不同仪器参数对含铜钢菊池衍射花样的影响

为了得到扫描电镜中透射电子发生布拉格衍射形成的菊池线,采用自主绘制、加工的透射模式电子背散射衍射技术的样品台,磨制含铜钢薄膜样品;通过调整待测样品与水平面的夹角、磷屏探头进入距离、待测样品与电镜极靴距离等参数,分别检测与收集菊池花样。结果表明:检测点越靠近含铜钢薄膜样品的冲击孔洞,样品越薄,则待测样品与电镜极靴距离越小;磷屏探头离含铜钢薄膜越近,接收的透射电子信号越多,菊池花样越清晰,菊池花样与数据库晶体结构信息匹配程度检测值越小。