沟道电子浓度和p-GaN空穴浓度进行了优化,得到了阈值电压和输出电流与器件参数之间的变化规律,通过参数优化得到了增强型GaN JFET的结构参数条件。随后对... 提出了一种新型横向双侧栅结构的GaN JFET,并通过SILVACO软件对器件的沟道宽度、沟道电子浓度和p-GaN空穴浓度进行了优化,得到了阈值电压和输出电流与器件参数之间的变化规律,通过参数优化得到了增强型GaN JFET的结构参数条件。随后对设计的横向双侧栅结构增强型GaN JFET器件进行了击穿特性研究,发现当沟道长度短至0.5μm时,会出现严重的短沟道效应;当沟道长度大于1μm后,器件击穿电压由栅极与漏极间寄生PN结反向击穿决定,与沟道长度无关;采用RESURF(Reduced surface field)终端结构可以显著提升器件击穿电压,优化后的增强型GaN JFET器件击穿电压超过1200 V。此外,采用p型GaN缓冲层替代n型GaN缓冲层,能够有效提高器件的栅控能力。 展开更多
关键词 氮化镓 结型场效应晶体管 增强型 横向结构 击穿电压
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多分立电流源低噪声JFET差分放大技术研究
7
作者 李文彬 王圣捷 +2 位作者 朱平杰 叶璇 张洋 《电子测量技术》 北大核心 2023年第1期134-141,共8页
结型场效应管具有输入阻抗大、噪声低的优点,已被广泛用于设计高性能瞬变电磁传感器前置放大电路。然而,由于同一型号JFET器件间参数差异较大,多个JFET器件差分并联放大时难以匹配工作。针对这一问题,本文提出了一种基于多分立电流源的... 结型场效应管具有输入阻抗大、噪声低的优点,已被广泛用于设计高性能瞬变电磁传感器前置放大电路。然而,由于同一型号JFET器件间参数差异较大,多个JFET器件差分并联放大时难以匹配工作。针对这一问题,本文提出了一种基于多分立电流源的低噪声JFET差分放大技术,结合每一路JFET放大支路电路特性单独设计恒流源,并调整为最佳静态工作点,以消除JFET参数离散性引发的放大支路不均流、无法可靠工作问题。最后,通过LTspice仿真与实际电路测试结果表明基于该技术设计的差分放大电路能够可靠工作,其中每一JFET支路电流均为4.68mA、增益达到40.00d B,且具有较低的本底噪声(0.51n V/√Hz@1.10k Hz)。本文提出的新方法能够有效消除JFET参数离散性问题,为设计差分并联低噪声TEM传感器前置放大电路奠定良好的技术基础。 展开更多
关键词 前置放大电路 低噪声 结型场效应管 分立电流源 瞬变电磁
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Si/SiC超结LDMOSFET的短路和温度特性
8
作者 阳治雄 曾荣周 +2 位作者 吴振珲 廖淋圆 李中启 《半导体技术》 北大核心 2023年第12期1071-1076,共6页
Si/SiC超结横向双扩散金属氧化物半导体场效应管(SJ-LDMOSFET)能有效改善Si SJ-LDMOSFET阻断电压低、温度特性差和短路可靠性低的问题。采用TCAD软件对Si SJ-LDMOSFET和Si/SiC SJ-LDMOSFET的短路和温度特性进行研究。当环境温度从300 K... Si/SiC超结横向双扩散金属氧化物半导体场效应管(SJ-LDMOSFET)能有效改善Si SJ-LDMOSFET阻断电压低、温度特性差和短路可靠性低的问题。采用TCAD软件对Si SJ-LDMOSFET和Si/SiC SJ-LDMOSFET的短路和温度特性进行研究。当环境温度从300 K上升到400 K时,Si/SiC SJ-LDMOSFET内部最高温度均低于Si SJ-LDMOSFET,表现出良好的抑制自热效应的能力;Si/SiC SJ-LDMOSFET的击穿电压基本保持不变,且饱和电流退化率较低。发生短路时,Si/SiC SJ-LDMOSFET内部最高温度上升率要明显小于Si SJ-LDMOSFET。在环境温度为300 K和400 K时,Si/SiC SJ-LDMOSFET的短路维持时间相对于Si SJ-LDMOSFET分别增加了230%和266.7%。研究结果显示Si/SiC SJ-LDMOSFET在高温下具有更好的温度稳定性和抗短路能力,适用于高温、高压和高短路可靠性要求的环境中。 展开更多
关键词 超结横向双扩散金属氧化物半导体场效应管(SJ-LDMOSFET) Si/SiC异质结 击穿 短路 温度稳定性
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Humidity sensitive organic field effect transistor
9
作者 I.Murtaza Kh S.Karimov +4 位作者 Zubair Ahmad I.Qazi M.Mahroof-Tahir T.A.Khan T.Amin 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期40-44,共5页
