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氮化物宽禁带半导体的MOCVD大失配异质外延
被引量:
4
1
作者
沈波
杨学林
许福军
《人工晶体学报》
EI
CAS
北大核心
2020年第11期1953-1969,共17页
以氮化镓(GaN)、AlN(氮化铝)为代表的Ⅲ族氮化物宽禁带半导体是研制短波长光电子器件和高频、高功率电子器件的核心材料体系。由于缺少高质量、低成本的同质GaN和AlN衬底,氮化物半导体主要通过异质外延,特别是大失配异质外延来制备。由...
以氮化镓(GaN)、AlN(氮化铝)为代表的Ⅲ族氮化物宽禁带半导体是研制短波长光电子器件和高频、高功率电子器件的核心材料体系。由于缺少高质量、低成本的同质GaN和AlN衬底,氮化物半导体主要通过异质外延,特别是大失配异质外延来制备。由此导致的高缺陷密度、残余应力成为当前深紫外发光器件、功率电子器件等氮化物半导体器件发展的主要瓶颈,严重影响了材料和器件性能的提升。本文简要介绍了氮化物半导体金属有机化学气相沉积(MOCVD)大失配异质外延的发展历史,重点介绍了北京大学在蓝宝石衬底上AlN、高Al组分AlGaN的MOCVD外延生长和p型掺杂、Si衬底上GaN薄膜及其异质结构的外延生长和缺陷控制等方面的主要研究进展。最后对Ⅲ族氮化物宽禁带半导体MOCVD大失配异质外延的未来发展做了简要展望。
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关键词
氮化镓
氮化铝
金属有机化学气相沉积(MOCVD)
大失配异质外延
宽禁带半导体
下载PDF
职称材料
异质外延单晶金刚石的研究进展
被引量:
3
2
作者
王伟华
代兵
+10 位作者
王杨
舒国阳
刘本建
赵继文
李一村
刘康
房诗舒
杨世林
杨磊
韩杰才
朱嘉琦
《中国科学:技术科学》
EI
CSCD
北大核心
2020年第7期831-848,共18页
单晶金刚石具有优异的力、声、热、光、电等性质,而异质外延工艺是制备大尺寸单晶金刚石的一种重要手段.本文以CVD工艺所采用的c-BN、Pt、Si、SiC、Ir复合衬底等不同类型异质衬底为主线,以国内外开展该研究的代表性团队所取得主要成果...
单晶金刚石具有优异的力、声、热、光、电等性质,而异质外延工艺是制备大尺寸单晶金刚石的一种重要手段.本文以CVD工艺所采用的c-BN、Pt、Si、SiC、Ir复合衬底等不同类型异质衬底为主线,以国内外开展该研究的代表性团队所取得主要成果为基础,对该领域多年来的发展历程、最新进展开展评述,主要涉及偏压增强形核技术及晶种处理后高温退火技术等高密度外延金刚石形核工艺及机理,基于台阶流动和向错形成机理的织构生长晶界湮灭过程与工艺调控,横向外延过度生长和离轴衬底生长等用于位错密度降低的工艺等内容,并在最后对该领域的未来发展做出展望.
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关键词
异质外延
单晶金刚石
Ir复合衬底
大尺寸
横向外延过度生长
离轴衬底生长
原文传递
题名
氮化物宽禁带半导体的MOCVD大失配异质外延
被引量:
4
1
作者
沈波
杨学林
许福军
机构
北京大学宽禁带半导体研究中心
北京大学人工微结构和介观物理国家重点实验室
北京大学物理学院
量子物质科学协同创新中心
教育部纳光电子前沿科学中心
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
北大核心
2020年第11期1953-1969,共17页
基金
国家重点研发计划(2018YFE0125700,2016YFB0400100)
国家自然科学基金(1634002,61521004,61927806)。
文摘
以氮化镓(GaN)、AlN(氮化铝)为代表的Ⅲ族氮化物宽禁带半导体是研制短波长光电子器件和高频、高功率电子器件的核心材料体系。由于缺少高质量、低成本的同质GaN和AlN衬底,氮化物半导体主要通过异质外延,特别是大失配异质外延来制备。由此导致的高缺陷密度、残余应力成为当前深紫外发光器件、功率电子器件等氮化物半导体器件发展的主要瓶颈,严重影响了材料和器件性能的提升。本文简要介绍了氮化物半导体金属有机化学气相沉积(MOCVD)大失配异质外延的发展历史,重点介绍了北京大学在蓝宝石衬底上AlN、高Al组分AlGaN的MOCVD外延生长和p型掺杂、Si衬底上GaN薄膜及其异质结构的外延生长和缺陷控制等方面的主要研究进展。最后对Ⅲ族氮化物宽禁带半导体MOCVD大失配异质外延的未来发展做了简要展望。
关键词
氮化镓
氮化铝
金属有机化学气相沉积(MOCVD)
大失配异质外延
宽禁带半导体
Keywords
GaN
AlN
metal organic chemical vapor deposition(MOCVD)
large lattice-mismatched heteroepitaxial growth
wide bandgap semiconductor
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TN36 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
异质外延单晶金刚石的研究进展
被引量:
3
2
作者
王伟华
代兵
王杨
舒国阳
刘本建
赵继文
李一村
刘康
房诗舒
杨世林
杨磊
韩杰才
朱嘉琦
机构
哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室
哈尔滨工业大学分析测试中心
哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室
出处
《中国科学:技术科学》
EI
CSCD
北大核心
2020年第7期831-848,共18页
基金
国家杰出青年科学基金(批准号:51625201)
国家自然科学基金(批准号:51911530123,51702066)
国家重点研发计划(批准号:2016YFE0201600)资助项目。
文摘
单晶金刚石具有优异的力、声、热、光、电等性质,而异质外延工艺是制备大尺寸单晶金刚石的一种重要手段.本文以CVD工艺所采用的c-BN、Pt、Si、SiC、Ir复合衬底等不同类型异质衬底为主线,以国内外开展该研究的代表性团队所取得主要成果为基础,对该领域多年来的发展历程、最新进展开展评述,主要涉及偏压增强形核技术及晶种处理后高温退火技术等高密度外延金刚石形核工艺及机理,基于台阶流动和向错形成机理的织构生长晶界湮灭过程与工艺调控,横向外延过度生长和离轴衬底生长等用于位错密度降低的工艺等内容,并在最后对该领域的未来发展做出展望.
关键词
异质外延
单晶金刚石
Ir复合衬底
大尺寸
横向外延过度生长
离轴衬底生长
Keywords
heteroepitaxy
single crystal diamond
Ir multilayer substrate
large
-scale
epitaxial lateral over
growth
off-axis
growth
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氮化物宽禁带半导体的MOCVD大失配异质外延
沈波
杨学林
许福军
《人工晶体学报》
EI
CAS
北大核心
2020
4
下载PDF
职称材料
2
异质外延单晶金刚石的研究进展
王伟华
代兵
王杨
舒国阳
刘本建
赵继文
李一村
刘康
房诗舒
杨世林
杨磊
韩杰才
朱嘉琦
《中国科学:技术科学》
EI
CSCD
北大核心
2020
3
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