This paper reports the experimental results for the humidity dependent properties of an organic field effect transistor.The organic field effect transistor was fabricated on thoroughly cleaned glass substrate,in which... This paper reports the experimental results for the humidity dependent properties of an organic field effect transistor.The organic field effect transistor was fabricated on thoroughly cleaned glass substrate,in which the junction between the metal gate and the organic channel plays the role of gate dielectric.Thin films of organic semiconductor copper phthalocynanine(CuPc) and semitransparent Al were deposited in sequence by vacuum thermal evaporation on the glass substrate with preliminarily deposited Ag source and drain electrodes.The output and transfer characteristics of the fabricated device were performed.The effect of humidity on the drain current,drain current-drain voltage relationship, and threshold voltage was investigated.It was observed that humidity has a strong effect on the characteristics of the organic field effect transistor. 展开更多
关键词 organic field effect transistor CUPC metal-semiconductor Schottky junction humidity sensor
原文传递
碳化硅功率器件技术综述与展望 被引量:94
10
作者 盛况 任娜 徐弘毅 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2020年第6期1741-1752,共12页
碳化硅(silicon carbide,Si C)器件作为一种宽禁带半导体器件,具有耐高压、高温,导通电阻低等优点。近20年来,Si C器件是国内外学术界和企业界的一大研究热点,该文对近些年来不同Si C器件的发展进行分类梳理,介绍二极管、结型场效应晶... 碳化硅(silicon carbide,Si C)器件作为一种宽禁带半导体器件,具有耐高压、高温,导通电阻低等优点。近20年来,Si C器件是国内外学术界和企业界的一大研究热点,该文对近些年来不同Si C器件的发展进行分类梳理,介绍二极管、结型场效应晶体管、金氧半场效晶体管、绝缘栅双极型晶体管及门极可断晶闸管器件,并对比分析器件结构及参数性能,针对关键问题展开论述。最后,对SiC器件近年的发展进行总结和展望。 展开更多
关键词 碳化硅 功率器件 二极管 结型场效应晶体管 金氧半场效晶体管 绝缘栅双极型晶体管 门极可断晶闸管
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3000V 10A 4H-SiC结型场效应晶体管的设计与制造 被引量:6
11
作者 刘涛 陈刚 +6 位作者 黄润华 柏松 陶永洪 汪玲 刘奥 李赟 赵志飞 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期187-190,共4页
介绍了一种常开型高压4H-SiC JFET的仿真与制造工艺。通过仿真对器件结构和加工工艺进行优化,指导下一步的工艺改进。在N+型4H-SiC衬底上生长掺杂浓度(ND)为1.0×1015 cm-3,厚度为50μm的N-外延层,并采用本实验室开发的SiC JFET工... 介绍了一种常开型高压4H-SiC JFET的仿真与制造工艺。通过仿真对器件结构和加工工艺进行优化,指导下一步的工艺改进。在N+型4H-SiC衬底上生长掺杂浓度(ND)为1.0×1015 cm-3,厚度为50μm的N-外延层,并采用本实验室开发的SiC JFET工艺进行了器件工艺加工。通过测试,当栅极偏压VG=-6V时,研制的SiC JFET可以阻断3 000V电压;当栅极偏压VG=7V、漏极电压VD=3V时,正向漏极电流大于10A,对应的电流密度为100A/cm2。 展开更多
关键词 4H型SiC 垂直沟道结型场效应晶体管 沟槽刻蚀
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低噪声宽带宽感应式磁传感器 被引量:3
12
作者 尚新磊 王琳 +3 位作者 林君 符磊 王晓光 陈晨 《中南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期3295-3301,共7页
在大深度测量时,由于传统空心线圈传感器自身空心线圈和差分放大器部分引入了噪声,致使感应式磁传感器探测灵敏度降低,无法满足地质探测深度的需要。针对此问题,通过理论分析空心线圈磁传感器中空心线圈的物理结构和前置放大电路的机理... 在大深度测量时,由于传统空心线圈传感器自身空心线圈和差分放大器部分引入了噪声,致使感应式磁传感器探测灵敏度降低,无法满足地质探测深度的需要。针对此问题,通过理论分析空心线圈磁传感器中空心线圈的物理结构和前置放大电路的机理,研究引入噪声的主要来源,建立基于结型场效应晶体管(JFET)的感应式磁传感器等效模型,提出一种低噪声宽带宽空心线圈磁传感器。同时,分析该模型下差分放大器的频域特性,给出磁传感器输入噪声的仿真结果。在屏蔽室内和野外试验对所研制的磁传感器性能进行测试。研究结果表明:该磁传感器的3 d B响应带宽达到42.3 k Hz,相比于磁传感器3D-3响应带宽增加了1倍。在输入噪声水平方面,其输入噪声在频率为10 k Hz时为1.97 n V/Hz1/2,较磁传感器3D-3信噪比提高了10.04 d B,为感应式磁传感器在实际项目应用提供了可靠的性能保障。 展开更多
关键词 大深度测量 空心线圈磁传感器 结型场效应晶体管 低噪声 带宽
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1200V常开型4H-SiC VJFET 被引量:3
13
作者 倪炜江 李宇柱 +5 位作者 李哲洋 李赟 管邦虎 陈征 柏松 陈辰 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期103-106,共4页
用沟槽和离子注入方法在自主外延的4H导通型碳化硅晶圆上研制了垂直沟道结型场效应晶体管(VJFET)。在栅电压VG=-10 V时阻断电压达到1 200 V;在VG=2.5 V,VD=2V时的电流密度为395 A/cm2,相应的比导通电阻为5.06 mΩ·cm2。分析发现欧... 用沟槽和离子注入方法在自主外延的4H导通型碳化硅晶圆上研制了垂直沟道结型场效应晶体管(VJFET)。在栅电压VG=-10 V时阻断电压达到1 200 V;在VG=2.5 V,VD=2V时的电流密度为395 A/cm2,相应的比导通电阻为5.06 mΩ·cm2。分析发现欧姆接触电阻是导通电阻的重要组成部分,改善欧姆接触可以进一步降低导通电阻。 展开更多
关键词 4H碳化硅 常开型 垂直沟道结型场效应晶体管 比导通电阻
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JFET输入运算放大器的增强辐射损伤方法研究 被引量:2
14
作者 高嵩 陆妩 +2 位作者 任迪远 牛振红 刘刚 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期627-630,共4页
本文对结型场效应管JFET输入运算放大器的增强辐射损伤方法进行了研究。结果表明,采用循环辐照—退火的方法可以使JFET输入运算放大器的辐射损伤增强,并且通过调整辐照剂量率、退火温度及时间等参数,可以评测出器件的低剂量率辐射损伤... 本文对结型场效应管JFET输入运算放大器的增强辐射损伤方法进行了研究。结果表明,采用循环辐照—退火的方法可以使JFET输入运算放大器的辐射损伤增强,并且通过调整辐照剂量率、退火温度及时间等参数,可以评测出器件的低剂量率辐射损伤情况。文章还对这种辐射损伤方法的机理进行了分析。 展开更多
关键词 运算放大器 结型场效应管 辐射损伤 低剂量率 加速评估
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基于可动电荷的SiGe HBT势垒电容 被引量:1
15
作者 吕懿 张鹤鸣 +2 位作者 戴显英 胡辉勇 舒斌 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期837-840,共4页
当SiGeHBT处于交流放大状态时,发射结空间电荷区和集电结空间电荷区存在可动电荷,因此,在考虑它们的势垒电容时,应采用微分电容.另外,集电结势垒区宽度与电流密度密切相关,依据电流密度该电容有3种情况.在SiGeHBT载流子输运基础上,建立... 当SiGeHBT处于交流放大状态时,发射结空间电荷区和集电结空间电荷区存在可动电荷,因此,在考虑它们的势垒电容时,应采用微分电容.另外,集电结势垒区宽度与电流密度密切相关,依据电流密度该电容有3种情况.在SiGeHBT载流子输运基础上,建立了考虑发射势垒区载流子分布的势垒电容模型和不同电流密度下的集电结势垒电容模型. 展开更多
关键词 SIGE HBT 势垒电容 微分电容 可动电荷
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基于JFET的高精度可程控放大电路设计 被引量:3
16
作者 刘红俐 李辉 +1 位作者 朱其新 杨辉 《自动化与仪表》 北大核心 2010年第7期42-46,共5页
微弱信号常常伴随大量的噪声且驱动能力较弱,给精确测量带来很大难度。基于结型场效应管的程控放大器以压控放大电路为核心,通过单片机C8051F020控制12位D/A输出,改变工作在可变电阻区的结型场效应管的栅极电压以改变反馈电阻,从而实现... 微弱信号常常伴随大量的噪声且驱动能力较弱,给精确测量带来很大难度。基于结型场效应管的程控放大器以压控放大电路为核心,通过单片机C8051F020控制12位D/A输出,改变工作在可变电阻区的结型场效应管的栅极电压以改变反馈电阻,从而实现放大倍数精确调节,使整个系统操作起来更加简单、方便。系统实现对信号1到1000倍放大并可程控,通过液晶显示输入、输出值和放大倍数。测试结果显示系统能够对最小1mv的输入信号进行预定放大且具有较高的精度;以JFET为核心的压控电阻工作速度快、可靠性好、控制灵敏度高,无机械触点使其噪声较低;系统12位A/D、D/A均集成在单片机内部,缩减了复杂的外围电路,可靠性高;系统还具有输入电阻大、共模抑制比高等特点。因此在数据采集系统、自动增益控制、动态范围扩展、远程仪表测试等微弱信号测量方面使用尤为适宜。 展开更多
关键词 压控电阻 结型场效应管 高精度 程控 低噪声
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热释电红外传感器噪声特性分析 被引量:6
17
作者 付文羽 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2001年第8期25-27,共3页
采用噪声电流电压的En -In 模型对热释电红外传感器的噪声特性进行了定性分析 。
关键词 热释电红外传感器 结型场效应晶体管 信噪比 噪声模型
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基于SiC JFET的矩阵变换器仿真 被引量:1
18
作者 王莉娜 刘丹丹 《电气传动》 北大核心 2016年第10期31-37,共7页
在Saber中研究基于SiC JFET的矩阵变换器建模仿真。介绍了常通型SiC JFET相关参数的提取方法,在Saber中建立常通型SiC JFET的仿真模型。提出一种基于常通型SiC JFET的双向开关结构,可有效克服常通型SiC JFET在系统上电瞬间及辅助电源故... 在Saber中研究基于SiC JFET的矩阵变换器建模仿真。介绍了常通型SiC JFET相关参数的提取方法,在Saber中建立常通型SiC JFET的仿真模型。提出一种基于常通型SiC JFET的双向开关结构,可有效克服常通型SiC JFET在系统上电瞬间及辅助电源故障时易导致输入电源短路的缺点。基于所提出的双向开关结构,搭建了3×3矩阵变换器仿真模型,用MAST语言实现矩阵变换器的双空间矢量控制算法。考虑到常通型SiC JFET的开通和关断时间差异,优化4步换流策略,改善了输出波形质量。仿真结果验证了所建SiC JFET和矩阵变换器的仿真模型,以及优化4步换流策略的正确性和有效性。 展开更多
关键词 矩阵变换器 碳化硅结型场效应晶体管 双向开关 变步长换流 Saber软件
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一种电力电子变换器功率MOSFET阈值电压在线监测方法 被引量:5
19
作者 任磊 龚春英 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第15期3627-3634,共8页
功率金属-氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)的健康监测技术对于保障电力电子装置的可靠性具有重要意义。对于功率MOSFET来说,阈值电压发生偏移是其门极氧化物发生衰退或其结温发生变化的重要标志,因而实现阈值电压的实时在线监测具有... 功率金属-氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)的健康监测技术对于保障电力电子装置的可靠性具有重要意义。对于功率MOSFET来说,阈值电压发生偏移是其门极氧化物发生衰退或其结温发生变化的重要标志,因而实现阈值电压的实时在线监测具有重要意义。传统的阈值电压监测,需要同时监测功率MOSFET的栅源极电压以及漏极电流。监测漏极电流时,电流测量量程需要设置得足够宽以覆盖电路的正常工作电流范围,否则会导致监测开启电流波形时发生畸变。但是,若量程设置得足够宽,这又会导致量化误差的增大,以至于无法精确监测开启电流。该文利用电力电子电路中的寄生电感,提出了一种简单易实现的阈值电压在线监测方法,该方法无需电流传感器,能够实现对阈值电压的在线精确跟踪。最后,仿真和实验结果验证了所提测量方法的有效性。 展开更多
关键词 状态监测 功率金属-氧化物半导体场效应晶体管 阈值电压 结温 在线监测
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固态微波器件与电路的新进展 被引量:8
20
作者 赵正平 《中国电子科学研究院学报》 2007年第4期329-335,共7页
描述了固态微波器件与电路五个发展阶段,并重点就当前发展的InP HEMT、窄禁带材料HEMT和HBT、宽禁带材料MESFET和HEMT、RF CMOS、InP HBT、SiGe HBT、RF MEMS等七个领域的发展特点、2006年最新进展,以及未来发展趋势进行了介绍。并就我... 描述了固态微波器件与电路五个发展阶段,并重点就当前发展的InP HEMT、窄禁带材料HEMT和HBT、宽禁带材料MESFET和HEMT、RF CMOS、InP HBT、SiGe HBT、RF MEMS等七个领域的发展特点、2006年最新进展,以及未来发展趋势进行了介绍。并就我国发展固态微波器件与电路提出发展建议。 展开更多
关键词 固态微波 异质结场效应晶体管 异质结双极晶体管
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